一种激光退火机的状态监控方法技术

本发明专利技术涉及一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：测量激光退火机上监控片的颗粒水平获得颗粒测量前值；采用第一激光扫描监控片；测量监控片的颗粒水平获得颗粒测量后值；对比颗粒测量前值和颗粒测量后值以判断退火机机台内部的洁净度；采用快速热退火的方法对监控片进行退火；在监控片上注入过硼；采用第二激光扫描监控片；测量监控片获得方块电阻阻值的测量值；通过对比方块电阻阻值和预设值的差，来判断激光温度的稳定性是否合格。本发明专利技术能够在同一监控片上进行颗粒水平测量和方块电阻阻值测量，以判断激光退火机的机台内部的洁净度和激光温度的稳定性是否合格，减少了监控片的使用，在不影响监控效果的前提下，节约制造成本。

A condition monitoring method of laser annealing machine

The invention relates to a method for monitoring state of laser annealing machine, which comprises the following steps: measuring the laser annealing on the particle level monitoring sheet particles obtained before the measurement value; the first laser scanning monitoring; particle level measuring and monitoring the particles obtained after measuring the value of contrast; particle size measurement value and measured value before the particles to judge annealing machine internal cleanliness; using the method of rapid thermal annealing annealing of boron implanted in monitoring; monitoring; using second laser scanning monitoring; measuring and monitoring was measurement of the square resistance value; by comparing the square resistance and the preset value, to determine whether the temperature stability of laser qualified. The invention can carry out particle level measurement and block resistance measurement in the same chip, in order to judge the stability of the laser annealing machine inside the cleanliness and the temperature of the laser is qualified, reducing the use of monitoring, without affecting the control effect, saving manufacturing cost.

【技术实现步骤摘要】
一种激光退火机的状态监控方法
本专利技术属于监控方法领域，具体涉及一种激光退火机的状态监控方法。
技术介绍
在进行激光退火机的日常监控时，主要监控两项指标，一是颗粒水平，二是监控片上测得的方块电阻阻值。目前，在做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，通常是将两种监控分开进行的，也即是说每一种监控都需要单独消耗监控片，同时做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，就需要消耗两个监控片，这样一来就会导致资源浪费。因此，提出一种激光退火机的状态监控方法是本专利技术所要研究的课题。
技术实现思路
为解决现有技术同时做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，需要消耗两个监控片，从而导致资源浪费的缺点，从而提供一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；步骤六：在所述监控片上注入过硼；步骤七：采用第二激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光退火机的状态监控方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；步骤六：在所述监控片上注入过硼；步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。

【技术特征摘要】
1.一种激光退火机的状态监控方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；步骤六：在所述监控片上注入过硼；步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。2.根据权利要求1所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：许云兰，陈传辉，陈传伟，
申请(专利权)人：苏州金钜松机电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32