一种新型微波等离子体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型微波等离子体处理装置，由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器。本实用新型专利技术利用石英管式微波等离子体源产生等离子体，输入到固定的反应室中，在反应室内放置一个旋转鼓，在旋转鼓的容器内放置待处理的粉体、短纤维或颗粒，构成一种微波等离子体处理装置。用这种装置，可对粉体、短纤维、颗粒等进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。

【技术实现步骤摘要】
一种新型微波等离子体处理装置
本技术涉及一种新型微波等离子体处理装置。
技术介绍
粉体、短纤维、颗粒等形态的物质通常是复合材料的增强组分。为使复合材料有更高的强度，要对增强组分的粉体、短纤维、颗粒等进行表面净化、活化或功能化处理，使增强组分与基体组分之间有更好的粘结性能。粉体、短纤维、颗粒本身有时作为某种功能材料，其表面也需进行功能化处理。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种可对粉体、短纤维、颗粒等进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理的新型微波等离子体处理装置。本技术是通过以下技术方案来实现的：一种新型微波等离子体处理装置，由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，短路板至石英管的距离为λg/4，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，石英管的另一端伸入反应室的上端面并用密封法兰和O形胶圈与圆柱腔体真空室形成真空连接，反应室的底端法兰上安装旋转鼓，与反应室形成真空动密封连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型微波等离子体处理装置，其特征在于：由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，短路板至石英管的距离为λg/4，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，石英管的另一端伸入反应室的上端面并用密封法兰和O形胶圈与圆柱腔体真空室形成真空连接，反应室的底端法兰上安装旋转鼓，与反应室形成真空动密封连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器，反应室底部通过反应室底端法兰盖密封，旋转鼓穿过反应室底端法兰盖至反应室内，并通过紧固螺栓锁紧。

【技术特征摘要】
1.一种新型微波等离子体处理装置，其特征在于：由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，短路板至石英管的距离为λg/4，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，石英管的另一端伸入反应室的上端面并用密封法兰和O形胶圈与圆柱腔体真空室形成真空连接，反应室的底端法兰上安装旋转鼓，与反应室形成真空动密封连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器，反应室底部通过反应室底端法兰盖密封，旋转鼓穿过反应室底端法兰盖至反应室内，并通过紧固螺栓锁紧。2.如权利要求1所述的新型微波等离子体处理装置，其特征在于：所述反应室的侧向连接真空系统。3.如权利要求2所述的新型微波等离子体处理装置，其特征在于：所述真空系统包括真空规管、旋风分离器、过滤器、粗调和细调节流阀、放气阀，然后接真空泵用的截断放气阀、相应的真空管路,最后接真空泵，反应室的另一侧向装有观察...

【专利技术属性】
技术研发人员：邬钦崇，邬明旭，全峰，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44