在线移送的分析样品的分析系统技术方案

本发明专利技术涉及一种分析系统，可在线移送分析样品，同时迅速得到分析结果。此外，还提供一种分析系统，对于从两个以上的现场所供给的分析样品，形成在分析样品的移送路径上不采用泵或阀等具有失效容体部分的构成，同时借由一台分析装置来分析。本发明专利技术涉及一种分析系统，具备两个以上的样品分别移送装置，并且样品分别移送装置的各样品移送路径，与由应用感应耦合等离子体或微波等离子体的分析装置所构成的共通分析装置的等离子体炬连接；各样品移送路径中，具有主流路、补充气体供给流路、以及排放流路；等离子体炬在大致中央处具有导入雾化的分析样品的样品导入管；排放流路的内径与等离子体炬的样品导入管的入口部分的内径为同等以上。

An analytical system for on-line transfer of analytical samples

The invention relates to an analytical system, which can be transferred on-line to analyze samples and rapidly obtain analytical results. In addition, also provides a system for analysis, analysis of the samples supplied from the scene of more than two, formed in the transfer path analysis of the sample does not use the pump or valve has the failure to form part of the body, at the same time by the analysis of a device to analyze. The present invention relates to an analysis system, with more than two kinds of samples were transferred to equipment, goods and samples were transferred to the device transfer path, plasma torch common analysis device composed and analysis device by inductively coupled plasma or microwave plasma of the connection; every sample transfer path, with the mainstream Road, supplement the gas supply flow path and discharge flow path; sample introduction analysis of samples of plasma torch is introduced in roughly at the center of the atomizing tube; and the inner diameter of the plasma torch discharge flow path of the sample into the entrance of the tube diameter is equal to or more than.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在线移送的分析样品的分析系统
本专利技术涉及用以在线移送两个以上的分析样品并借由一台分析装置进行分析的系统。尤其，本专利技术涉及适合于借由感应耦合等离子体或微波等离子体的分析系统。
技术介绍
半导体制造步骤中，各种处理液、化学药品等的工厂中的质量管理或排液管理中，存在着欲分析溶液中的微量金属的浓度等的需求。此外，河川的水质管理、土壤污染等的环境分析中，微量元素的分析也是必要的。该微量元素的分析中，分析装置可使用感应耦合等离子体质谱分析装置或感应耦合等离子体发光分光分析装置等利用感应耦合等离子体(ICP：InductivelyCoupledPlasma)的分析装置(以下，视情况记载为ICP分析装置)，或是利用微波等离子体(MP：MicrowavePlasma)的分析装置(以下记载为MP分析装置)。此等ICP分析装置或MP分析装置，多设置在研究所或实验室等的分析设施，一般是将工厂等现场所采集的分析样品送入至研究所等来分析微量元素等。此等借由ICP分析装置等的元素分析，由于通常不在现场直接进行，而是介由人力来进行分析样品的送入，所以至得到分析结果为止，会产生时间差。因此，即使从分析结果检测出异常时，对制造产线等现场的对应也产生延迟，而有无法完全排除在其间制造出不良品等缺失的产生的问题。此外，由于分析样品的采集是由人力来进行，除了可分析次数存在着限制外，并且因制造产线所使用的酸、碱、有机溶剂等种类的不同，作业者的安全性也可能产生问题。在该背景下，期待一种可从现场至ICP分析装置或MP分析装置为止，在线移送分析样品的分析系统。此点，虽然装置的种类与ICP分析装置等有所不同，但在专利文献1中，提出一种对于液相层析分析装置，可定期或连续地将制造步骤中的样品溶液取样的在线移送装置。此系统借由流路切换阀的设置，可省略大型的驱动机构。在如此地在线移送分析样品的系统中，较理想的是在取样分析样品的现场的每1处设置一台分析装置。然而，ICP分析装置或MP分析装置，可设置在1处设施的台数存在着限制，难以导入与取样现场数目相同台数的分析装置。此是因ICP分析装置等为相对大型的精密机器，设置空间或空调环境等有所限制，可设置场所受限，且装置价格也昂贵之故。从以上情况来看，使用ICP分析装置或MP分析装置的分析系统中，期待构成为可借由一台或少数台ICP分析装置等来分析从多个现场所取样的分析样品。在此，依据ICP分析装置等的分析系统，一般而言，如图1所示，在借由雾化器N使液体状态的样品溶液S雾化后，在喷雾室C内捕集粒径较大的雾，仅将粒径较小(平均粒径约5μm左右)的雾状分析样品导入至等离子体炬P后，提供质谱分析或分光分析。该分析系统中，当分析从多个现场所采集的种类不同的样品时，最简单的是，可考虑随时更换供给至雾化器的样品溶液(更换供给用管等)。然而，此时在分析完1种样品溶液后切换至其他样品溶液前，必须充分地洗净雾化器、喷雾室等的内部。当喷雾室等的内部中，不同分析样品彼此混合时，无法得到正确的分析结果。此外，样品彼此的液性不同时，容易产生析出物(例如当酸性溶液与碱性溶液混合时，会析出盐)。相对于上述喷雾室内的洗净，在专利文献2中，揭示一种将样品溶液用的导入部与洗净液用的导入部连接于一个喷雾室的分析系统。该系统中，借由设置两个液导入部，在分析两种以上的分析样品时，可降低喷雾室内的洗净时间。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第3815322号说明书；专利文献2：日本特开2004-286604号公报。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题关于上述现有技术，专利文献1的系统，适用六向阀(阀)，专利文献2的系统，则适用蠕动泵。如此，先前的系统，在分析样品的供给路径中，为了多个流路的切换或样品的平顺导入，而使用“泵”或“阀”。然而，此等泵或阀，存在着具有容易滞留分析样品的失效容体部分的问题。当分析多个分析样品时，在失效容体内部残存分析样品时，先前进行分析的分析样品会微量的混入于接续进行测定的分析样品，对检测值造成干扰而容易使分析结果产生误差。此现象称为“记忆效应”。此记忆效应，如ICP分析装置或MP分析装置般的分析ppt等级的微量样品时，即使是微量的样品混入，也容易对测定结果造成极大影响，而成为更显著的问题。此外，在测定浓度高(高基质)的样品后分析浓度低的样品时，当产生记忆效应时，测定结果也容易产生误差。另外，以上的记忆效应，除了泵或阀之外，在分析样品的流路中具备各种具有失效容体部分的零件时，也可能产生。此外，专利文献1的系统中，由于在线移送“液体状态”的分析样品，所以也有分析样品接触于移送中的配管而产生样品损耗或污染的风险。具体而言，样品损耗，是由于在解离常数高的溶液中，金属不易成为离子状态，使该元素吸附于移送的配管的内壁的细孔而产生。尤其当分析样品为碱溶液时，容易引起此金属元素的吸附。此外，当分析样品的配管为树脂制时，分析样品中的微粒(测定对象物)被撷取至配管表面的细孔内，也会产生损耗。此外，与以上内容相反，来自配管的构成材料或配管内壁的非吸附物的未意料到的金属元素或有机成分等，也可能从所接触的配管内壁混入分析样品而产生污染。在此，在ICP分析或MP分析中，当以少数台分析装置分析来自多个现场的分析样品时，有时现场与分析装置远离而使移送距离增长。此时，在液体状态的分析样品的移送中，在长距离的移送下，不仅有上述产生分析样品的损耗或污染的风险，并且因压力损耗等而使可移送的流速存在着限制。分析样品的流速，虽可借由缩小样品移送管的内径而被部分程度地提高，但此时压力损耗增大，而须使用高压泵。高压泵的应用，也成为分析样品污染的因素，故不适合于ICP分析或MP分析装置般的微量元素分析。此外，专利文献2的系统中，虽可缩短喷雾室的洗净时间，但洗净步骤本身无法省略，所以在从多个现场移送不同种类的分析样品进行分析时，无法即刻进行分析样品种类的切换。因此，本专利技术提供一种分析系统，其为即使是与分析装置远离的场所的分析样品，也可在线移送的系统，以降低分析样品的导入路径上的记忆效应为前提，同时可借由一台或少数台分析装置来分析从两个以上的现场所供给的分析样品。此外，还提供一种分析系统，其于在线移送中，不易因与移送中的配管接触而产生分析样品的损耗或污染。用以解决课题的手段在以上的背景下，本案专利技术者等是对于在分析样品的移送路径上不采用泵或阀等具有失效容体部分的构成，同时在分析多个分析样品时，也不易使样品彼此混入的分析系统进行精心探讨。此外，在上述探讨中，考虑到移送液体的分析样品时的风险，作为该移送方法，先将从现场所采集的液体的分析样品雾化，然后将雾状的分析样品在线移送至ICP分析装置或MP分析装置，并以此分析系统为基础。雾状的样品，与液状的样品相比，可增大移送速度，即使是长距离，也可在短时间内移送。因此，欲长距离移送分析样品时也可适用。除此之外，对于在借由一台或少数台分析装置(ICP分析装置或MP分析装置)来分析在线移送的多个分析样品时，防止分析样品彼此的混入也进行精心探讨。根据以上的探讨的本专利技术，关于一种分析系统，其具备：由将分析样品雾化的雾化器、借由粒径来选别雾化的分析样品的喷雾室、以及从喷雾室至等离子体炬为止对分析样品进行在线移送的样品移送路径所构成的样品分别移送装置；以及由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分析系统，其具备：由将分析样品雾化的雾化器、借由粒径来选别雾化的分析样品的喷雾室、以及从该喷雾室至等离子体炬为止对分析样品进行在线移送的样品移送路径所构成的样品分别移送装置；以及由将在线移送的分析样品送入至等离子体焰中的该等离子体炬、以及应用感应耦合等离子体或微波等离子体的分析装置所构成的共通分析装置；其中，该分析系统具备两个以上的该样品分别移送装置，并且该样品分别移送装置的各样品移送路径与该共通分析装置的该等离子体炬连接；各样品移送路径中，具有：从该喷雾室至该等离子体炬为止移送分析样品的主流路、将补充气体供给至该主流路的补充气体供给流路、以及设置在该补充气体供给流路与该喷雾室之间而将该补充气体和/或分析样品从该主流路排出的排放流路；该主流路为在分析样品的移送路径上不具有泵及阀的构成；该等离子体炬具有导入雾化的分析样品的样品导入管；该排放流路的内径(Dd)与该等离子体炬的样品导入管的等离子体导入侧附近的内径(Dt)相同(Dd＝Dt)，或是比Dt大(Dd＞Dt)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.21 JP 2015-1637511.一种分析系统，其具备：由将分析样品雾化的雾化器、借由粒径来选别雾化的分析样品的喷雾室、以及从该喷雾室至等离子体炬为止对分析样品进行在线移送的样品移送路径所构成的样品分别移送装置；以及由将在线移送的分析样品送入至等离子体焰中的该等离子体炬、以及应用感应耦合等离子体或微波等离子体的分析装置所构成的共通分析装置；其中，该分析系统具备两个以上的该样品分别移送装置，并且该样品分别移送装置的各样品移送路径与该共通分析装置的该等离子体炬连接；各样品移送路径中，具有：从该喷雾室至该等离子体炬为止移送分析样品的主流路、将补充气体供给至该主流路的补充气体供给流路、以及设置在该补充气体供给流路与该喷雾室之间而将该补充气体和/或分析样品从该主流路排出的排放流路；该主流路为在分析样品的移送路径上不具有泵及阀的构成；该等离子体炬具有导入雾化的分析样品的样品导入管；该排放流路的内径(Dd)与该等离子体炬的样品导入管的等离子体导入侧附近的内径(Dt)相同(Dd＝Dt)，或是比Dt大(Dd＞Dt)。2.根据权利要求1所述的分析系统，其中，一个以上的样品移送路径的该排放流路，具有缩小流路空间的缩紧部。3.根据权利要求1或2所述的分析系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：川端克彦，一之濑达也，池内满政，
申请(专利权)人：埃耶士株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP