清洗机构制造技术

本发明专利技术涉及一种清洗机构，所述清洗机构包括一操作腔室以及至少一模刷。所述操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程。所述至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序。所述模刷包括一主轴、复数刷毛以及复数主贯孔。所述主轴以所述主轴的一长轴为中心进行旋转。所述复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁。所述复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。在刷毛进行清洗程序时可以藉由所述清洁物质避免脏污附着到刷毛上。

Cleaning mechanism

The invention relates to a cleaning device, the cleaning mechanism comprises an operation chamber and at least the first mock exam brush. The operating chamber is used to hold at least one substrate to perform wet process. The at least the first mock exam brush is arranged in the operating chamber and for the at least one substrate cleaning procedures. The die brush comprises a main shaft, a plurality of bristles and a plurality of main through holes. The main shaft rotates with a long axis of the main shaft as the center. The plural bristles are disposed on the spindle for physical cleaning of at least one substrate within the operating chamber. The plurality of main through holes and the plural bristles are staggered on an outer surface of the main shaft along an extended direction of the long axis. When cleaning the bristles, the cleaning material can be prevented from soiling and attaching to the bristles.

【技术实现步骤摘要】
清洗机构
本专利技术涉及一种清洗机构，一种特别适用于湿式制程的清洗机构，尤其是用于面板产业。
技术介绍
在面板产业中，湿式制程发展的已经相当成熟。然而，受限于现有的机构设计，在实际操作中仍存在许多问题，如维修空间不足、耗液量大、均匀性不佳、漏液以及传感器作动异常。现有技术中，湿式制程的刷毛很容易沾附脏污，进而缩短刷毛的使用寿命，因此增加更换的人力以及成本。因此，有必要提供一种清洗机构，以解决上述之问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术目的在于提供一种清洗机构，其具有改善上述之问题的功效。为达成上述目的，本专利技术提供一种清洗机构，所述清洗机构包括一操作腔室以及至少一模刷。所述操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程。所述模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板上进行清洗程序。所述至少一模刷包括一主轴、复数刷毛以及复数主贯孔。所述主轴以所述主轴的一长轴为中心进行旋转。所述复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板上进行物理清洁。所述复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。在一优选实施例中，所述主轴还包括一沿着所述长轴的所述延伸方向之管线。在一优选实施例中，所述复数主贯孔与所述管线连通，所述管线用于输送清洁物质，进而通过所述复数主贯孔喷洒所述清洁物质至所述操作腔室内的所述至少一基板上以进行化学清洁。在一优选实施例中，每一所述复数刷毛还形成一刷毛贯孔，每一所述刷毛贯孔与所述管线连通，以通过每一所述复数刷毛贯孔喷洒所述清洁物质至所述操作腔室内部的所述至少一基板上。在一优选实施例中，所述复数刷毛与所述复数主贯孔配置在所述主轴的外表面上的数量比为5:1-10:1。为达成上述目的，本专利技术提供一种清洗机构，特别适用于湿式制程，所述清洗机构包括一操作腔室以及至少一模刷。所述操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程。所述至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序。所述至少一模刷包括一主轴以及复数刷毛。所述主轴以所述主轴的一长轴为中心进行旋转。所述复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁。每一所述复数刷毛还形成一刷毛贯孔。在一优选实施例中，所述主轴还包括一沿着所述长轴的所述延伸方向之管线，所述复数刷毛贯孔与所述管线连通，以通过每一所述刷毛贯孔喷洒清洁物质至所述操作腔室内部的所述至少一基板。在一优选实施例中，所述模刷还包括复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。在一优选实施例中，所述复数主贯孔与所述管线连通，以便通过所述复数主贯孔喷洒所述清洁物质至所述操作腔室内部的所述至少一基板上。在一优选实施例中，所述复数刷毛与所述复数主贯孔配置在所述主轴的外表面上的数量比为5:1-10:1。相较于先前技术，本专利技术中通过在刷毛上设置贯孔，让具有特定压力的物质可以通过所述贯孔，在刷毛清洁基板时可以藉由所述清洁物质避免脏污附着到刷毛上，进而解决先前技术存在的技术问题。附图说明图1，绘示本专利技术的清洗机构之示意图；图2，绘示图1标示的部位A的第一优选实施例的局部放大示意图；图3，绘示图1的部位A的第二优选实施例的局部放大示意图；以及图4，绘示图1的部位A的第三优选实施例的局部放大示意图。具体实施方式以下参照附图详细说明的实施例将会使得本专利技术的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法更加明确。但是，本专利技术不局限于以下所公开的实施例，本专利技术能够以互不相同的各种方式实施，以下所公开的实施例仅用于使本专利技术的公开内容更加完整，有助于本专利技术所属
的普通技术人员能够完整地理解本专利技术之范畴，本专利技术是根据申请专利范围而定义。在说明书全文中，相同的附图标记表示相同的装置组件。参考图1-2。图1，绘示本专利技术的清洗机构100之示意图。图2，绘示图1所标示的一部位A的第一优选实施例的局部放大示意图。所述清洗机构100包括一操作腔室110、一模刷120、一清洁物质收容装置(未图标)、一帮浦(未图示)。于本实施例中，并不限定所述模刷120的数量，可依实际需求设置。所述清洗机构100利用所述模刷120清洁至少一基板(未图示)上的脏污。所述操作腔室110，用于容置所述至少一基板以执行湿式制程。所述至少一模刷120，设置于所述操作腔室110内且用于进行清洗程序。所述模刷120包括一主轴121、复数刷毛122以及复数主贯孔124。所述主轴121以所述主轴121的一长轴1205为中心进行旋转。所述复数刷毛122，设置于所述主轴121，用于对所述操作腔室110内部的所述至少一基板进行物理清洁(如摩擦或撞击)。所述复数主贯孔124与所述复数刷毛122沿着所述长轴1205的一延伸方向1204均匀分布地交错配置于所述主轴121的外表面上。优选地，所述复数刷毛122与所述复数主贯孔124配置在所述主轴121的外表面上的数量比为5:1-10:1。详细地，所述主轴120的内部还包括一沿着所述长轴1205的所述延伸方向1204之管线123。所述复数主贯孔124与所述管线123连通，所述管线123用于输送清洁物质(如清洁液)，进而通过所述复数主贯孔124喷洒所述清洁物质至所述操作腔室110内部的所述至少一基板上以进行化学清洁。在本实施例中，存放在所述清洁物质收容装置的所述清洁物质是通过所述帮浦的加压而进入所述管线123，再通过所述复数主贯孔124喷洒出来到所述操作腔室110内部的所述至少一基板上，因此能够使所述复数刷毛122上充满所述清洁物质，一方面增加所述模刷120清洁所述至少一基板的能力，同时避免所述至少一基板上的脏污附着在所述复数刷毛上。因为所述清洁物质可以是液体或者气体，故，除了刷毛本身可以通过所述主轴120的旋转对所述至少一基板进行物理清洁(如摩擦或撞击)；同时所述清洁物质能在清洁刷毛的同时，进一步对所述至少一基板提供化学清洁。图3，绘示图1的部位A的第二优选实施例的局部放大示意图。本优选实施例与第一优选实施例的差异在于：所述复数刷毛122还包括复数刷毛贯孔122，所述复数刷毛贯孔122与所述管线123连通，以便通过所述复数刷毛贯孔122喷洒所述清洁物质到所述操作腔室110内部的所述至少一基板上。在本优选实施例中，所述复数刷毛贯孔122的方向为与所述复数刷毛122的长边平行，但是在其他实施例中，可以根据不同要求设置不同的方向。图4，绘示图1的部位A的第三优选实施例的局部放大示意图。本优选实施例与第二优选实施例的差异在于：只有设置复数刷毛贯孔122。如此设计的主要用途是因应不同的清洁需要。虽然本专利技术已用优选实施例揭露如上，然其并非用以限定本专利技术，本专利技术所属
中具有通常知识者，在不脱离本专利技术之精神和范围内，当可作各种之更动与润饰，因此本专利技术之保护范围当视后附之申请专利范围所界定者为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗机构，包括：一操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程；以及至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序，所述至少一模刷包括：一主轴，以所述主轴的一长轴为中心进行旋转；复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁；以及复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。

【技术特征摘要】
1.一种清洗机构，包括：一操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程；以及至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序，所述至少一模刷包括：一主轴，以所述主轴的一长轴为中心进行旋转；复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁；以及复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。2.如权利要求1所述之清洗机构，其特征在于，所述主轴还包括一沿着所述长轴的所述延伸方向之管线。3.如权利要求2所述之清洗机构，其特征在于，所述复数主贯孔与所述管线连通，所述管线用于输送清洁物质，进而通过所述复数主贯孔喷洒所述清洁物质至所述操作腔室内的所述至少一基板上以进行化学清洁。4.如权利要求1所述之清洗机构，其特征在于，每一所述复数刷毛还形成一刷毛贯孔，每一所述刷毛贯孔与所述管线连通，以通过每一所述刷毛贯孔喷洒所述清洁物质至所述操作腔室的所述至少一基板上。5.如权利要求1所述之清洗机构，其特征在于，所述复数刷毛与所述复数主贯孔配置在所述主轴的外表面上的数量比为5:...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄荣龙，吕峻杰，陈滢如，
申请(专利权)人：盟立自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71