The utility model provides an automatic centering device for wafer, including: mechanical hand for the wafer is placed; driving mechanism for the manipulator is driven, so that the movement of the manipulator; and the control device for the driving mechanism to control the mechanical arm is provided with a plurality of the light sensor, when the manipulator moving to take place toward the wafer on the wafer, the wafer is thus interrupting light sensor is triggered, the control device calculates the wafer center position of the light sensor is triggered based on location.
【技术实现步骤摘要】
晶圆自动寻心装置
本技术涉及集成电路制造和自动化领域,具体来说,涉及一种自动寻找晶圆圆心的装置。
技术介绍
集成电路生产对设备、原材料以及生产环境的要求十分苛刻。晶圆生产过程要求高洁净度、高稳定度、高可靠性。为了提高生产效率,在生产线上(例如8英寸、12英寸晶圆设备)已经采用自动化晶圆传输系统来代替人工来对晶圆进行传输。晶圆传输系统是指集成电路生产工厂在高洁净度环境下对晶圆进行分类的传送设备,属于半导体设备高端制造业。晶圆传输系统的核心在于如何使机械手准确、安全的对晶圆执行取送操作。这需要一套安全、有效的装置来保证晶圆传输系统代替人工完成这项工作。以往,对晶圆传输系统的机械手预先设置取送位置参数。机械手按照所设置的取送位置参数来执行取送操作。但是,这种方法无法满足对取送精度的要求。例如,即使目标晶圆的位置发生变化,机械手也仍然按照预先设置的参数去执行取送操作,造成取送结果不够准确,并且容易对目标晶圆造成损伤。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的一个目的在于提供一种晶圆自动寻心装置,能够高效、精准地对晶圆进行检测和寻心。(1)为了实现上述目的,本技术提供一种晶圆自动寻心装置,包括:机械手,用于对晶圆进行取放;驱动机构,用于对所述机械手进行驱动,从而使所述机械手移动;以及控制装置,用于对所述驱动机构进行控制,所述机械手设有多个光传感器,当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时,所述光传感器被晶圆遮断因而被触发,所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。(2)本技术的晶圆自动寻心装置,所述光传感器被设置为在晶圆与所述机械手同心的状态下被晶圆的边缘 ...
【技术保护点】
晶圆自动寻心装置,其特征在于,包括:机械手,用于对晶圆进行取放;驱动机构,用于对所述机械手进行驱动,从而使所述机械手移动;以及控制装置,用于对所述驱动机构进行控制,所述机械手设有多个光传感器,当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时,所述光传感器被晶圆遮断因而被触发,所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。
【技术特征摘要】
1.晶圆自动寻心装置,其特征在于,包括:机械手,用于对晶圆进行取放;驱动机构,用于对所述机械手进行驱动,从而使所述机械手移动;以及控制装置,用于对所述驱动机构进行控制,所述机械手设有多个光传感器,当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时,所述光传感器被晶圆遮断因而被触发,所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。2.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置,其特征在于,所述光传感器被设置为在晶圆与所述机械手同心的状态下被晶圆的边缘遮断。3.根据权利要求2所述的晶圆自动寻心装置,其特征在于,所述光传感器被设置在如下位置:在晶圆与所述机械手同心的状态下,所述光传感器沿着晶圆的所述边缘排列,并且从晶圆的所述边缘径向向内偏移。4.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置,其特征在于,所述控制装置被构成为使用如下公式来计算所述圆心位置:x0=d+ey0约束条件为y0>(y1+y2)/2其中,a=e2+1b=2de-2ex1-2y1C=x12-2dx1+d2+y12-R2d=(x12-x22+y12-y22)/2/(x1-x2)e=-(Y1-Y2)/(x1-x2)(x0,y0)是所述圆心位置的...
【专利技术属性】
技术研发人员:何茂栋,芮守祯,周奕萌,肖钢,韩玉东,赵力行,邹昭平,蒋俊海,于浩,
申请(专利权)人:北京京仪自动化装备技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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