高频电源装置及双阴极用电源制造方法及图纸

在输出互为反相的交流电压的高频电源装置中，将高频输出电路的输出分压成两个输出的结构中，无法将高电压与低电压的相异的电压值进行与需求相对应的切换，输出端的电压会降低至高频输出电路的输出电压的1/2的峰值。在高频电源装置中，切换将由分压电路进行分压后的高频电压分压为相对于接地电位互为反相的交流电压的分压电路的连接状态来改变两个输出端电压的电压比例，从而切换高电压和低电压并输出。通过切换分压电路的连接状态，能够选择输出高电压和低电压的相异的电压值，在高频电源装置的输出端，通过在高电压输出时选择高电压来输出，抑制源自高频输出电路的输出电压的降低。

High frequency power supply device and power supply for double cathode

In high frequency power supply AC voltage output mutually inverting device, the output frequency divider output circuit structure two output voltage will be different, not high voltage and low voltage switching value and demand corresponding to the output voltage will reduce the high frequency output peak voltage output circuit the 1/2. In high frequency power supply device, switching from high frequency divider circuit divided voltage divider as compared to the ground two output voltage proportional connection state potential mutually inverting AC voltage divider circuit to switch to high voltage and low voltage and output. The connection state voltage circuit by switching the output voltage to high voltage and low voltage difference value in the output end of the high-frequency power supply device, output by selecting high voltage in the high voltage output, reduce the output voltage from the output circuit of high frequency suppression.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高频电源装置及双阴极用电源
本案本申请专利技术，是关于输出互为反相的交流电压的高频电源装置、以及对等离子腔内的两个电极施加互为反相的交流电压的双阴极用电源。
技术介绍
在使用腔内所产生的等离子的成膜装置或溅镀装置等装置中，在腔内配置两个电极(靶材(Target))，并进行针对这些电极(靶材)交替地切换施加成为阴极的电压以及成为阳极的电压而产生等离子的被称作双阴极方式的电压施加(参考专利文献1)。图9(a)，是用于对由双阴极方式进行的电压施加的概略内容进行说明的图。图9(a)中所示的结构具备：配置在腔内的两个电极(靶材)101、102；用于对电极(靶材)101施加高频电压(RF：RadioFrequency)的高频电源103；用于对电极(靶材)102施加高频电压的高频电源104、以及开关单元105。开关单元105对高频电源103和高频电源104进行切换，而对电极101和电极102交替供给改变了极性的高频电压。通过针对一对电极施加互为反相的高频电压，在针对一个电极施加成为阴极的电压的期间，在另外一个电极上施加成为阳极的电压，在针对一个电极施加成为阳极的电压的期间，针对另外一个电极施加成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高频电源装置，输出互为反相的交流电压，其特征为，具备：交流电源；高频输出电路，其将上述交流电源的电源电压转换为预定频率并输出高频电压；和分压电路，其将上述高频输出电路输出的高频电压分压为相对于接地电位而互为反相的交流电压，上述分压电路，具备：串联电路，其将上述高频输出电路的输出端间的中点作为接地电位，而将第1电容元件和第2电容元件这两个电容元件串联连接；和切换电路，其对上述串联电路的至少任意一个电容元件，切换上述高频输出电路的一个输出端及/或接地电位的连接状态，使上述两个电容元件相对于接地电位的两端电压的电压比例为可变，并切换高电压和低电压来输出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.04 JP 2015-0204821.一种高频电源装置，输出互为反相的交流电压，其特征为，具备：交流电源；高频输出电路，其将上述交流电源的电源电压转换为预定频率并输出高频电压；和分压电路，其将上述高频输出电路输出的高频电压分压为相对于接地电位而互为反相的交流电压，上述分压电路，具备：串联电路，其将上述高频输出电路的输出端间的中点作为接地电位，而将第1电容元件和第2电容元件这两个电容元件串联连接；和切换电路，其对上述串联电路的至少任意一个电容元件，切换上述高频输出电路的一个输出端及/或接地电位的连接状态，使上述两个电容元件相对于接地电位的两端电压的电压比例为可变，并切换高电压和低电压来输出。2.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，上述切换电路，在上述串联电路的两个电容元件的至少任意一个电容元件的两端间，具备使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端与接地电位之间短路或开放的开关电路，上述开关电路的短路动作使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端电压为零电压，并使另外一个电容元件侧的输出端电压为高频输出电路的输出电压，上述开关电路的开放动作使上述高频输出电路的两个电容元件侧的输出端电压成为将高频输出电路的输出电压根据上述两个电容元件的电容而进行分压后的分压电压。3.根据权利要求2所述的高频电源装置，其特征在于，上述开关电路设置在上述高频输出电路的一个输出端和接地电位之间，或设置在上述高频输出电路的一个输出端和上述中点之间，或者与上述一个电容元件并联连接。4.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，上述切换电路具备：切换开关，其对上述串联电路的两个电容元件的中点以及上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端切换连接接地电位，在上述切换开关中，对于上述串联电路的两个电容元件的中点的接地电位的切换使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端电压为零电压，并使另外一个电容元件侧的输出端电压为高频输出电...

【专利技术属性】
技术研发人员：让原逸男，小玉真一，安达俊幸，
申请(专利权)人：株式会社京三制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP