The invention relates to a curved surface film pressure sensor and a manufacturing method thereof\. For a surface film pressure sensor of the moving parts and manufacturing method thereof are disclosed, the sensor includes a surface plate elastic; and formed in the curved shell divided type mesh film switch, in the relative and curved shell side coupled to the moving parts of the anvil shell. The split type network membrane switch is used for sensing whether there is pressure action on the curved panel shell. The surface film pressure sensor according to the invention can satisfy the appearance requirements of moving parts, and can effectively touch and avoid the damage to the inspected object, and meanwhile, the utility model can effectively prevent fire and waterproof.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般涉及薄膜压力传感器领域，更具体地，本专利技术涉及一种用于运动部件的曲面薄膜压力传感器及其制造方法。
技术介绍
近年来，由于薄膜压力传感器稳定性好、体积较小、可靠性高等优点，因此在工业上得到了广泛的应用。薄膜压力传感器一般被认为是一种超薄多层机电装置，其中在感应元件及其迭片结构上有序布置电极和连接线，并使用合适的聚合物薄膜和环氧树脂材料做成一个坚固的超薄封装结构。当薄膜压力传感器受到突然的触点压力或者持续变化压力、拉力、速度场时，会产生电信号，以用于输出相应指示和/或促动机器的控制和操作。一般而言，薄膜压力传感器包括四种典型应用，即电开关、冲击压力、应变及物体速度的测量。基于上述典型应用，薄膜传感器可分为四类，即开关、压力计、应变计、电磁速度计。本领域中还公知的是，以上四种类型薄膜传感器的工作原理依赖于四种不同物理效应。分别为：突然电接触（开关）；压力（压阻）或者应变（张阻）作用下的电阻逐渐变化；压力（压电）或者应变（张电）作用下的电荷逐渐释放；当导体运动到磁场中时，在导体周围产生电动势（电动势速度效应）。另外，本领域...
【技术保护点】
一种用于运动部件的曲面薄膜压力传感器，包括：弹性的曲面板壳；以及在所述曲面板壳上形成的分型式网栅薄膜开关，其在与所述曲面板壳相对的一侧耦合到所述运动部件的砧板外壳，其中，所述分型式网栅薄膜开关用于感测所述曲面板壳上是否存在压力作用。
【技术特征摘要】
1.一种用于运动部件的曲面薄膜压力传感器，包括：
弹性的曲面板壳；以及
在所述曲面板壳上形成的分型式网栅薄膜开关，其在与所述曲面板壳相对的一侧耦合到所述运动部件的砧板外壳，
其中，所述分型式网栅薄膜开关用于感测所述曲面板壳上是否存在压力作用。
2.如权利要求1所述的曲面薄膜压力传感器，其中，所述分型式网栅薄膜开关包括上网栅薄膜和下网栅薄膜，并且所述感测基于所述上网栅薄膜和下网栅薄膜的网栅阻抗的改变。
3.如权利要求1所述的曲面薄膜压力传感器，进一步包括分型式泡棉垫板，并且所述砧板外壳通过所述分型式泡棉垫板与所述分型式网栅薄膜开关耦合。
4.如权利要求1所述的曲面薄膜压力传感器，其中，基于所述曲面板壳的材料和/或厚度改变所述感测的敏感度。
5.如权利要求1所述的曲面薄膜压力传感器，其中，基于所述感测来控制所述运动部件的运动。
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：杜杰，屈军，
申请(专利权)人：GE医疗系统环球技术有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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