The utility model provides a gelcasting of fused quartz crucible, including quartz crucible body and coated on the outer surface of the main body of the quartz crucible melting quartz ceramic layer, the average particle size and average particle size of quartz sand layer fused quartz sand in the ceramics is smaller than that of the quartz crucible body of Nakashi Eisa. The ceramic layer of fused silica sand is more compact, thus improving the density and strength of the outer surface of the crucible, and reducing the possibility of cracking and fragmentation on the outer surface of the crucible.
【技术实现步骤摘要】
一种注凝成型熔融石英坩埚
本技术涉及熔融石英坩埚的制造
,具体涉及一种注凝成型熔融石英坩埚的制造方法。
技术介绍
熔融石英陶瓷坩埚是多晶硅铸锭过程中的易耗品,每台多晶炉每年需要陶瓷方坩埚约120支。07年国内坩埚需求~12万支每年,如今年最近两年又呈爆发式增长。目前市场上熔融石英坩埚的主流技术注浆成型(slipcasting)。注浆成型是传统的成型工艺,其特点是产品密度高(1.89-2.0g/cm3),强度较高。但注浆成型工艺有无法克服的诸多缺点:1,注浆用的石膏模质量不稳定,时有波动以致影响坩埚质量;2,注浆成型的生坯强度低,生产大尺寸坩埚难度很大;3,注浆成型结构不均匀,甚至有夹层,强度较低;4模具使用次数有限,模具成本很高;5,烧成后坩埚底部需要打磨,成本大幅度提高;6,成型温度湿度等的要求很高。目前880坩埚是市场主流,但1024坩埚甚至更大的坩埚是日后发展的方向。注浆成型成型做这样大型坩埚难度很大,凸显注浆法的局限性。注凝成型(gelcasting)是新型的陶瓷制备工艺,该工艺具有生坯强度高、生产周期短、可一次成型等显著优点,生产大型熔融石英坩埚具 ...
【技术保护点】
一种注凝成型熔融石英坩埚,其特征在于,包括石英坩埚主体(1)和包覆于所述石英坩埚主体(1)外表面上的熔融石英砂陶瓷层(2),且所述熔融石英砂陶瓷层(2)中石英砂的平均粒度小于所述石英坩埚主体(1)中石英砂的平均粒度。
【技术特征摘要】
1.一种注凝成型熔融石英坩埚,其特征在于,包括石英坩埚主体(1)和包覆于所述石英坩埚主体(1)外表面上的熔融石英砂陶瓷层(2),且所述熔融石英砂陶瓷层(2)中石英砂的平均粒度小于所述石英坩埚主体(1)中石英砂的平均粒度。2.根据权利要求1所述的注凝成型熔融石英坩埚,其特征在于,所述熔融石英砂陶瓷层(2)为低粒度石英砂烧结层。...
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