The utility model relates to a detachable wafer linear slide, comprising a slide block and a slide, on both sides of the lower part of the sliding block are respectively provided with semicircular arc-shaped through holes, the slider connected by a semicircle hole with the slide rail, the slide rail comprises tooth type convex block and a slide rail base, the lower part of the tooth type convex block is provided with a first a circular through hole, the bottom teeth bump grooves have inverted \V\ shape of the slide, the base is in a concave shape, both ends of the upper part of the slide rail base are respectively provided with a rectangular groove, the rectangular groove is provided with inverted \V\ shaped groove corresponding to the shape of \V\ lug. Tooth type lug is positioned in the rectangular groove, two sides of the slide base are respectively provided with two circular holes, the lower part of the circular screw positioned in the rectangular groove; one side of the sliding block and the slide rail is fixedly connected with the upper cover, and a slider The other side of the slide rail is fixedly connected with a fixing plate. The utility model has the advantages of simple structure, convenient operation, low manufacturing cost and easy operation.
【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸晶圆直线滑轨
本技术涉及半导体
,特别涉及一种可拆卸晶圆直线滑轨。
技术介绍
晶圆作为制造半导体芯片的基本材料,广泛应用于半导体行业中;其中晶圆直线滑轨的作用尤为突出,但现有的滑轨均为一体的,滑块轴承在滑轨上滑动时,滑块轴承内部滚珠会摩擦滑轨,使滑轨与滑块轴承连接处磨损,从而影响使用的技术效果,更换滑轨与滑块轴承连接部位的同时需要更换整个滑轨,这样浪费材料、增加了制作成本并影响直线滑轨使用的技术效果;现有的直线滑轨均会额外安置限位块,浪费材料的同时增加了制造的成本;并且现有的滑块和滑轨之间用滚动轴承相连,滚动轴承的造价高,制造工艺和结构复杂。该类设备结构复杂、成本高、不适合中低端半导体设备。故如何在更换时降低晶圆直线滑轨的制作成本,避免材料的浪费是目前亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、使用方便、制造成本低、易于操作的可拆卸晶圆直线滑轨。为了实现上述目的,本技术的技术方案是:一种可拆卸晶圆直线滑轨,包括滑块和滑轨,所述滑块呈长方体形,滑块下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔,滑块通过半圆弧形通孔与滑轨连接,所述滑轨包括牙型凸块和滑轨底座,所述牙型凸块上部呈半圆弧形、下部呈矩形,牙型凸块的下部开设有第一圆形通孔,牙型凸块的底部开设有倒“V”字形的凹槽,所述第一圆形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部,所述滑轨底座呈“凹”字形,滑轨底座上部的两端分别开设有矩形凹槽,所述矩形凹槽的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块,牙型凸块位于矩形凹槽内,滑轨底座的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔,所述圆形螺孔位于矩形凹槽的下部;滑 ...
【技术保护点】
一种可拆卸晶圆直线滑轨,包括滑块和滑轨,其特征在于,所述滑块呈长方体形,滑块下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔,滑块通过半圆弧形通孔与滑轨连接,所述滑轨包括牙型凸块和滑轨底座,所述牙型凸块上部呈半圆弧形、下部呈矩形,牙型凸块的下部开设有第一圆形通孔,牙型凸块的底部开设有倒“V”字形的凹槽,所述第一圆形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部,所述滑轨底座呈“凹”字形,滑轨底座上部的两端分别开设有矩形凹槽,所述矩形凹槽的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块,牙型凸块位于矩形凹槽内,滑轨底座的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔,所述圆形螺孔位于矩形凹槽的下部;滑块和滑轨的一侧面固定连接有上盖,滑块和滑轨的另一侧面固定连接有固定板,所述上盖的两侧分别开设有盲孔和第一螺纹孔,所述固定板的下部两侧分别开设有第二螺纹孔。
【技术特征摘要】
1.一种可拆卸晶圆直线滑轨,包括滑块和滑轨,其特征在于,所述滑块呈长方体形,滑块下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔,滑块通过半圆弧形通孔与滑轨连接,所述滑轨包括牙型凸块和滑轨底座,所述牙型凸块上部呈半圆弧形、下部呈矩形,牙型凸块的下部开设有第一圆形通孔,牙型凸块的底部开设有倒“V”字形的凹槽,所述第一圆形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部,所述滑轨底座呈“凹”字形,滑轨底座上部的两端分别开设有矩形凹槽,所述矩形凹槽的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块,牙型凸块位于矩形凹槽内,滑轨底座的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔,所述圆形螺孔位于矩形凹槽的下部;滑块和滑轨的一侧面固定连接有上盖,滑块和滑轨的另一侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员:张鹏斌,陈鲁,刘涛,马砚忠,杨乐,黄有为,庞芝亮,
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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