功能性筒体及其制造方法技术

本发明专利技术提供在周面形成有磁性图案与非磁性图案的功能性筒体及其制造方法。功能性筒体具有：带凹部的筒体，其在周面由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体的所述周面形成有凹部，从而形成有凹部图案与非凹部图案；以及功能性图案，其由埋设于所述凹部图案的磁性材料或非磁性材料的任一方形成，在所述筒体主体的周面由磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有非磁性材料，在所述筒体主体的周面由非磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有磁性材料，从而相邻地形成有所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案。

Functional cylinder and method for manufacturing the same

The present invention provides a functional cylinder having a magnetic pattern and a nonmagnetic pattern formed on a circumferential surface and a method for manufacturing the same. The function of the cylinder has a cylinder body with a concave part, the peripheral surface formed by either magnetic material or non magnetic material the main body of the cylinder body of the peripheral surface of a concave part is formed, thus forming a recess pattern and non concave pattern; and the functional pattern, either the is buried in the concave pattern of magnetic material or non-magnetic material formed in the peripheral surface of the cylinder body is composed of magnetic material and non-magnetic material in the recess buried in the pattern, the main body of the cylinder body of the peripheral surface is composed of non-magnetic materials, magnetic in the material has a recess pattern buried nonmagnetic to magnetic pattern the pattern of magnetic material and the nonmagnetic material is formed adjacent to.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】功能性筒体及其制造方法
本专利技术涉及在周面相邻地形成有磁性材料的磁性图案与非磁性材料的非磁性图案而成的功能性筒体及其制造方法。
技术介绍
以往，作为带凹部的筒体，已知凹印制版辊。凹印制版辊的一般的制造工序例如记载于专利文献1的
技术介绍
一栏。即，为搬入-铬剥离-修正研磨/落版研磨-脱脂-水洗-酸洗-水洗-镀硫酸铜-磨石研磨-感光膜涂布形成-基于激光曝光装置的图像烧印-显影-蚀刻-抗蚀剂剥离-镀铬-砂纸研磨-搬出这样的工序。另外，例如由专利文献2可知作为表面强化覆盖层而使用了DLC的凹印制版辊。另外，作为凹印制版辊的全自动制造系统，存在例如记载于专利文献3、记载于专利文献4的系统。另一方面，作为用于各种装置的筒体，已知液压、气压式等的筒(专利文献5及专利文献6)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-223751专利文献2：日本特开2007-130996专利文献3：WO2007/135898专利文献4：WO2011/125926专利文献5：日本技术登记第3088245号专利文献6：日本实开平5-1063
技术实现思路
专利技术要解决的课题本申请的申请人发现通过在带凹部的筒体的凹部埋设磁性材料或非磁性材料能够形成新的功能性筒体，从而完成本专利技术。即，本专利技术的目的在于提供在周面形成有磁性图案与非磁性图案的功能性筒体及其制造方法。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的功能性筒体具有：带凹部的筒体，其在周面由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体的所述周面形成有凹部，从而形成有凹部图案与非凹部图案；以及功能性图案，其由埋设于所述凹部图案的磁性材料或非磁性材料的任一方形成，在所述筒体主体的周面由磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有非磁性材料，在所述筒体主体的周面由非磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有磁性材料，从而相邻地形成有所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案。优选的是，所述功能性图案形成为线状，在所述带凹部的筒体的周面沿径向和/或轴向交替地形成。优选的是，所述带凹部的筒体通过激光制版而制成。关于激光制版技术，可以应用专利文献1～4所公开的技术。优选的是，所述磁性图案通过从由Fe、Ni、Co形成的组中选出的至少一种磁性材料构成。也可以为使用它们的合金。优选的是，所述非磁性图案通过从由Cu、Al形成的组中选出的至少一种非磁性材料构成。也可以为使用它们的合金。优选的是，所述磁性图案及所述非磁性图案由金属材料形成，通过金属镀敷而形成。优选的是，所述带凹部的筒体的凹部的开口宽度为1μm～1000μm。另外，更优选为1μm～50μm，进一步优选为1μ～20μm。优选的是，所述带凹部的筒体的凹部的深度为1μm～1000μm。另外，更优选为1μm～50μm，进一步优选为1μ～20μm。本专利技术的装置是具备所述功能性筒体的装置。例如为具备本专利技术的功能性筒体的液压缸或气缸、具备它们的工作机械、以及机器人、线性传感器、MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)、航空器、人造卫星等，只要能够具备本专利技术的功能性筒体的装置，则均包含于本专利技术的装置。优选的是，在所述功能性筒体的外周面附近配置有磁通检测机构。作为磁通检测机构，可以列举例如形成为环状的线圈等。本专利技术的功能性筒体的制造方法用于制造所述功能性筒体，其中，所述功能性筒体的制造方法包含：准备周面由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体的工序；带凹部的筒体的凹部形成工序，具有在所述筒体主体的周面涂布抗蚀剂的工序、对所述抗蚀剂进行激光曝光的工序；以及图案形成工序，通过在所形成的所述带凹部的筒体的凹部埋设由磁性材料或非磁性材料的任一方形成的功能性图案，从而相邻地形成所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案。优选的是，所述磁性图案及非磁性图案形成为线状，在所述带凹部的筒体的周面沿径向和/或轴向交替地形成。优选的是，所述带凹部的筒体通过激光制版而制成。关于激光制版技术，可以应用专利文献1～4所公开的技术。优选的是，所述磁性图案通过从由Fe、Ni、Co形成的组中选出的至少一种磁性材料构成。也可以为使用它们的合金。优选的是，所述非磁性图案通过从由Cu、Al形成的组中选出的至少一种非磁性材料构成。也可以为使用它们的合金。优选的是，所述磁性图案及所述非磁性图案由金属材料形成，所述功能性筒体的制造方法还包含形成所述磁性图案以及所述非磁性图案的金属镀敷工序。优选的是，本专利技术的功能性筒体的制造方法通过全自动激光凹印制版系统来进行。关于全自动激光凹印制版系统，可以应用例如专利文献3及4所公开的系统。特别是，基于生产效率、防止产生灰尘等观点，优选如专利文献4所公开的系统，该系统设置有多个非行走型的工业机器人，通过所述工业机器人彼此传递版母材而依次移送至处理单元，对带凹部的筒体进行制作处理。专利技术效果根据本专利技术，具有能够提供在周面相邻地形成有磁性材料的磁性图案与非磁性材料的非磁性图案而成的功能性筒体及其制造方法这样的显著效果。附图说明图1是示出本专利技术的功能性筒体的一个实施方式的局部剖面示意图。图2是示意性地示出本专利技术的功能性筒体的制造方法的说明图，(a)是示出带凹部的筒体的凹部形成工序的主要部分剖面示意图，(b)是示出图案形成工序的主要部分剖面示意图，(c)是示出表面硬化被膜形成工序的主要部分剖面示意图。图3是示出本专利技术的功能性筒体作的示意图，(a)是功能性图案呈线状地沿径向形成的示意图，(b)是功能性图案呈线状地沿轴向形成的示意图。图4是在本专利技术的功能性筒体的外周面附近配置有磁通检测机构的装置的示意图。图5是按照实施例1制作的功能性筒体的轴向放大剖面照片。图6是按照实施例2制作的功能性筒体的周面表面的放大照片。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式进行说明，但这些实施方式仅为例示，因此无需言及能够在不脱离本专利技术的技术思想的范围内进行各种变形。另外，相同构材用相同的附图标记表示。在图1中，符号10表示本专利技术的功能性筒体的一个实施方式。功能性筒体10是如下的功能性筒体，该功能性筒体具有：带凹部的筒体22，其通过在周面12由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体14的所述周面12形成凹部16，从而形成有凹部图案18与非凹部图案20；以及功能性图案24，其由埋设于所述凹部图案18的磁性材料或非磁性材料的任一方构成，在所述筒体主体14的周面12由磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案18埋设非磁性材料，在所述筒体主体14的周面12由非磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案18埋设磁性材料，由此所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案相邻地形成。在制造功能性筒体10时，如图2所示，首先准备周面12由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体14。接着，在所述筒体主体14的周面12涂布抗蚀，对所述抗蚀剂进行激光曝光，并且进行蚀刻等，从而形成凹部16。关于在所述筒体主体14的周面12形成凹部16的方法，可以采用例如专利文献1～4所公开的方法。这样，形成带凹部的筒体22的凹部(图2的(a))。接着，通过在所形成的所述带凹部的筒体22的凹部16埋设由磁性材料或非磁性材料的任一方形成的功能性图案24，从而以所述磁性材料的磁性图案与所述非磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能性筒体，具有：带凹部的筒体，其在周面由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体的所述周面形成有凹部，从而形成有凹部图案与非凹部图案；以及功能性图案，其由埋设于所述凹部图案的磁性材料或非磁性材料的任一方形成，在所述筒体主体的周面由磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有非磁性材料，在所述筒体主体的周面由非磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有磁性材料，从而相邻地形成有所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.07 JP 2015-0787041.一种功能性筒体，具有：带凹部的筒体，其在周面由磁性材料或非磁性材料的任一方构成的筒体主体的所述周面形成有凹部，从而形成有凹部图案与非凹部图案；以及功能性图案，其由埋设于所述凹部图案的磁性材料或非磁性材料的任一方形成，在所述筒体主体的周面由磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有非磁性材料，在所述筒体主体的周面由非磁性材料构成的情况下，在所述凹部图案埋设有磁性材料，从而相邻地形成有所述磁性材料的磁性图案与所述非磁性材料的非磁性图案。2.根据权利要求1所述的功能性筒体，其中，所述功能性图案形成为线状，在所述带凹部的筒体的周面沿径向和/或轴向交替地形成。3.根据权利要求1或2所述的功能性筒体，其中，所述带凹部的筒体通过激光制版而制成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的功能性筒体，其中，所述磁性图案通过从由Fe、Ni、Co形成的组中选出的至少一种磁性材料构成。5.根据权利要求1至4中任一项所述的功能性筒体，其中，所述非磁性图案通过从由Cu、Al形成的组中选出的至少一种非磁性材料构成。6.根据权利要求1至5中任一项所述的功能性筒体，其中，所述磁性图案及所述非磁性图案由金属材料形成，通过金属镀敷而形成。7.根据权利要求1至6中任一项所述的功能性筒体，其中，所述带凹部的筒体的凹部的开口宽度为1μm～1000μm。8.根据权利要求1至7中任一项所述的功能性筒体，其中，所述带凹部的筒体的凹部的深度为1μm～1000μm。9.一种具备权利要求1至8中任一项所述的功能性筒体的...

【专利技术属性】
技术研发人员：重田龙男，重田核，菅原申太郎，
申请(专利权)人：株式会社新克，
类型：发明
国别省市：日本,JP