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本发明涉及一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：测量激光退火机上监控片的颗粒水平获得颗粒测量前值；采用第一激光扫描监控片；测量监控片的颗粒水平获得颗粒测量后值；对比颗粒测量前值和颗粒测量后值以判断退火机机台内部的洁净度；采用快速热退火...
该专利属于苏州金钜松机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州金钜松机电有限公司授权不得商用。

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