一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器制造技术

属于光电子技术领域，公开了一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层、条形光波导、电介质填充层、电介质隔离层、石墨烯带状线和电极，所述条形光波导上方依次设置有第一电介质隔离层、第一石墨烯带状线、第二电介质隔离层，所述第二电介质隔离层上设置有第二石墨烯带状线和第三石墨烯带状线，所述第一石墨烯带状线两端分别连接第一电极和第二电极，所述第二石墨烯带状线一端连接第一接地电极和第二接地电极，所述第三石墨烯带状线一端连接第三接地电极和第四接地电极；采用此结构在增加光调制器带宽的同时，光调制器与微波探针兼容，采用共面波导行波电极结构，制备相对简单，增强器件的实用性。

An absorption light modulator based on graphene coplanar traveling wave electrode

Which belongs to the technical field of optoelectronics, discloses a graphene electrode coplanar traveling wave absorption optical modulator based on optical waveguides, including a substrate layer, a dielectric fill layer, dielectric isolation layer, graphene strip and electrode, the upper part of the strip optical waveguides are provided with a first dielectric isolation layer, the first graphene strip line, the second dielectric isolation layer, the second dielectric isolation layer is arranged on the second graphene graphene strip line and the third strip line, the two ends of the first graphene strip are respectively connected with the first electrode and the second electrode, one end of the second graphene strip line connected to the first grounding electrode and the grounding electrode second, the end of third graphene strip line connecting the third grounding electrode and fourth grounding electrode; the structure increase in light modulator bandwidth, and micro optical modulator The wave probe is compatible with a coplanar waveguide traveling wave electrode structure, and the practicability of the relatively simple and enhanced device is prepared.

【技术实现步骤摘要】
一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器
本专利技术涉及一种光调制器，特别是一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，属于光电子

技术介绍
随着大数据时代的到来，数据通信业务呈爆炸式增长，这就使得人们对带宽的需求越来越高，也就决定了光传输系统向超高速、大容量、集成化的方向发展。光调制器和光开关是光通信网络中的核心器件，对光通信网络的构建起到重要的作用。目前，基于各种机制的光调制器都已先后被研发并制备出来，目前商用化的调制器主要是基于铌酸锂材料和InP基的光调制器。最近几年，基于Si基的光调制器也被制备出来，虽然其与传统的CMOS工艺兼容，但受其材料本身的限制，再加上目前的光调制器大多采用集总电极结构，调制带宽受RC常数的限制，光调制器的带宽突破50GHz仍然是一个难题。石墨烯材料超宽光谱的吸收范围，超高的载流子迁移率，其光学特性可以被人为调控，并且其工艺与传统CMOS工艺兼容，被认为是未来Si材料的替代者，是制作光调制器的理想材料(见文献KinamKim,etal.Aroleforgrapheneinsilicon-basedsemiconductordevices.Nat本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层(1)、条形光波导(2)、电介质填充层、电介质隔离层(6)、石墨烯带状线和电极，其特征在于：所述石墨烯带状线包括第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述电介质隔离层(6)包括第一电介质隔离层(61)和第二电介质隔离层(62)，所述条形光波导(2)上方依次设置有第一电介质隔离层(61)、第一石墨烯带状线(4)、第二电介质隔离层(62)，所述第二电介质隔离层(62)上设置有第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述第一石墨烯带状线(4)两端分别连接第一电极(51)和第二电极(52)，所述第二石墨烯带状...

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层(1)、条形光波导(2)、电介质填充层、电介质隔离层(6)、石墨烯带状线和电极，其特征在于：所述石墨烯带状线包括第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述电介质隔离层(6)包括第一电介质隔离层(61)和第二电介质隔离层(62)，所述条形光波导(2)上方依次设置有第一电介质隔离层(61)、第一石墨烯带状线(4)、第二电介质隔离层(62)，所述第二电介质隔离层(62)上设置有第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述第一石墨烯带状线(4)两端分别连接第一电极(51)和第二电极(52)，所述第二石墨烯带状线(7)一端连接第一接地电极(91)和第二接地电极(92)，所述第三石墨烯带状线(8)一端连接第三接地电极(93)和第四接地电极(94)；所述第一接地电极(91)、第二接地电极(92)与第一电极(51)形成GSG(Ground-Signal-Ground)结构，所述第三接地电极(93)、第四接地电极(94)与第二电极(52)形成GSG结构。2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)与电极的连接部分为光滑的带状曲线。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆荣国，叶胜威，刘天良，夏瑞杰，陈德军，张尚剑，刘永，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51