The utility model relates to a disc cleaning isolation device, including isolation consists of six organic glass cover, and is located in the long groove at the bottom of the organic glass shield on the shield of the side port can be connected with an insertion side, side wall isolating cover respectively transverse distributed fixed port more than two the folding buckle is connected with a fixed vertical segregation of the bottom of the cover, the fixing buckle comprises a fixed block and a fixing sleeve and a reinforcement assembly, a reinforcement assembly for fixing the fixing sleeve, the upper part of the reinforcement component through the fixed block, the reinforcement assembly comprises two mutually reinforcing strips are hinged, two reinforcing strips combination the upper part of the parallel structure, the lower part is cross shaped, reinforcing strips are arranged at the lower part of the fixed point, both sides of the upper part of the shield is provided with a dustproof cloth cloth do not dispose of angle. The utility model has the advantages of simple structure and convenient use, and can effectively prevent dust from entering and connecting, and is fast and firm.
【技术实现步骤摘要】
一种圆盘净化隔离装置
本技术涉及圆盘
,特别是涉及一种圆盘净化隔离装置。
技术介绍
晶圆作为制造半导体芯片的基本材料,在半导体行业中被广泛采用,晶圆在处理过程中空气中不可避免存在的颗粒等物体可能依附着晶圆表面,增加制造成本并降低良品率,故会在手动晶圆装、卸载装置上增设圆盘净化隔离装置,现有的圆盘净化隔离装置多采用螺栓进行固定连接,螺栓数量多、个头小,安装过程较为繁琐,螺栓易丢失,极大的降低工作效率,而且过多的采用螺栓固定不利于圆盘净化隔离装置的摘取清理作业,圆盘净化隔离装置上的隔离罩由多块有机玻璃组成,对接的两块玻璃之间会产生缝隙,灰尘从缝隙进入,致使防尘效果并不理想。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、使用方便、可以有效的防止灰尘进入、连接快速牢固的圆盘净化隔离装置。为了实现上述目的,本技术的技术方案是:一种圆盘净化隔离装置,包括由六块有机玻璃组成的隔离罩,以及位于隔离罩底部有机玻璃上的长槽,所述隔离罩的侧边布设有侧口,所述侧口上可抽插式连接有侧门,隔离罩的两侧壁上分别横向布设有两个以上的固定口块,所述固定口块的后部呈矩形条状、前部呈矩形块状,所述固定口块的下部开设有内凹槽,所述内凹槽的两侧壁上分别开设有凹孔和加固孔,所述凹孔上横向可伸缩式连接有固定棒,所述固定棒的前端面位于凹孔的外部,固定棒呈圆柱形,隔离罩的底部纵向可折叠式连接有固定扣,所述固定扣包括固定块、固定套和加固组件,所述固定块的中心开设有通孔,固定块的前端面横向布设有固定套,所述固定套和通孔在同一中心线上,固定套的外壁上开设有固定孔,所述固定套内固定有加固组件,所述加固组件的上部穿 ...
【技术保护点】
一种圆盘净化隔离装置,包括由六块有机玻璃组成的隔离罩,以及位于隔离罩底部有机玻璃上的长槽,其特征在于,所述隔离罩的侧边布设有侧口,所述侧口上可抽插式连接有侧门,隔离罩的两侧壁上分别横向布设有两个以上的固定口块,所述固定口块的后部呈矩形条状、前部呈矩形块状,所述固定口块的下部开设有内凹槽,所述内凹槽的两侧壁上分别开设有凹孔和加固孔,所述凹孔上横向可伸缩式连接有固定棒,所述固定棒的前端面位于凹孔的外部,固定棒呈圆柱形,隔离罩的底部纵向可折叠式连接有固定扣,所述固定扣包括固定块、固定套和加固组件,所述固定块的中心开设有通孔,固定块的前端面横向布设有固定套,所述固定套和通孔在同一中心线上,固定套的外壁上开设有固定孔,所述固定套内固定有加固组件,所述加固组件的上部穿过固定块,加固组件包括两根相互进行铰接的加固条,所述加固条为折弯的板条,两根加固条组合后上部呈平行状、下部呈交叉状,加固条的下部设置有固定尖,所述固定尖对应加固孔,固定尖和加固条之间的夹角小于90°,所述隔离罩上部的两侧边角处分别布设有防尘布。
【技术特征摘要】
1.一种圆盘净化隔离装置,包括由六块有机玻璃组成的隔离罩,以及位于隔离罩底部有机玻璃上的长槽,其特征在于,所述隔离罩的侧边布设有侧口,所述侧口上可抽插式连接有侧门,隔离罩的两侧壁上分别横向布设有两个以上的固定口块,所述固定口块的后部呈矩形条状、前部呈矩形块状,所述固定口块的下部开设有内凹槽,所述内凹槽的两侧壁上分别开设有凹孔和加固孔,所述凹孔上横向可伸缩式连接有固定棒,所述固定棒的前端面位于凹孔的外部,固定棒呈圆柱形,隔离罩的底部纵向可折叠式连接有固定扣,所述固定扣包括固定块、固定套和加固组件,所述固定块的中心开设有通孔,固定块的前端面横向布设有固定套,所述固定套和通孔在同一中心线上,固定套的外壁上开设有固定孔,所述固定套内固定有加固组件,所述加固组件的上部穿过固定块,加固组件包括两根相互进行铰接的加固条,所述加固条为折弯的板条,两根加固条组合后上部呈平行状、下部呈交叉状,加固条的下部设置有固定尖,所述固定尖对应加固孔,固定尖和加固条之间...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄有为,陈鲁,刘涛,马砚忠,杨乐,张鹏斌,庞芝亮,
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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