一种玻璃基片的清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种玻璃基片的清洗设备，包括箱体、盖板、两个喷淋结构以及上盖，上盖可拆卸地设置在箱体的顶部开口上；上盖的边缘成型有朝向内腔凹陷的引流部，引流部的底部位于清洗腔体的正上方，用于引导凝结在引流部内壁面上的溶液回落在清洗腔体内。当清洗基板时，即使在引流部的内壁面凝结或喷射有溶液，溶液会及时沿着引流部的内壁面流到其底部，再回落到清洗腔体内，从而减少了侧壁盖板上的残留的溶液量，对侧槽与盖板之间的密封胶起到保护作用，提高密封胶的使用寿命，确保盖板与侧槽顶部开口处的密封性能；同时，回流的溶液再次进入清洗腔体内对玻璃基片的表面进行清洗，形成溶液的循环利用，减少溶液的浪费。

Cleaning device for glass substrate

The utility model discloses a cleaning device of glass substrate, which comprises a box body, a cover plate, two spray structure and upper cover, upper cover is detachably arranged on the top of the box opening; edge forming upper cover is toward the Drainage Department inner sag, just above the Drainage Department located at the bottom of the cavity for cleaning, guide the condensation solution in the Drainage Department on the inner wall of the cavity in the cleaning down. When cleaning the substrate, even in the inner wall of the Drainage Department of condensation or injection solution, the solution time along the inner wall surface drainage of flow to the bottom, and then down to the cleaning chamber, thereby reducing the residual amount of the solution on the side wall of the cover, to protect the sealing glue between the groove and the side cover to improve the service life of the sealing, to ensure the sealing performance, the cover plate and the side groove of the opening at the top; at the same time, the solution back again into the cleaning surface of the glass substrate in the cavity to form a solution cleaning, recycling, reducing waste solution.

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基片的清洗设备
本技术涉及基片清洗的
，具体涉及一种玻璃基片的清洗设备。
技术介绍
在光电器件制造过程中，需要对玻璃基片进行清洗处理，现有玻璃基片清洗设备的结构大多如图1所示，该清洗设备包括箱体1，箱体1具有顶部开口和内腔，内腔中平行成型有两块隔板13，两块隔板13将内腔分割为位于两侧的侧槽11和位于两个侧槽之间的清洗腔体12；水平穿设在箱体上且相对设置的两个喷淋管41，以及位于两个喷淋管41之间的传动轴5；侧槽11的顶部开口位于两个喷淋管41之间，并在侧槽11的顶部开口上通过密封胶固定有盖板2；以及在箱体1的顶部开口上设置的圆锥形的上盖3，也即上盖3的纵向截面形状为“人”字型。在需要对玻璃基片7清洗时，玻璃基片7放置在传动轴5上，在传动轴5的带动下不断地向前移动，相对的两个喷淋管41上的喷嘴不断地向基片7的两侧表面喷清洗溶液，来对玻璃基片7的两侧表面进行清洗。但是，此结构的清洗设备，位于下方的喷淋管在向上高压喷射清洗溶液时，必然有部分的溶液喷射到现有技术“人”字形的上盖的内壁面上；同时，箱体内会有大量的水汽在上盖内壁面上凝结，在重力作用下，凝结和残留在上盖内壁面的溶液沿着上盖的内壁面和箱体的内壁面不断地滴落在侧槽的盖板上，大量溶液滴落在盖板上时，使得密封胶长期浸泡在溶液中，会影响盖板与侧槽之间的密封性能，降低其使用寿命。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中玻璃基片的清洗设备中侧槽上的密封胶容易被损坏，盖板与侧槽之间的密封性能差的问题。为此，本技术提供一种玻璃基片的清洗设备，包括箱体，具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，所述内腔中成型有平行设置的两块隔板，两个所述隔板分别与所述箱体的内壁面之间形成侧槽，两所述侧槽之间形成清洗腔体；盖板，一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽的顶部开口上；喷淋结构，为至少两个，水平相对设置在所述清洗腔体内，所述盖板位于两个所述喷淋结构之间；上盖，可拆卸地设置在所述箱体的顶部开口上；所述上盖的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔体的正上方，用于引导凝结在所述引流部内壁面上的溶液回落在所述清洗腔体内。优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部的纵向截面形状为V形，所述V形的开口朝向外界，其底部朝向所述内腔。进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述V形的夹角角度为130-165°。优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述上盖的边缘还具有朝向所述内腔延伸的环形部，所述引流部位于所述环形部的内腔，以使所述上盖的纵向截面形状为M形；所述上盖通过所述环形部固定在所述箱体的内壁面上。进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述箱体的顶部开口内壁面具有朝向所述清洗腔体方向水平延伸的环形安装台；所述环形部的底部安装在所述环形安装台上。更佳优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部为圆锥形，，所述圆锥形的锥尖朝向所述内腔。优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部的纵向截面形状为梯形，并且，所述梯形的短边位于所述清洗腔体的正上方。进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部为圆锥台。优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述喷淋结构包括穿设在所述箱体两侧表面上的喷淋管，间隔安装在所述喷淋管壁面上的至少两个喷嘴，以及与所述喷淋管连接的溶液供给机构。优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，还包括水平穿设在所述箱体两侧壁上的至少一个传动轴，所述传动轴位于所述清洗腔体内以及两个所述喷淋装置之间，用于输送放置在其上的玻璃基片本技术技术方案，具有如下优点：1.本技术提供的玻璃基片的清洗设备，包括箱体、盖板、两个喷淋结构以及上盖，箱体具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，内腔中成型有平行设置的两块隔板，两个所述隔板分别与所述箱体的内壁面之间形成侧槽，两所述侧槽之间形成清洗腔体；盖板一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽的顶部开口上；两个喷淋结构水平相对设置在所述清洗腔体内，所述盖板位于两个所述喷淋结构之间；上盖可拆卸地设置在所述箱体的顶部开口上；上盖的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔体的正上方，用于引导凝结在所述引流部内壁面上的溶液顺着所述引流部滴落在所述侧槽之间的清洗腔体内。此结构的玻璃基片的清洗设备，上盖边缘的朝向内腔设置有引流部，当清洗基板时，即使在引流部的内壁面凝结或喷射有溶液，溶液会及时沿着引流部的内壁面流到其底部，再回落到清洗腔体内，从而减少了侧壁盖板上的残留的溶液量，对侧槽与盖板之间的密封胶起到保护作用，提高密封胶的使用寿命，确保盖板与侧槽顶部开口处的密封性能；同时，回流的溶液再次进入清洗腔体内对玻璃基片的表面进行清洗，形成溶液的循环利用，减少溶液的浪费。2.本技术提供的玻璃基片的清洗设备，引流部的纵向截面形状为V形，所述V形的开口朝向外界，其底部朝向所述内腔。V形的引流部能够使得凝结或喷射在其内壁面上的溶液及时经V形底部回流到清洗腔体内，进一步确保残留在引流部上的溶液不会滴落在侧槽的盖板上。3.本技术提供的玻璃基片的清洗设备，所述V形的夹角角度为130-165°。通过适当地设计V形的夹角，使得凝结或喷射在引流部内壁面上的溶液及时地回流到清洗腔体内。防止当角度过小时，引流部的底部伸入内腔深度大，与喷淋管相碰；或者当角度过大时，凝结在引流部上的溶液不能及时地回流，溶液在重力作用下，有少量溶液还是会滴落在侧槽的盖板上。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中的玻璃基片的清洗设备侧向的剖面示意图；图2为本技术实施例1中提供的玻璃基片的清洗设备侧向的剖面示意图；图3为本技术实施例1中提供的玻璃基片的清洗设备中A处的局部放大图；附图标记说明：1-箱体；11-侧槽；12-清洗腔体；13-隔板；14-环形安装台；2-盖板；3-上盖；31-引流部；32-环形部；41-喷淋管；42-喷嘴；5-传动轴；6-把手；7-玻璃基片；a-V形的夹角；8-密封胶。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基片的清洗设备，包括箱体(1)，具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，所述内腔中成型有平行设置的两块隔板(13)，两个所述隔板(13)分别与所述箱体(1)的内壁面之间形成侧槽(11)，两所述侧槽(11)之间形成清洗腔体(12)；盖板(2)，一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽(11)的顶部开口上；喷淋结构，为至少两个，水平相对设置在所述清洗腔体(12)内，所述盖板(2)位于两个所述喷淋结构之间；上盖(3)，可拆卸地设置在所述箱体(1)的顶部开口上；其特征在于：所述上盖(3)的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部(31)，所述引流部(31)的底部位于所述清洗腔体(12)的正上方，用于引导凝结在所述引流部(31)内壁面上的溶液回落在所述清洗腔体(12)内。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基片的清洗设备，包括箱体(1)，具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，所述内腔中成型有平行设置的两块隔板(13)，两个所述隔板(13)分别与所述箱体(1)的内壁面之间形成侧槽(11)，两所述侧槽(11)之间形成清洗腔体(12)；盖板(2)，一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽(11)的顶部开口上；喷淋结构，为至少两个，水平相对设置在所述清洗腔体(12)内，所述盖板(2)位于两个所述喷淋结构之间；上盖(3)，可拆卸地设置在所述箱体(1)的顶部开口上；其特征在于：所述上盖(3)的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部(31)，所述引流部(31)的底部位于所述清洗腔体(12)的正上方，用于引导凝结在所述引流部(31)内壁面上的溶液回落在所述清洗腔体(12)内。2.根据权利要求1所述的玻璃基片的清洗设备，其特征在于：所述引流部(31)的纵向截面形状为V形，所述V形的开口朝向外界，其底部朝向所述内腔。3.根据权利要求2所述的玻璃基片的清洗设备，其特征在于：所述V形的夹角(a)角度为130-165°。4.根据权利要求2或3所述的玻璃基片的清洗设备，其特征在于：所述上盖(3)的边缘还具有朝向所述内腔延伸的环形部(32)，所述引流部(31)位于所述环形部(32)的内腔，以使所述上盖(3)的纵向截面形状为M...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭丰，洪耀，张民井，曹瑞丰，毛成飞，高裕弟，孙剑，
申请(专利权)人：枣庄维信诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37