一种剥离药液成分量测方法及系统技术方案

本发明专利技术提供一种剥离药液成分量测方法及系统，其中，量测方法包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳‑胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；UV量测模式至少执行一次之后再执行滴定量测模式，或者UV量测模式和滴定量测模式同时执行。本发明专利技术根据UV量测速度快的特点，可在其量测完成后即反馈量测数据，同时再次取样立即进行下一次量测，这样PR浓度数据的产出周期可大大缩短，且能减少药液消耗，维持PR浓度在一定水准；而滴定量测时间较长，可使其单独量测，这样能监控药液所有成分浓度。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离药液成分量测方法及系统
本专利技术涉及屏幕显示
，尤其涉及一种剥离药液成分量测方法及系统。
技术介绍
在TFT制程中，剥离（Stripper）工艺起到光阻剥离的作用，即把定义图形（Patten）的光阻（Photorisist，简称PR）用Stripper药液去除的工艺。待进行光阻剥离制程的玻璃经过Stripper制程后光阻溶解在Stripper药液中。药液中的PR浓度和其有效成分胺（Amine，剥离光阻的有效成分）是影响光阻去除能力的关键性参数，通常主设备会配备附属设备—光阻分析仪来量测和监控药液中PR、H2O及Amine等成分含量。业界均采用ForceDrain模式来管控Striper药液的PR浓度，即在Run货时不断排液、补液来维持药液中PR浓度在一定水准。而排液、补液的量则根据PR浓度来自动调整。PR浓度高时加大排液量，PR浓度低时降低排液量以减少药液消耗。因此对于药液中PR浓度的量测需要具有实时性，能及时准确的反馈药液中PR浓度。量测Amine等成分的周期较长，一般量测时间为20分钟左右，而通常分析仪会量测两个槽体（Tank）的药液成分后再一同产出数据，故其量测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种剥离药液成分量测方法，其特征在于，包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳‑胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；所述UV量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。

【技术特征摘要】
1.一种剥离药液成分量测方法，其特征在于，包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；所述UV量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。2.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。3.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，所述UV量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述UV量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期。4.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述UV量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。5.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，所述第一量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间，所述第二量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李翔，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44