【技术实现步骤摘要】
导电膜形成用组合物、导电膜及其制造方法专利
本专利技术涉及一种导电膜形成用组合物、一种使用这种组合物的导电膜和一种制造这种组合物的方法。特别是涉及一种能适用于形成电子元件布线的导电膜形成用组合物、一种制造这种组合物的方法和用此方法制造的膜例如布线或电极。
技术介绍
铝作为布线材料应用在太阳能电池、半导体元件和多种电子元件如电子显示装置中。此前，通常这种铝膜是用真空工艺如溅射、真空沉积或化学气相沉积(CVD)来制造的，并把得到的铝膜用抗蚀剂进行光刻制成铝图案(图形；Pattern)。然而，由于这种方法需要一种大规模的真空沉积设备，所以它在能耗方面是不利的。此外，由于用此方法很难在大面积的基底上形成均匀的铝布线，会造成低产量和高成本。同时，近年来开发出了一种微小铝颗粒分散在粘合剂中的浆料(膏；paste)，报道了一种把此浆料丝网印刷制成图案并使之烘干来制造铝图案的方法。由于这种方法是通过印刷铝浆料直接形成图案的，所以实行的成本可以很低。但是，由于得到的铝含有杂质，很难获得低电阻的铝图案，而且用这种方法从工艺上也很难制造精细的图案。
技术实现思路
因此本专利技术的一个目的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种导电膜形成用组合物，包括一种由胺化合物与氢化铝组成的络合物以及一种有机溶剂。2.一种制造导电膜的方法，此方法的步骤包括在基底上涂敷权利要求1所述的导电膜形成用组合物，然后对涂敷的组合物进行热处理和/或光辐射以形成铝膜。3.权利要求2所述的方法，其中的基底具有一层包括有机金属化合物的涂膜，此有机金属化合物含有选自Ti、Pd和Al的一种金属原子，并将该导电膜形成用组合物涂敷在基底上的涂膜之上。4.权利要求2或3所述的方法，它还包括步骤：在铝膜上形成一层包括含有选自Ti、Pd和Al中一种金属原子的有机金属化合物的涂膜，然后对形成的涂膜进行热处理和...
【专利技术属性】
技术研发人员：横山泰明，松木安生，迫野郁夫，小林和树，竹内安正，
申请(专利权)人：捷时雅株式会社，夏普公司，株式会社国际基盘材料研究所，
类型：发明
国别省市：
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