一种柔性结构支撑衬底的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性结构支撑衬底的制备方法，该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用。本发明专利技术方法简单易行，重复性优良。更重要的是，薄膜在保持对外延功能结构层进行支撑的情况下能保证柔韧性，满足柔性器件应用场合的需要。

Preparation method of flexible structure support substrate

The invention discloses a preparation method of a flexible structure for supporting a substrate, the method will be posted on the teflon film epitaxial wafer surface to be bonded, using teflon film extreme corrosion resistance and thermal plastic film, to determine the specific thickness, processed under high temperature, the film has micro melting properties under high temperature. High temperature treatment after cooling treatment, again into solid, and thin film and epitaxial wafer bonding, play a supporting role in substrate stripping process. The method is simple and easy to operate, and has good repeatability. More importantly, the film can maintain flexibility in the case of maintaining the functional layer of the external structure, which meets the needs of flexible device applications.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性结构支撑衬底的制备方法
本专利技术涉及半导体光电子
，尤其是指一种柔性结构支撑衬底的制备方法。
技术介绍
柔性结构的器件自身重量轻，厚度薄，具有较高的可弯曲度，运输及携带均十分便利。对于III-V族化合物半导体器件来说，制成柔性结构的重要前提就是去除衬底。在信号传输、光通讯、电子信号处理占据重要地位的光电子器件，如半导体光探测器、半导体激光器、太阳能电池、异质结双极性晶体管、高电子迁移率晶体管等，很大一部分的成本也来自于生长所需的衬底，特别是针对磷化铟基，砷化镓基的器件。如若衬底能够回收利用，则成本将会很大程度的降低。更重要的是，去除衬底后的薄膜太阳能电池，薄膜半导体激光器等在功率重量比，散热特性等方面都将显著优于传统的器件。而不论是早期去除衬底的机械研磨方法还是近些年来基于牺牲层工艺的剥离回收衬底技术，均需要在衬底去除前进行一定程度的支撑，否则，仅数微米厚的外延层材料会极易破碎。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种简单易操作的柔性结构支撑衬底的制备方法，该方法能对完整剥离下的外延结构进行支撑，且能得到完整的剥离下来的衬底。为实现上述目的，本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用；其包括以下步骤：1)将生长完毕的外延片进行有机清洗及表面氧化物清洗，以提高金属层在外延片表面的粘合力，其中，所述外延片包括从下至上依次层叠设置的衬底、AlAs牺牲层、器件功能结构层；2)将清洗完毕的外延片移至电子束蒸发设备，采用电子束蒸发的方式进行金属蒸镀，蒸镀完毕进行快速热退火，使之形成欧姆接触；...

【技术特征摘要】
1.一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用；其包括以下步骤：1)将生长完毕的外延片进行有机清洗及表面氧化物清洗，以提高金属层在外延片表面的粘合力，其中，所述外延片包括从下至上依次层叠设置的衬底、AlAs牺牲层、器件功能结构层；2)将清洗完毕的外延片移至电子束蒸发设备，采用电子束蒸发的方式进行金属蒸镀，蒸镀完毕进行快速热退火，使之形成欧姆接触；3)将铁氟龙薄膜贴至已进行金属制备的外延片表面；4)将贴好的外延片放至退火炉进行高温处理；5)冷却后得到粘接完好的外延片，此时能够进行后续衬底剥离过程，粘接完好的薄膜将对剥离下的柔性结构提供良好的支撑。2.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤1)中，进行的有机清洗及表面氧化物清洗依次包括：丙酮超声清洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛明明，马涤非，张露，黄珊珊，张小宾，
申请(专利权)人：中山德华芯片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44