一种集成半导体荧光测试方法、装置及系统制造方法及图纸
A device for integrated semiconductor fluorescent testing method, and system
The invention discloses an integrated semiconductor fluorescent testing method, device and system, wherein, the method comprises: generating laser irradiation to signal detection of biochip first signal; the first signal second signal through the filter array; get second signal; second signal processing. The laser signal to be detected by the irradiation of microarray biochip produced fluorescence signal and emitting light, the fluorescence signal and emitting light by color filter array excitation light fluorescent signal, acquiring and processing the fluorescence signal, simplifying the operation process and system structure.
【技术实现步骤摘要】
一种集成半导体荧光测试方法、装置及系统
本专利技术涉及激光测试领域，具体涉及一种集成半导体荧光测试方法、装置及系统。
技术介绍
生物芯片技术近年迅速发展，其中信号检测是生物芯片一个重要的相关技术。生物芯片的检测就是获取标记物变化的信息的过程，是生物芯片相关技术的一个重要组成部分。近年，人们已经提出和发展了多种生物芯片检测方法，包括荧光法、质谱法、化学发光和光导纤维、二极管仿真检测、乳胶凝集反应、直接电荷变化检测等。相应地产生了各种检测仪器，如共焦扫描荧光探测系统和电荷耦合器件(Charge-coupledDevice，CCD)荧光探测系统，量子生物化合反应生物芯片探测系统，单分子微荧光探测系统，近场光学与微光学生物芯片探测系统等。共焦扫描荧光探测系统和CCD荧光探测系统虽然已经相当成熟，并且实现了产品化，但是这些产品例如激光扫描共聚焦显微镜，在结构配置上，除了包括普通光学显微镜的基本构造外，还包括激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统、图像输出设备、光学装置和共聚焦系统等部分，这些设备体积大，成本高，不易携带，给检测带来不便。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技...
【技术保护点】
一种集成半导体荧光测试方法，其特征在于，包括：产生激光信号照射待检测生物芯片得到第一信号；使所述第一信号通过滤色片列阵得到第二信号；获取所述第二信号；处理所述第二信号。
【技术特征摘要】
1.一种集成半导体荧光测试方法，其特征在于，包括：产生激光信号照射待检测生物芯片得到第一信号；使所述第一信号通过滤色片列阵得到第二信号；获取所述第二信号；处理所述第二信号。2.根据权利要求1所述的集成半导体荧光测试方法，其特征在于，所述第一信号包括荧光信号和激发光。3.根据权利要求1或2所述的集成半导体荧光测试方法，其特征在于，所述第二信号为荧光信号。4.根据权利要求1-3任意一项所述的集成半导体荧光测试方法，其特征在于，在所述产生激光信号照射待检测生物芯片得到第一信号时，包括：使所述激光信号经过二元光学微透镜准直得到准直激光信号；使所述准直激光信号经过阵列光束分束器得到等光强的阵列光源。5.一种集成半导体荧光测试装置，其特征在于，包括：激光产生模块，用于产生激光照射待检测生物芯片得到第一信号；滤色片阵列模块，用于所述第一信号通过所述滤色片列阵模块得到第二信号；光探测模块，用于获取所述第二信号；处理模块，用于处理所述第二信号。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏明亮，李抄，杨磊，
申请(专利权)人：苏州卡睿知光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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