用于涂装基体的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于利用膜层涂装基体（6）的方法，其特征在于，所述装置具有用于安设热塑性的膜层材料（4）的安设器件（1）和用于使得膜层材料（4）分配在所述基体（6）上以用于构造所述膜层的分配器件。此外，本发明专利技术涉及一种对应的装置。

Method and apparatus for coating substrates

The invention relates to a method for using film coating substrate (6) method, which is characterized in that the device is used for installation of thermoplastic film material (4) installation device (1) and (4) for the film material distribution in the matrix (6) for distribution device structure the film. In addition, the invention relates to a corresponding device.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于涂装基体的方法和装置
本专利技术涉及按照权利要求1所述的方法以及按照权利要求10所述的装置。
技术介绍
在现有技术中，将聚合物安设到基体的表面上如下来进行。基体、尤其晶片在水平的转动盘上、试样支架上（英语：chuck）借助于真空抽吸部固定在下侧处。借助于在所述晶片的中心之上的配量设备，将聚合物溶液的预限定的量（其混以溶剂，在下文就仅还称为膜层材料）进行安设。在此，所述膜层厚度依赖于聚合物溶液的粘性，旋转涂层的转动速度、转动加速度和工艺持续时间。最终转动速度和工艺持续时间在旋转喷涂机处依赖于所期望的结果来控制，并且所述膜层材料由输出位置，也即基体的近似中央的中部直向着所述基体的径向对称的边缘进行分配。可能多余的膜层材料在此从基体离心分离。一般为此使用含有溶剂的聚合物溶液。溶剂份额在这里应该用于减小所述粘性并且由此辅助所述聚合物溶液在所述晶片上的均匀的分配。经减小的粘性加速了膜层的建立。通过聚合物溶液的粘性的在所述晶片的所有区域上延续的减小，尤其许多过剩的材料在所述基体的边缘上被离心分离。为了能够建立稳定的膜层，在一个接下来的步骤中必要的是，去除在聚合物溶液中结合的溶剂。溶剂的一部分直接在离心涂布时挥发。剩余溶剂浓度通过接下来的加热（英语：softbake）而时间密集地近似向着零降低。这点通过扁平的和单件式的加热区实现，该加热区延伸经过所述试样支架的整个面并且至少具有有待处理的基体的尺寸或者稍微更大。膜层厚度的可能很好的均匀性以及可能短的周期时间使得在微电子中的离心涂布成为一段时间最频繁采用的用于制造膜层的方法。所述基体利用聚合物溶液（在该聚合物溶液中使得高份额的溶剂溶解）旋转涂装。为了建立稳定的膜层，首先必要的是，均匀地分配所述膜层材料。为了均匀地分配所述溶剂，位于有待工艺处理的基体上的所述试样支架被置于转动运动中。这种转动运动促成了将膜层材料分配在所述基体的整个表面上。在这里，所述试样支架的中央的中部形成了用于所述基体的径向的转动轴线。所述膜层材料的分配尤其由聚合物溶液的粘性和包含在其里面的溶剂份额、旋转涂层的加速度、转动速度和工艺持续时间来影响。原则上能够说的是，转动速度必须随着粘性的增大而相应地增大，以便实现所述膜层材料的经优化的分配。在旋转涂装时，相比于实际对于制造膜层必要的那样，原则上必须采用更多的膜层材料。所述旋转涂装正如此时采用的那样促成的是，它导致从位于所述基体的径向对称的边缘区域中的膜层材料的经提高的离心分离。依赖于所述溶剂份额和从中得到的粘性，在这里考虑膜层材料的更多应用，该膜层材料在最适当的情况中使得所采用的膜层材料的加倍是必要的。但在特别的情况中，膜层材料的四倍或更高的采用当然也能够是必要的，这表现了不能够低估的成本因素。离心分离的膜层材料不能够重复使用，因为脏污不能够被排除。因为在膜层中的高的溶剂份额会干扰结合工艺（Bondprozess），则需要降低这种溶剂份额。这点能够通过转动速度的额外的提高以及通过加热温度的提高来实现或由来自两者的组合来实现。但是，转动速度的提高促成了膜层材料的超过基体边缘被离心分离的部分的进一步升高，以及层厚的改变。原则上适用的是，在离心涂布期间，保留的容积浓度首先快速下降并且然后在一个值上饱和，该值尤其依赖于膜层厚度并且在温度较高时才能够进一步被减小。为了达到这点，实现加热，在其中，能够进一步减少所述溶剂。所述加热本身也不是普通的，因为该工艺必须在不同的温度步骤中执行。需要不同的温度步骤，以便阻碍会在过快加温时产生的气泡形成。因为有待加热的溶剂的量决定性地由膜层厚度确定，则还须注意的是，随着膜层厚度的增大，对于加热存在于单个的膜层中的溶剂的时间花费也按比例进行升高。反过来当然适用的是，膜层越薄地构造，则加热时间相应地减小。但是，所述膜层的厚度不能够被自由选择，而是由对这样的膜层的相应的要求来确定。尽管如此适用的是，加热的工艺步骤在使用含有溶剂的聚合物溶液的情况下是强迫必要的并且在任何情况中施展阻碍工艺流程的效果。
技术实现思路
因此本专利技术的任务在于，如此改进所属类型的用于涂装基体的装置和方法，使得尤其在应用在结合时实现更高效的涂装。此任务利用权利要求1和10的特征来解决。在从属权利要求中说明了本专利技术的有利的改型方案。来自在说明书、权利要求书和/或附图中说明的特征中的至少两个特征的全部的组合也落在在本专利技术的框架中。对于值范围而言，处于所提到的边界内的值也应该作为极限值公开，并且可以在任意的组合中要求保护。本专利技术的基本想法是，为了利用膜层来涂装基体，使用尤其不含溶剂的热塑性塑料，该热塑性塑料借助于适用于安设热塑性塑料的设备（安设器件）来安设。本专利技术涉及尤其方法和装置，利用其实现了基体、尤其晶片利用尤其不含溶剂的热塑性塑料的涂装、优选旋转涂装（英语：Spin-Coating）。本专利技术说明了尤其一种方法和一种装置，其规定使用尤其不含溶剂的热塑性塑料以用于在基体上建立膜层。在此，优选完全省去添加溶剂，以用于减小粘性。此外本专利技术涉及尤其一种装置，利用该装置能够使得用于制造膜层的热塑性塑料均匀地分配在所述基体表面上，尤其不依赖于其以哪种形式存在。在这里，均匀的分配不仅指的是所安设的材料的均匀性，也指的是膜层厚度。原则上，能够考虑使用所有已知类型的热塑性塑料。根据本专利技术优选是，单个地或以组合的方式：-结合粘合剂，特别是环烯烃共聚物-聚乙烯（PE），-聚丙烯（PP），-聚苯乙烯（PS），-聚氯乙烯（PVC），-聚酰胺（PA），-聚酰亚胺（PI），-聚甲基丙烯酸甲酯，-具有熔化温度为220-250℃的丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS），-具有熔化温度为178-260℃的聚酰胺（PA），-具有熔化温度为150-160℃的聚乳酸（PLA），-具有熔化温度为105℃的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA），-具有熔化温度为280-320℃的聚碳酸酯（PC），-具有熔化温度为250-260℃的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET），-具有熔化温度为80-100℃（PE-LD、80°C），（PE-HD、100°C），（PE-LLD、30-90°C）的聚乙烯（PE），-具有熔化温度为160-165℃的聚丙烯（PP），特别是在加入少量溶剂的情况下，-在全同立构PS时具有熔点为240℃，在间同立构PS时具有熔点为270℃的聚苯乙烯（PS），-具有熔点为280℃的聚醚醚酮（PEEK）和/或-具有熔点为79℃的聚氯乙烯（PVC），特别是在加入溶剂的情况下。此外，在当今也还指的是并非已知的热塑性塑料，其在特征、也即材料特性等中具有与前述的膜层材料类似的性质。尤其算作此的是机械特性、尤其熔化温度。本专利技术尤其设置将不含溶剂的热塑性塑料用于在基体、尤其晶片上制造膜层。热塑性塑料是一种塑料，其原则上依赖于环境参数例如压力、温度能够具有四个不同的聚集态，也即固态、热弹性、热塑性和液态。根据本专利技术优选地，使用热塑性塑料，其不会交联并且能够多次、尤其任意频繁地可逆地液化和硬化。热塑性塑料通过安设器件安设到基体的表面上。所述安设器件尤其指的是挤出机。为了使得尤其在固态形式中位于挤出设备中的热塑性塑料（一般：膜层材料）经过该挤出设备实现安设，所述膜层材料的聚集态通过尤其在挤出设备中的热引入从固态向着液态改变。这点优选通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于借助于膜层涂装基体（6）的方法，利用该膜层来涂装所述基体（6），其特征在于，所述膜层的膜层材料（4）是热塑性塑料，该热塑性塑料借助于安设器件来安设。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.15 DE 102015100579.41.一种用于借助于膜层涂装基体（6）的方法，利用该膜层来涂装所述基体（6），其特征在于，所述膜层的膜层材料（4）是热塑性塑料，该热塑性塑料借助于安设器件来安设。2.按照权利要求1所述的方法，在该方法中，所述膜层材料（4）具有小于80%、尤其小于60%、优选小于40%、还更优选小于20%、最优选地小于1%的溶剂份额，全部最优选地不含溶剂。3.按照权利要求1或2所述的方法，在该方法中，利用所述膜层涂装的基体（6）在所述膜层硬化之后与一个另外的基体结合。4.按前述权利要求中任一项所述的方法，在该方法中，在安设所述膜层材料（4）时使得所述基体（6）旋转。5.按前述权利要求中任一项所述的方法，在该方法中，在安设所述膜层材料（4）时，尤其利用不同的、尤其从优选中央的中部（5）向着边缘区...

【专利技术属性】
技术研发人员：A费屈雷尔，
申请(专利权)人：EV集团E·索尔纳有限责任公司，
类型：发明
国别省市：奥地利,AT