一种基板的上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种基板的上下料装置，包括卡匣、载台和滚轮组，所述卡匣设置于载台的上方，且所述卡匣底部的底板具有开口，所述开口下方设置有滚轮组，所述载台或滚轮组连接有升降机，所述滚轮组连接有电机。所述滚轮组包括多个滚轮，每个滚轮的滚轮轴与卡匣的底板相平行，且每个滚轮的滚动方向均朝向卡匣的料口方向。实用新型专利技术提供的基板的上下料装置与机械手相比，采用滚轮传送基板，通过降低或提升载台的高度实现上下料，具有结构简单、成本低廉以及空间占用面积小等优点，解决了传统的机械手方式占用空间大操作、结构复杂、成本高等问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Top and bottom blanking device for substrate

The utility model provides a substrate feeding device, including cartridge, carrier and roller group, the upper part of the cartridge is arranged on the table, and the bottom of the box with an opening, the opening is arranged below the roller group, the stage or the roller group is connected with the elevator. The roller is connected with a motor group. The roller assembly includes a plurality of rollers and bottom roller shaft of each roller and the cartridge is parallel to the rolling direction, and each of the rollers are toward the direction of the discharge hole of the cartridge. The utility model provides a substrate on the feeding device and manipulator compared with the roller transfer substrate, through the increase or decrease the height on the carrier material, has the advantages of simple structure, low cost and small space occupying area, solve the traditional manipulator with higher operating space for complex structure cost.

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种基板的上下料装置，包括卡匣、载台和滚轮组，所述卡匣设置于载台的上方，且所述卡匣底部的底板具有开口，所述开口下方设置有滚轮组，所述载台或滚轮组连接有升降机，所述滚轮组连接有电机。所述滚轮组包括多个滚轮，每个滚轮的滚轮轴与卡匣的底板相平行，且每个滚轮的滚动方向均朝向卡匣的料口方向。技术提供的基板的上下料装置与机械手相比，采用滚轮传送基板，通过降低或提升载台的高度实现上下料，具有结构简单、成本低廉以及空间占用面积小等优点，解决了传统的机械手方式占用空间大操作、结构复杂、成本高等问题。【专利说明】—种基板的上下料装置
本技术涉及半导体设备行业，具体涉及一种基板的上下料装置。
技术介绍
在半导体设备行业中，玻璃基板的传输方式有多种,其中最为常见的传输方式为通过机械手夹取方式，通过机械手将玻璃基板取出或放入卡匣，实现为设备的上下料动作。然而该最为普遍的机械手夹取进行上下料的方式却存在明显的不足之处，如空间占用大、机械手结构复杂、材料要求高、成本较高等方面，因而，急需开发一种结构简单且成本相对较低的上下料装置以满足现有行业的使用需求。
技术实现思路
本技术提供一种基板的上下料装置，通过卡匣升降、滚轮托举基板的传送方式实现上下料，解决了现有技术中玻璃基板上下料装置的空间占用大、结构复杂、成本高等问题。本技术提供一种基板的上下料装置，所述上下料装置包括卡匣、载台和滚轮组，所述卡匣设置于载台的上方，且所述卡匣底部的底板具有开口，所述开口下方设置滚轮组，所述卡匣侧面还具有料口，所述滚轮组的滚动方向朝向卡匣的料口 ；所述上下料装置还包括使所述卡匣升降或所述滚轮组升降以调整所述卡匣和滚轮组相对位置的升降机。进一步地，所述载台的侧面连接有升降机。进一步地，所述升降机为丝杠升降机或气动升降机。进一步地，所述滚轮组连接有电机。进一步地，所述滚轮组包括多个滚轮，每个滚轮的滚轮轴与卡匣底部的底板相平行。进一步地，所述开口的个数为多个，且开口的个数与滚轮的个数相等，每个开口对应设置有一个滚轮。进一步地，所述开口的个数为I个，开口对应分散设置有多个滚轮。进一步地，每个滚轮均竖直向下连接有单独的竖直方向同步带，而每个竖直方向同步带的下方均与一共同的水平方向同步带相连接，通过所述水平方向同步带连接电机。进一步地，每个滚轮的外侧分别设置有罩子，每个滚轮的轮体表面均部分凸出于罩子的顶部。本技术具有的优点在于:本技术提供一种基板的上下料装置，包括卡匣、载台、滚轮组以及升降机，采用滚轮组传送基板，并通过升降机降低或提升卡匣或滚轮组而实现基板与滚轮组的高度调整，从而实现上下料，与现有技术中采用机械手上下料技术相比，基板传送方式更加灵活，传送更易于操作，且上下料装置的整体结构相对简单，成本低廉，并且整个装置空间占用面积较小，解决了传统的机械手方式占用空间大操作、结构复杂、成本高等问题。【专利附图】【附图说明】图1是技术提供的基板的上下料装置中卡匣的结构简图；图2是技术提供的基板的上下料装置的整体结构图；图3是技术提供的基板的上下料装置中载台和滚轮组的结构示意图。图中:1-卡匣；2_开口；3_载台；4_滚轮组；5_滚轮；6_电机；7_升降机；8_料□。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。本技术提供一种基板的上下料装置，如图1-图3所示，包括卡匣1、载台3和滚轮组4。所述卡匣I的结构如图1所示，为现有技术中常见的结构框架部件，图1所示的卡匣I为400mmX500mm尺寸的卡匣，卡匣I底部的底板为具有开口 2的平板，该开口 2可以设置I个或多个，其中图1所示的现有400mmX 500mm尺寸的卡匣，其底部为具有六个正方形开口。若选用现有技术中其他结构的卡匣I的底板为无开口 2的平板，则将其加工为具有开口 2的结构。所述卡匣I设置于载台3上方，所述载台3采用适合卡匣I底部框架轮廓形状的结构，实现有效承载卡匣1，限制卡匣I前后左右偏移的框体。载台3或滚轮组4连接有升降机7，通过升降机7可以上升、下降该载台3或滚轮组4，进而实现其上放置的卡匣I的升降或滚轮组4的升降，以实现位置调整。所述滚轮组4设置于载台3的中空框架中，但不与所述载台3或卡匣I有任何固定或连接，可相应设置于底面或者固定的操作台平面上。所述卡匣侧面还具有料口 8，所述滚轮组4的滚动方向朝向卡匣I的料口 8。优选地，所述载台3的侧面连接有所述升降机7。优选地，所述升降机7优选为丝杠升降机，也可以选择气动升降机。优选地，所述滚轮组4连接有电机6。优选地，所述滚轮组4包括多个滚轮5，每个滚轮5的滚轮轴与卡匣底部的底板相平行。优选地，所述开口 2的个数为多个，且开口 2的个数与滚轮5的个数相等，每个开口 2对应设置有一个滚轮5。优选地,所述卡匣I底部设计为一个大尺寸的开口 2，则多个滚轮5对应均匀分散设置于该开口 2的下方。优选地，所述滚轮5为竖直方向设置的带动力滚轮，设置时使每个滚轮5的滚动方向均朝向相同的方向，即朝向卡匣I的料口 8出去或进入方向。每个滚轮5分别竖直向下连接有单独的竖直方向同步带，而每个竖直方向同步带的下方均与一共同的水平方向同步带相连接，通过该水平方向同步带连接电机6,进而提供滚轮5滚动动力，并通过水平方向同步带以及多个竖直方向同步带的同步传递动力，使各个滚轮5同步滚动。优选地，每个滚轮5的外侧分别设置有罩子进行遮挡，罩子也可以将滚轮5下方相应的竖直方向同步带一并进行遮挡，但滚轮5的轮体表面可部分凸出于罩子的顶部，以满足能够透过开口 2接触并滚动传送基板。本技术中卡匣I在载台3的带动下可以上下升降。当上料时，通过升降机7可以下降载台3，使卡匣I下降，可以使卡匣I中层层叠放于支撑片中的基板可以逐层降落到滚轮5上被托起，并通过滚轮5滑动传送出卡匣I料口 8，卡匣I的料口 8对齐机台的上料口，机台通过本身传动的滚轮5接收基板，然后可以再驱动升降机7，使卡匣I再下降一层支撑片高度，继续完成下一片基板的上料过程。当下料时，卡匣I的料口 8对齐机台的上料口，基板通过机台本身传动的滚轮5进入卡匣I的料口 8，然后通过滚轮5滚动使基板完全移动进入卡匣I中相应支撑片处，然后通过升降机7上升载台3，进而使卡匣I上升，使卡匣I中的基板上升一层支撑片的位置高度，然后再逐层一一叠放其他层基板即可，这样就可以逐一完成各层基板的下料过程。本技术中根据卡匣I底面结构，设计多组竖直设置的带动力滚轮，并通过升降机7驱动载台3升降而控制卡匣I升降，并通过电机6驱动同步带使基板移入或移出卡匣I。该基板的上下料装置结构简单，成本低，占用空间小，可以高效的完成基板的上下料过程。以上所述实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例，本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换，均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。【权利要求】1.一种基板的上下料装置，其特征在于，所述上下料装置包括卡匣、载台和滚轮组，所述卡匣设置于载台的上方，且所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的上下料装置，其特征在于，所述上下料装置包括卡匣、载台和滚轮组，所述卡匣设置于载台的上方，且所述卡匣底部的底板具有开口，所述开口下方设置滚轮组，所述卡匣侧面还具有料口，所述滚轮组的滚动方向朝向卡匣的料口；所述上下料装置还包括使所述卡匣升降或所述滚轮组升降以调整所述卡匣和滚轮组相对位置的升降机。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：岳伟星，杨硕，李素华，高峰，崔永鑫，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32