矩形波导微波与等离子体相互作用装置制造方法及图纸

一种矩形波导微波与等离子体相互作用装置。微波源通过铁氧体绝缘衰减器、定向耦合器，在真空密封微波窗处与矩形波导管相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。铁氧体绝缘衰减器设置于微波源后，定向耦合器前，用于调整输出微波的频率。矩形波导管左侧与微波发生装置相连，右侧为吸波负载，从而控制微波沿波导管传播。矩形波导管一侧通过金属网格与等离子体产生装置相连，包括飞行管、飞行管顶端的等离子体发生器及真空泵源。另一侧则通过隔膜与等离子体探针组相连。本装置能使频率可调的微波与等离子体按照实验者预想的过程发生相互作用，并检测相互作用发生后，等离子体与微波的参数。

Microwave plasma interaction device for rectangular waveguide

A microwave plasma interaction device for rectangular waveguide. The microwave source is connected to the rectangular waveguide through the vacuum insulator sealed microwave attenuator and directional coupler. The microwave source is used to generate microwave and transmit the microwave to the action area of the waveguide. The ferrite insulation attenuator is set on the microwave source, before the directional coupler is used to adjust the frequency of the output microwave. The left side of the rectangular waveguide is connected with the microwave generating device, and the right side is a wave absorbing load, which controls the microwave propagation along the wave guide. One side of the rectangular waveguide tube is connected with the plasma generating device through a metal grid, including a flying tube, a plasma generator at the top of the flying tube and a vacuum pump source. The other side is connected to the plasma probe group through the diaphragm. The device can make the frequency tunable microwave interact with the plasma according to the anticipated process of the experimenter, and detect the parameters of the plasma and microwave after the interaction occurs.

【技术实现步骤摘要】
矩形波导微波与等离子体相互作用装置
本专利技术涉及能够实现微波与等离子体在矩形波导内在一定条件下相互作用，并检测相互作用发生后微波与等离子体参数的实验装置，属于电磁场领域。
技术介绍
等离子体是一种由自由电子和带电离子为主要成分的物质形态，如果对气体持续加热，使分子分解为原子并发生电离，就形成了由离子、电子和中性粒子组成的“气体”，这种状态称为等离子体。除加热外，也有其他方法能够产生等离子体，本装置中用于产生等离子体的方法是使用火花形式等离子源。微波是指波长介于红外线和特高频之间的射频电磁波。本装置中直接通过高功率微波源来产生实验所需的微波。当等离子与微波发生相互作用时，一方面等离子体对微波具有一定的吸收和反射的能力，另一方面，微波也会对等离子体发生加热等作用。但是，这些相互作用的强度与效率，以及是否有其他反应发生，我们对此的了解是不够的，因此需要一个能够令两者相遇并发生相互作用的装置，从而从中观测实验结果，并总结归纳两者相互作用的特性。该装置需要具备以下特点：1、由于等离子体中，物质以电子和离子的形式存在，因此作用环境需一定程度上真空，即装置内部的气压应足够低；2、由于微波波长较长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种矩形波导微波与等离子体相互作用装置，它包括微波源(1)，铁氧体绝缘衰减器(2)，定向耦合器(3)，真空密封微波窗(4)，矩形波导管(5)，金属网格(6)，飞行管(7)，等离子体发生器(8)，真空泵源(9)，多栅等离子体探针(10)，隔膜(11)，吸波负载(12)，多电极高压等离子探针组(13)。多电极高压等离子探针组(13)又包括：屏蔽等离子探针(14)，等离子内微波震荡探针(15)，微波天线(16)。微波源(1)通过铁氧体绝缘衰减器(2)、定向耦合器(3)，在真空密封微波窗(4)处与矩形波导管(5)相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。铁氧体绝缘衰减器(2)设置于微波源(1)...

【技术特征摘要】
1.一种矩形波导微波与等离子体相互作用装置，它包括微波源(1)，铁氧体绝缘衰减器(2)，定向耦合器(3)，真空密封微波窗(4)，矩形波导管(5)，金属网格(6)，飞行管(7)，等离子体发生器(8)，真空泵源(9)，多栅等离子体探针(10)，隔膜(11)，吸波负载(12)，多电极高压等离子探针组(13)。多电极高压等离子探针组(13)又包括：屏蔽等离子探针(14)，等离子内微波震荡探针(15)，微波天线(16)。微波源(1)通过铁氧体绝缘衰减器(2)、定向耦合器(3)，在真空密封微波窗(4)处与矩形波导管(5)相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。铁氧体绝缘衰...

【专利技术属性】
技术研发人员：林忠英，赵海龙，张岩，付光杰，林雨晴，彭炜淞，
申请(专利权)人：东北林业大学，林忠英，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23