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本实用新型公开了一种新型微波等离子体处理装置，由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的...
该专利属于深圳优普莱等离子体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳优普莱等离子体技术有限公司授权不得商用。

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