【技术实现步骤摘要】
晶圆旋转机构
本技术属于晶圆旋转机构领域,更具体的说,它涉及晶圆旋转机构。
技术介绍
在通过化学品药液对晶圆进行腐蚀的时候,需要对晶圆的单片进行旋转,将晶圆放置在花篮里,承托架来回推动花篮,从而使得晶圆和化学品药液产生大面积接触和液体摩擦,但是,通过单一的上下晃荡花篮,单片旋转产能不高,晶圆在花篮里摆动,晶圆的动态率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种能够起到提高了腐蚀速率和产品立良率的晶圆旋转机构。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种晶圆旋转机构,包括安装座与支撑板,所述安装座与支撑板之间呈垂直设置,所述安装座上设有旋转装置,所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置,所述旋转装置包括两组PEKK传动轴,所述两组PEKK传动轴成平行安装在安装座上。进一步设置为:所述安装座上设有用于支撑PEKK传动轴的支撑座,所述支撑座上设有与PEKK传动轴的支撑座配合的PEKK轴承,所述支撑板上设有用于固定PEKK轴承的固定件。进一步设置为:所述驱动装置包括伺服电机、PEKK传动轴、第一伞状齿轮以及第二伞状齿轮,所述PEKK传动轴的一端与伺服电机连接,另一端连接第一伞状齿轮,所述第一伞状齿轮与第二伞状齿轮配合,所述第二伞状齿轮上设有第一齿轮,所述PEKK传动轴上设有与第一齿轮配合的第二齿轮。进一步设置为:所述支撑板上设有用于保护伺服电机的电机保护罩,所述电机保护罩上设有用于支撑伺服电机的支撑装置,所述私服电机与PEKK传动轴之间设有联轴器。进一步设置为:所述支撑装置包括上板与下板,所述联轴器置于上板与下板之间,所述上板与下板上均与电机保 ...
【技术保护点】
一种晶圆旋转机构,其特征在于:包括安装座与支撑板,所述安装座与支撑板之间呈垂直设置,所述安装座上设有旋转装置,所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置,所述旋转装置包括两组PEKK传动轴,所述两组PEKK传动轴成平行安装在安装座上。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆旋转机构,其特征在于:包括安装座与支撑板,所述安装座与支撑板之间呈垂直设置,所述安装座上设有旋转装置,所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置,所述旋转装置包括两组PEKK传动轴,所述两组PEKK传动轴成平行安装在安装座上。2.根据权利要求1所述的晶圆旋转机构,其特征在于:所述安装座上设有用于支撑PEKK传动轴的支撑座,所述支撑座上设有与PEKK传动轴的支撑座配合的PEKK轴承,所述支撑板上设有用于固定PEKK轴承的固定件。3.根据权利要求2所述的晶圆旋转机构,其特征在于:所述驱动装置包括伺服电机、PEKK传动轴、第一伞状齿轮以及第二伞状齿轮,所述PEKK传动轴的一端与伺服电机连接,另一端连接第一伞状齿轮,所述第一伞状齿轮与第二伞状齿轮配合,所述第二伞...
【专利技术属性】
技术研发人员:葛林五,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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