一种低压超级结沟槽掩膜板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种低压超级结沟槽掩膜板，所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧形、斜角，所述沟槽拐角位于沟槽掩膜板左边中间区域两个拐角。本实用新型专利技术将源极从大面积单一极性优化为多块源极并联设计，使其可以使用更优化的拐角设计，让产品达到应用对参数的要求。

A low pressure super groove mask plate

The utility model relates to a low-voltage super junction trench mask, the source region of the trench trench mask for partition parallel graphics, so close to the gate trench corner implementation angle, arc, angle, the trench corner in the trench mask middle area on the left corner two. The utility model optimizes the source from a large area of single polarity to a multi block source parallel design, so that it can use a more optimized corner design, so that the product can meet the requirements of the application of the parameters.

【技术实现步骤摘要】
一种低压超级结沟槽掩膜板
本技术属于半导体功率器件
，具体涉及一种低压超级结沟槽掩膜板。
技术介绍
目前，如图1现有的低压超级结沟槽掩膜板为单一源极区域设计，导致靠近栅极拐角只能实施直角形沟槽如图3。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种低压超级结沟槽掩膜板，。本技术所采用的技术方案为：一种低压超级结沟槽掩膜板，其特征在于：所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧形、斜角。所述沟槽拐角位于沟槽掩膜板左边中间区域两个拐角。本技术具有以下优点：本技术的低压超级结沟槽掩膜板让靠近栅极的拐角，从只能直角沟槽的单一设计，修改为该处图形可以实施直角、弧形、斜角多样化设计，使产品达到应用需求的参数。附图说明图1为现有的低压超级结沟槽掩膜板结构。图2为本技术实施例提供低压超级结沟槽掩膜板的结构示意图。图3为现有的低压超级结沟槽掩膜板靠近栅极拐角只能实施直角形沟槽的情形。图4为本技术实施直角形沟槽的情形。图5为本技术实施弧形拐角沟槽的情形。图6为本技术实施斜角拐角沟槽的情形。具体实施方式下面结合具体实施方式对本技术进行详细的说明。本技术实施例提供一种新型低压超级结沟槽掩膜板，如图2所示，该新型低压超级结沟槽掩膜板的源极区沟槽分区并联，让靠近栅极的沟槽拐角设计从只能直角图形的设计，变化为直角、弧形、斜角均可实施的设计。所述沟槽拐角设计区域位于掩膜板的左边中间区域两个拐角。所述图形为直角、弧形、斜角。本技术将源极从大面积单一极性优化为多块源极并联设计，使其可以使用更优化的拐角设计，让产品达到应用对参数的要求。本技术的内容不限于实施例所列举，本领域普通技术人员通过阅读本技术说明书而对本技术技术方案采取的任何等效的变换，均为本技术的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低压超级结沟槽掩膜板，其特征在于：所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧形、斜角。

【技术特征摘要】
1.一种低压超级结沟槽掩膜板，其特征在于：所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐，刘挺，岳玲，
申请(专利权)人：西安龙腾新能源科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61