一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法。方法包括：通过J750测试机进行4site并测,得到原始数据；判断原始数据是否为连续性数据；若原始数据为连续性数据，判断原始数据是否符合正态分布；若原始数据符合正态分布，基于控制图确定测试系统的测试流程是否稳定可控；若测试流程稳定可控，基于原始数据计算制程能力指数；根据制程能力指数确定测试系统的实际加工能力。本发明专利技术突破以往的分析方法，通过计算其CPK的值，查看测量系统处于稳定状态下的实际加工能力。首次将CPK应用在集成电路测试领域中，分析晶圆级测试数据，查看工序的固有能力，将理论联系实际，为确保产品质量，测试的稳定性提供了一种有效的手段。

A method to view the actual processing capability of the test system in steady state

The present invention discloses a method for viewing the actual processing capacity of the testing system in a stable state. The method includes: through the J750 test machine and 4site test, get the original data; judging whether the raw data for continuous data; if the original data as continuous data, to determine whether the raw data with normal distribution; if the original data to conform to normal distribution, testing process control chart to determine whether the test system is stable and controllable based; if the test process is stable and controllable, calculation of process capability index based on the original data; determining the actual processing capacity test system based on process capability index. The present invention breaks through the former analysis method and calculates the CPK value of the measuring system to see the actual processing capacity of the measuring system in a stable state. For the first time, the application of CPK in the field of test of integrated circuit, analysis of wafer level test data, the inherent ability to view process, the theory and practice, to ensure the quality of products, the stability test provides an effective means.

【技术实现步骤摘要】
一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法
本专利技术涉及一种集成电路测试领域，尤其涉及一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法。
技术介绍
一个自动测试设备(简称：ATE)可以同时测量几个器件，无论是圆片或者是封装后的芯片都要经常用到多点测试；当出货量巨大时，还需要多台测试机同时进行测试。这就需要在生产测试之前确认各台测试机以及测试工位之间的测试结果是否一致，以免发生各种异常甚至事故。传统上确认测试结果是否一致会先在确保ATE校准通过的情况下，反复多次测量同一晶圆并统计测量结果以查看同一机台各测试位是否稳定。验证两个具有同样资源配置的机台时，往往通过将同一晶圆在这两台测试机上测试，比对生成的两张晶圆图，统计良率的差异，统计测试通过的管芯和有缺陷的管芯是否有跳变等。制程能力指数(简称：CPK)是现代企业用于表示制程能力的指标。制程能力指标是一种表示制程水平高低的方法，实质作用是反映制程合格率的高低。制程能力强才可稳定的生产出质量高，可靠性高的产品。制程能力的研究在于确认这些特性符合规格的程度，以保证制程成品的良率在要求的水准之上，可作为制程持续改善的依据。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法，其特征在于，所述方法包括：通过J750测试机进行4site并测,得到原始数据；判断所述原始数据是否为连续性数据；若所述原始数据为连续性数据，判断所述原始数据是否符合正态分布；若所述原始数据符合正态分布，基于控制图确定所述测试系统的测试流程是否稳定可控；若所述测试流程稳定可控，基于所述原始数据计算制程能力指数；根据所述制程能力指数确定所述测试系统的实际加工能力。

【技术特征摘要】
1.一种查看测试系统处于稳定状态下实际加工能力的方法，其特征在于，所述方法包括：通过J750测试机进行4site并测,得到原始数据；判断所述原始数据是否为连续性数据；若所述原始数据为连续性数据，判断所述原始数据是否符合正态分布；若所述原始数据符合正态分布，基于控制图确定所述测试系统的测试流程是否稳定可控；若所述测试流程稳定可控，基于所述原始数据计算制程能力指数；根据所述制程能力指数确定所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭雪，石志刚，刘伟，王艳平，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11