一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，涉及光电子技术领域。本发明专利技术电光可调滤波器由下至上依次层叠有衬底、叉指式亚波长光栅，透明导电层和电极，其中：衬底表面裸露部分设置有与透明导电层齐平的电光材料层，两电极与外部电路相连以使得光栅脊之间形成电场，并且叉指状亚波长光栅材料的折射率远大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。本发明专利技术结构设计合理，既能够通过合理选取光栅参数获得高品质因子谐振和可调滤波光谱范围，又能够通过电压调制对滤波波长进行调谐，进而基于电场作用对电光材料的折射率进行调控，相比于机械式可调滤波器，大大提高了调谐的精度以及调谐速度。本发明专利技术结构简单、材料易得，有利于大规模的生产和应用。

【技术实现步骤摘要】
一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器
本专利技术属于光电子
，具体为一种能够通过外部电压来实现光通信波段可调滤波功能的滤波器。
技术介绍
在数字时代的今天，光通信技术正在以超乎想象的速度发展，波分复用(Wavelengthdivisionmultiplexer,WDM)使得光通信系统的容量大大增长。随着波分复用(WDM)技术的应用，光通信技术得到迅速的发展，未来光通信技术将向更加智能、高效的方向发展。而可调光滤波器作为波分复用技术中的关键器件，得到了越来越多的关注和研究。可调光滤波器是一种波长选择器件，它的功能是从一段含有不同波长的输入光信号中，根据需要选择出一个特定波长的光信号。因此，可调光滤波器可以被用于不同的光通道中动态地分配波长信号，或在接收端对波长进行选择滤波。目前研究较成熟的可调滤波器有光纤光栅可调滤波器，它是通过温度变化或者机械装置来实现波长调谐，属于一种手动式可调滤波器。然而，通过温度调谐的滤波器调谐速度较慢，而通过机械调谐的滤波器对机械的稳定性和精确度有很严格的要求，故而使得调谐滤波精度的提高受到限制。为了克服上述光纤光栅可调滤波器存在的不足之处，提出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，包括：衬底(1)、衬底(1)表面设置有叉指状亚波长光栅(2)，所述叉指状亚波长光栅(2)表面设置有透明导电层(5)，衬底(1)未覆盖叉指状亚波长光栅部分的表面设置有电光材料层(4)；所述透明导电层(5)表面设置有与叉指状亚波长光栅(2)的两个叉指分别电气相通的电极(3)；其中：所述两电极(3)与外部电路相连以使得叉指状亚波长光栅(2)中光栅脊之间形成电场，电光材料层(4)的厚度与叉指状亚波长光栅(2)和透明导电层(5)两者的厚度和相当，并且叉指状亚波长光栅材料的折射率大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。

【技术特征摘要】
1.一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，包括：衬底(1)、衬底(1)表面设置有叉指状亚波长光栅(2)，所述叉指状亚波长光栅(2)表面设置有透明导电层(5)，衬底(1)未覆盖叉指状亚波长光栅部分的表面设置有电光材料层(4)；所述透明导电层(5)表面设置有与叉指状亚波长光栅(2)的两个叉指分别电气相通的电极(3)；其中：所述两电极(3)与外部电路相连以使得叉指状亚波长光栅(2)中光栅脊之间形成电场，电光材料层(4)的厚度与叉指状亚波长光栅(2)和透明导电层(5)两者的厚度和相当，并且叉指状亚波...

【专利技术属性】
技术研发人员：李佳城，张雅丽，喻寅书，刘爽，刘永，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51