下载一种柔性结构支撑衬底的制备方法的技术资料

文档序号:16429628

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本发明公开了一种柔性结构支撑衬底的制备方法,该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面,利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性,确定特定厚度的薄膜,在高温下进行处理,薄膜在高温下呈现微熔特性,高温处理完毕后再进行降温处理,又将重新转为固态,...
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