一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，属于真空镀膜技术领域。该装置包括汽化装置基体，汽化装置基体上安装有电热管、温控热电偶和化学原料泵入导管；化学原料泵入导管经汽化装置基本管路与一级汽化腔室连通，一级汽化腔室经汽化腔室连接管路与二级汽化腔室连通，二级汽化腔室经汽化装置基本管路与导热管连通，导热管端部连接等离子体挡板。该装置采用多级汽化方式，化学原料经一级汽化腔室汽化后进入二级汽化腔室，汽化充分；汽化装置出口安装等离子体挡板，可阻止等离子体进入汽化装置引发反应生成聚合物，防止腔体及管路堵塞；导热管和温控热电偶可维持化学原料蒸汽和等离子挡板的温度，避免化学原料蒸汽的冷凝。

Chemical raw material vaporization device for nano coating equipment

The utility model discloses a chemical raw material vaporization device for a nano coating equipment, belonging to the vacuum coating technology field. The device comprises a vaporizing device matrix, the matrix vaporization device is installed on the heating pipe, the temperature control thermocouple and chemical raw materials chemical raw materials into the pump catheter; catheter pump vaporization device and a basic pipeline vaporization chamber, a vaporizing chamber through the connecting pipe and the vaporizing chamber two vaporizing chamber connected, two vaporization chamber after vaporization the basic device of pipeline and heat pipe connected, heat pipe is connected with the end of a plasma screen. The device adopts multistage gasification, chemical raw materials by a vaporizing chamber after vaporization to two vaporization chamber, sufficient vaporization; plasma vaporization device installed on the outlet baffle, can prevent the plasma into the vaporizing device caused the reaction cavity and prevent polymer blockage of pipeline; heat pipe and the temperature control thermocouple can maintain the chemical raw materials and the temperature of steam plasma baffle to avoid condensation of steam, chemical raw materials.

【技术实现步骤摘要】
一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置
本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置。
技术介绍
纳米镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在纳米镀膜时，需要将反应腔室抽真空，然后向反应腔室内通入化学原料。化学原料以液体形式加入与反应腔室连通的汽化装置中，通过汽化装置把化学原料汽化，由于反应腔室持续抽真空，汽化的化学原料扩散进入反应腔室。现有纳米镀膜设备的汽化装置通常只有单个汽化腔室，该汽化腔室直接与反应腔室连通。实际使用过程中，单个汽化腔室的汽化效率较低，经常出现化学原料汽化不充分，汽化腔室内残留的液态化学原料或者未充分汽化的化学原料被吸入反应釜，而导致镀膜厚度不均匀甚至镀膜失效等问题。而且，由于汽化腔室直接与反应腔室连通，反应腔室内的等离子体引发汽化腔室内残留的化学原料反应，形成固态的聚合物，最后由于聚合物不断累积，造成汽化腔室和反应腔室连接管路的堵塞，从而影响到产品镀膜的质量。
技术实现思路
为了解决现有技术存在的上述问题，本技术提供一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，结构简单，操作方便。化学原料经化学原料泵入导管加入到汽化装置第一基体管路，在汽化装置第一基体管路和一级汽化腔室加热形成的化学原料蒸汽通过汽化腔室连接管路进入二级汽化腔室，化学原料蒸汽在二级汽化腔室进一步充分汽化，再进入汽化装置第二基体管路，最后经过导热管和等离子体挡板均匀扩散到反应腔室内。本技术所采用的技术方案如下：一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是：该装置包括汽化装置基体，汽化装置基体上方连接安装有化学原料泵入导管，所述化学原料泵入导管底部与第一基本管路连通；所述第一基本管路前端封闭，后端与一级汽化腔室连通；所述一级汽化腔室经汽化腔室连接管路与二级汽化腔室连通，所述一级汽化腔室与二级汽化腔室分别位于汽化装置基体两侧，所述二级汽化腔室经第二基本管路与导热管前端连通，所述导热管后端连接有等离子体挡板，所述导热管上安装有气体出口，所述第一基本管路与所述汽化腔室连接管路下方安装有电热管，所述汽化装置基体底部安装有温控热电偶。所述汽化装置基体材质为铝、铜或不锈钢。所述电热管功率为10W-1000W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.01L-0.5L，材质为铝、铜或不锈钢。所述二级汽化腔室容积为0.01L-0.5L，材质为铝、铜或不锈钢。所述导热管内径为3mm-50mm。所述等离子体挡板垂直于导热管设置。所述等离子体挡板为平面或曲面形状，其厚度为1mm-5mm，材质为铝、铜或不锈钢。所述等离子体挡板为圆盘形或至少四边的柱形，厚度为1mm-5mm，材质为铝、铜或不锈钢。所述等离子体挡板为圆盘形时，其直径为20mm-200mm。综上，本技术可提供一种结构简单、使用方便的纳米镀膜设备化学原料汽化装置，与现有技术相比具有以下优点：(1)采用多级汽化的方式，化学原料经过一级汽化腔室汽化后进入二级汽化腔室，逐级汽化更充分，保证进料的速度和数量可以精确控制。(2)汽化装置出口安装等离子体挡板，等离子体挡板右侧有等离子体存在，左侧基本没有等离子体存在，原料蒸汽从挡板左侧的导热管的气体出口扩散到挡板右侧后进行等离子体聚合反应；等离子体挡板可阻止等离子体进入汽化装置引发反应生成聚合物，引起腔体及管路堵塞。(3)汽化装置基体安装导热管和温控热电偶，维持化学原料蒸汽和等离子挡板的温度，避免化学原料蒸汽冷凝。附图说明图1为本技术装置的截面结构示意图，图2为图1中A-A剖面图。图中，1、汽化装置基体，2、电热管，3、化学原料泵入导管，4、一级汽化腔室，5、二级汽化腔室，6、导热管，7、等离子体挡板，8、汽化腔室连接管路，9、第一基本管路，10、第二基本管路，11、气体出口，12、温控热电偶。具体实施方式下面结合具体实施例及附图详细说明本技术，但本技术并不局限于具体实施例。实施例1：如图1所示，一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是：该装置包括汽化装置基体，汽化装置基体上方连接安装有化学原料泵入导管，所述化学原料泵入导管底部与第一基本管路连通；所述第一基本管路前端封闭，后端与一级汽化腔室连通；所述一级汽化腔室经汽化腔室连接管路与二级汽化腔室连通，所述一级汽化腔室与二级汽化腔室分别位于汽化装置基体两侧，所述二级汽化腔室经第二基本管路与导热管前端连通，所述导热管后端连接有等离子体挡板，所述导热管上安装有气体出口，所述第一基本管路与所述汽化腔室连接管路下方安装有电热管，所述汽化装置基体底部安装有温控热电偶。所述汽化装置基体材质为铝。所述电热管功率为10W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.01L，材质为铝。所述二级汽化腔室容积为0.01L，材质为铝。所述导热管内径为3mm。所述等离子体挡板垂直于导热管设置。所述等离子体挡板为圆盘形，厚度为1mm，其直径为20mm，材质为铝。因此，本装置采用多级汽化的方式，化学原料经过一级汽化腔室汽化后进入二级汽化腔室，逐级汽化更充分，保证了进料的速度和数量可以精确控制；同时，汽化装置出口安装等离子体挡板，可阻止等离子体进入汽化装置引发反应生成聚合物，防止腔体及管路堵塞；汽化装置基体安装导热管，可维持化学原料蒸汽和等离子挡板的温度，避免化学原料蒸汽冷凝。实施例2：本实施例中的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：所述汽化装置基体材质为铜。所述电热管功率为500W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.5L，材质为铜。所述二级汽化腔室容积为0.5L，材质为铝。所述导热管内径为50mm。所述等离子体挡板为圆盘形，厚度为5mm，其直径为200mm，材质为铜。实施例3：本实施例中的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：所述汽化装置基体材质为铝。所述电热管功率为10W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.01L，材质为铝。所述二级汽化腔室容积为0.01L，材质为铝。所述导热管内径为3mm。所述等离子体挡板垂直于导热管设置。所述等离子体挡板为曲面形状，其厚度为1mm，材质为铝。实施例4：本实施例中的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：所述汽化装置基体材质为铜。所述电热管功率为500W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.3L，材质为铜。所述二级汽化腔室容积为0.3L，材质为铜。所述导热管内径为20mm。所述等离子体挡板垂直于导热管设置。所述等离子体挡板为四边柱形，厚度为3mm，材质为铜。实施例5：本实施例中的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：所述汽化装置基体材质为不锈钢。所述电热管功率为1000W；所述温控热电偶的测温范围为0～250℃。所述一级汽化腔室容积为0.5L，材质为不锈钢。所述二级汽化腔室容积为0.5L，材质为不锈钢。所述导热管内径为50mm。所述等离子体挡板垂直于导热管设置。所述等离子体挡板为六边柱形，厚度为5mm，材质为不锈钢。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是：该装置包括汽化装置基体(1)，汽化装置基体上方连接安装有化学原料泵入导管(3)，所述化学原料泵入导管底部与第一基本管路(9)连通；所述第一基本管路前端封闭，后端与一级汽化腔室(4)连通；所述一级汽化腔室经汽化腔室连接管路(8)与二级汽化腔室(5)连通，所述一级汽化腔室(4)与二级汽化腔室(5)分别位于汽化装置基体(1)两侧，所述二级汽化腔室经第二基本管路(10)与导热管(6)前端连通，所述导热管后端连接有等离子体挡板(7)，所述导热管上安装有气体出口(11)，所述第一基本管路(9)与所述汽化腔室连接管路(8)下方安装有电热管(2)，所述汽化装置基体底部安装有温控热电偶(12)。

【技术特征摘要】
1.一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是：该装置包括汽化装置基体(1)，汽化装置基体上方连接安装有化学原料泵入导管(3)，所述化学原料泵入导管底部与第一基本管路(9)连通；所述第一基本管路前端封闭，后端与一级汽化腔室(4)连通；所述一级汽化腔室经汽化腔室连接管路(8)与二级汽化腔室(5)连通，所述一级汽化腔室(4)与二级汽化腔室(5)分别位于汽化装置基体(1)两侧，所述二级汽化腔室经第二基本管路(10)与导热管(6)前端连通，所述导热管后端连接有等离子体挡板(7)，所述导热管上安装有气体出口(11)，所述第一基本管路(9)与所述汽化腔室连接管路(8)下方安装有电热管(2)，所述汽化装置基体底部安装有温控热电偶(12)。2.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是，所述汽化装置基体材质为铝、铜或不锈钢。3.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是，所述电热管功率为10W-1000W。4.根据权利要求1所述的一种纳米镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，
申请(专利权)人：无锡荣坚五金工具有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32