一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器技术

一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，包括检测元件和同步元件，分别置于第一振荡电路和第二振荡电路中并形成两个自激振荡器，检测元件和同步元件通过平板电容静电耦合，微弱的同步电流得以穿过，影响并降低检测元件振荡器的相位噪声，大幅提升其频率稳定性，其固有频率可通过频率计数器读取。三个检测元件分别通过放大梁围绕一个六边形质量块均匀分布，质量块用于感受重力加速度并施加拉压力于放大梁上，放大梁放大并传递该力于检测元件，改变其自激振荡频率，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，反演出整个器件所受加速度大小及方向。

Frequency detecting method based on resonator synchronous oscillation and inclination angle sensor thereof

A resonator synchronous oscillation frequency detection method and tilt sensor based on including detection device and synchronization devices, respectively in the first and second oscillating circuit in the oscillation circuit and the formation of two self-excited oscillator, detection device and synchronization devices through flat capacitance electrostatic coupling, synchronous weak current to pass through, and reduce the effects of phase noise detecting element the oscillator frequency, greatly enhance its stability, its natural frequency can be read by a frequency counter. Three detection elements respectively amplified beam around a hexagonal mass uniform distribution by mass is used to sense the acceleration of gravity and pull pressure on the amplified beam, beam amplification and transmission of the power amplifier in the detecting element, change the self oscillation frequency, self-excited oscillation synchronization, by detecting the change of oscillation frequency and synchronization of three the self-excited oscillation circuit, reverse the device is the size and direction of acceleration.

【技术实现步骤摘要】
一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器
本专利技术涉及倾角传感器
，特别涉及一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器。
技术介绍
倾角传感器，尤其是高精度全量程倾角传感器的重要性是不言而喻的。高档数控机床和机器人、航空航天装备、高性能医疗器械这三个领域都与传感器，尤其是高精度倾角传感器密切相关，可以说，实现高精度全量程倾角传感器是建设制造强国的重要条件之一。谐振式MEMS倾角传感器作为一种高精度传感器一直受到各国研究者的青睐和重视。其一般由敏感元件、谐振元件及信号处理电路组成，传感器的敏感元件被用以感受面内重力加速度，该重力信号由谐振元件转化为频率信号，再由信号处理电路处理并反演角度值。对于谐振式倾角传感器，其测量精度受到传感器敏感元件的拓扑结构、加工工艺、驱动与检测原理以及振荡器频率稳定性等因素的影响。在绝大数情况下，微弱的重力加速度变化引起的谐振频率变化淹没在闭环振荡器的本底噪声中，从而导致无法精确的测量微重力变化。因此，近十年来各国研究者在努力提高加速度传感器标度因数的同时，也在不断探索新的方法来降低振荡器的本底噪声。2013年，本专利申请人及其剑桥大学的合作者分别在不同拓扑结构下发现了模态耦合和非线性幅值饱和效应对于提高硅微振荡器频率稳定性的作用，同年，本专利申请人的合作者设计了通过静电力相互作用的两个微音叉梁振荡器，并首次观察到了MEMS中的同步现象，同时发现了同步引起振荡器频率稳定性提高、本底噪声降低的现象。基于现有公开专利CN105737811A，本专利申请人进行了理论和实践上的优化和改进，并将同步测量原理引入倾角传感器的设计、加工和测试，构建了新一代全量程倾角传感器，该传感器能够在之前的测量精度基础上提升两个数量级，实现分辨率为105度(170ng)的角度(重力加速度)测量。
技术实现思路
为进一步提升现有技术的测量精度，本专利技术的目的是提供一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，实现平面内倾角的全量程、超高精度测量。为达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，包括用于感受重力加速度的质量块，该质量块的四周布置有放大梁、检测元件和同步元件；所述质量块将感受到的重力加速度转换为压力或拉力施加于放大梁上，该力经过放大梁传递并放大施加于检测元件，改变三个检测元件的刚度及固有频率。所述检测元件的主体为检测谐振子，该检测谐振子的两侧分别布置有第一电容平板和第二电容平板，检测谐振子的两端分别连接放大梁和第一固定端，第一固定端上溅射有第一金属电极层；在第一电容平板的对侧设有第三电容平板，第一电容平板和第三电容平板构成第一平板电容，第三电容平板被固定于第二固定端上，第二固定端上溅射有第二金属电极层。所述同步元件的主体为同步谐振子，两侧分别布置第四电容平板和第五电容平板，顶部和底部分别布置有第三固定端和第五固定端，第三固定端上溅射有第三金属电极层；在第四电容平板的对侧设有第六电容平板，第四电容平板和第六电容平板构成第二平板电容，第六电容平板被固定于第四固定端上，第四固定端上溅射有第二金属电极层，第五电容平板与第二电容平板相对并构成第三平板电容。具有自动增益控制的振荡电路包括依次连接的馈通电流消除电路、放大器、带通滤波、移相电路、比较器和幅值调节电路，其中，馈通电流消除电路与第一金属电极层或第三金属电极层连接，幅值调节电路与第二金属电极层或第四金属电极层连接。该传感器包括单晶硅基底、生长在单晶硅基底上的绝缘层，以及生长在绝缘层上的单晶硅结构层，所述质量块、放大梁、检测元件和同步元件都位于单晶硅结构层上，单晶硅基底起到支撑作用，保证单晶硅结构层悬空并可以自由振动。所述的放大梁、检测元件和同步元件成为一个整体并呈放射状均匀分布于质量块周围。所述的电容平板的间距为0.1μm-2μm。所述的检测谐振子与同步谐振子的固有频率比例为1:1、1:3或1:9时，振荡器稳定性提升效果最为显著。一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器的角度测量方法，质量块在受到面内重力加速度时，同时对放大梁产生压力或拉力，该力经放大梁放大并施加于检测元件上，以改变检测谐振子的固有频率，由于三个检测元件和三个同步元件被置于具有自动增益控制的振荡电路中，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，即可反演出整个器件所受倾角值。通过第三平板电容的静电耦合实现两个振荡器的同步振动，以大幅降低振荡器的本底噪声，提升检测元件的频率稳定性；当第一振荡电路与第二振荡电路的自激振荡频率为1:1、1:3或1:9时，实现检测元件频率变化的同步放大，提高检测元件的检测灵敏度。与现有技术相比，本专利技术至少具有以下有益效果：本专利技术在设置检测元件的同时，还设置有同步元件，该同步元件与检测元件静电耦合。这样，当质量块在受到面内重力加速度时，对放大梁产生压力或拉力，该力经放大梁传递并放大施加于检测元件上，以改变检测谐振子的固有频率，由于检测谐振子和同步谐振子被置于具有自动增益控制的振荡电路中，因此形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡的振荡频率及其变化，即可计算出整个器件所受倾角值。基于硅微谐振器的振荡器频率稳定、噪音低、易于集成，依此设计的倾角传感器体积小、灵敏度高、测量范围大；基于谐振器同步振荡的频率检测方法可以实现更低的本底噪声和更高的频率稳定性，从而实现超高精度的倾角测量。【附图说明】图1为本专利技术的结构示意图。图2为本专利技术的单晶硅结构层的俯视图。图3为本专利技术的测量电路原理图。图4为本专利技术的改进的测量电路原理图。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术进一步详细描述。参见图1，基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，包括单晶硅基底01，其厚度范围为400um-1000um，单晶硅基底01上生长一层二氧化硅绝缘层02，生长厚度范围为2-3um，二氧化硅绝缘层02上设有单晶硅结构层03，其厚度范围为10-25um。参见图2，所述的单晶硅结构层03是传感器的核心部分，由质量块1、放大梁2、检测元件3和同步元件4四个模块组成。质量块1的作用是感受面内重力加速度，并将加速度转换为压力或拉力施加于放大梁2上。放大梁2、检测元件3和同步元件4构成一个整体并呈放射状均匀分布于六边形的质量块1周围，具体地说，放大梁2、检测元件3和同步元件4形成的整体布置在六边形的质量块1的边上，六边形的质量块1悬空并仅靠放大梁2支撑，放大梁2的另一端与检测元件3相连。放大梁2包括输入梁2-1、杠杆2-2、支点2-3和输出梁2-4，输入梁2-1与六边形质量块1相连接并作为力的输入端，该力经杠杆2-2和支点2-3的放大，施加于输出梁2-4上，输出梁2-4另一端与检测谐振子3-1相连，支点2-3较细的部分悬空(支点较细的部分指支点2-3与杠杆2-2连接的部分)，起到支点的作用，较粗的部分与单晶硅基底01相接，起固定作用，即支点2-3的固定点。更具体地说，所述输入梁2-1为一对，分别与质量块6相连且位于质量块某一边的两端，所述杠杆2-2分别自输入梁朝向中间延伸而成。所述输出梁2-4也为一对，与各自相应的杠杆2-2和支点2-3连接。也就是说，杠杆2-3的一端连接输入梁2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，其特征在于：包括用于感受重力加速度的质量块(1)，该质量块(1)的四周布置有放大梁(2)、检测元件(3)和同步元件(4)，所述的检测元件(3)和同步元件(4)耦合，所述的检测元件(3)和同步元件(4)均置于具有自动增益控制的振荡电路中，保证检测元件(3)和同步元件(4)分别与各自的振荡电路形成自激振荡；所述质量块(1)将感受到的重力加速度并转换为压力或拉力施加于放大梁(2)上，该力经过放大梁(2)传递并放大施加于检测元件(3)。

【技术特征摘要】
1.一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，其特征在于：包括用于感受重力加速度的质量块(1)，该质量块(1)的四周布置有放大梁(2)、检测元件(3)和同步元件(4)，所述的检测元件(3)和同步元件(4)耦合，所述的检测元件(3)和同步元件(4)均置于具有自动增益控制的振荡电路中，保证检测元件(3)和同步元件(4)分别与各自的振荡电路形成自激振荡；所述质量块(1)将感受到的重力加速度并转换为压力或拉力施加于放大梁(2)上，该力经过放大梁(2)传递并放大施加于检测元件(3)。2.根据权利要求1所述的一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，其特征在于：所述检测元件(3)的主体为检测谐振子(3-1)，该检测谐振子(3-1)的两侧分别布置有第一电容平板(3-2)和第二电容平板(3-3)，检测谐振子(3-1)的两端分别连接放大梁(2)和第一固定端(3-5)，第一固定端(3-5)上溅射有第一金属电极层(3-4)；在第一电容平板(3-2)的对侧设有第三电容平板(3-8)，第一电容平板(3-2)和第三电容平板(3-8)构成第一平板电容，第三电容平板(3-8)被固定于第二固定端(3-7)上，第二固定端(3-7)上溅射有第二金属电极层(3-6)。3.根据权利要求2所述的一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，其特征在于：所述同步元件(4)的主体为同步谐振子(4-1)，同步谐振子(4-1)的两侧分别布置第四电容平板(4-2)和第五电容平板(4-3)，顶部和底部分别布置有第三固定端(4-5)和第五固定端(4-9)，第三固定端(4-5)上溅射有第三金属电极层(4-4)；在第四电容平板(4-2)的对侧设有第六电容平板(4-8)，第四电容平板(4-2)和第六电容平板(4-8)构成第二平板电容，第六电容平板(4-8)被固定于第四固定端(4-7)上，第四固定端(4-7)上溅射有第四金属电极层(4-6)，第五电容平板(4-3)与第二电容平板(3-3)相对并构成第三平板电容。4.根据权利要求1所述的一种基于同步振荡频率检测的MEMS全量程倾角传感器，其特征在于：具有自动增益控制的振荡电路包括依次连接的馈通电流消除电路(5-1)、放大器(5-2)、带通滤波(5-3)或锁相环、移相电路(5-4)、比较器(5-5)和幅值调节电路(5-6)，其中，馈通电流消除电路(5-1)与第一金属电极层(3-4)或第三金属电极层(4-4)连接，幅值调节电路(5-6)与第二金属电极层(3-6)或第四金属电极层(4-...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦学勇，翁寅生，王曙东，浦东，蒋庄德，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61