用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构制造技术

本发明专利技术涉及单晶硅制备设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本发明专利技术既能使实现副炉室单独升降保持松开状态，也能使副炉室与隔离阀同步升降时保持锁紧状态，保证了副炉室和隔离阀同步升降时候的安全性。

Locking mechanism for furnace chamber of monocrystal silicon growth

The invention relates to a preparation equipment for monocrystalline silicon, aiming at providing a locking mechanism for a furnace chamber of a monocrystalline silicon growth furnace. The locking mechanism for the furnace chamber of the monocrystalline silicon growth furnace comprises a locking block, a locking hook, a transmission sleeve, a pneumatic component and a control element, and is used for locking and releasing the auxiliary furnace chamber and the isolating valve. The invention can realize the independent lifting of the auxiliary furnace chamber and keep the loosening state, and can also keep the locking state when the auxiliary furnace chamber and the isolation valve are synchronously lifted and lowered, and ensure the safety of the auxiliary furnace chamber and the isolation valve in synchronous lifting and lowering.

【技术实现步骤摘要】
用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构
本专利技术是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。
技术介绍
单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。单晶炉在生产过程中，需要中途取晶和二次加料，因炉体还有硅料存在，需保持主炉室内的压力及温度等状态不变，单独打开副炉室。在安装热场坩埚及装料等操作时需同时打开隔离阀及副炉室。现有的技术方案为利用挂接板组件装置去执行副炉室单独升降及副炉室与隔离阀同步升降，且旋转机构可以适用于副炉室单独旋转及与隔离阀一起旋转(详见专利号201420471684.9)。但是此专利只能提供两者的连接，并且结构较简单轻便，单靠销轴与腰型槽的贴合面进行连接，在副炉室和隔离阀一起提升时无法提供安全保证，尤其当挂接板组件的销轴出问题时，容易发生隔离阀掉落的意外情况。现有技术一般采用副炉室和隔离阀的法兰上增加几处卡块，需要锁紧时通过人工进行安装卡套进行手动锁紧，此方案比较浪费时间，影响单晶炉的使用操作效率。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种既使实现副炉室单独升降保持松开状态，副炉室与隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开，其特征在于，所述用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件；所述气动件的内部从上而下设有两个内腔，即上内腔和下内腔，上内腔和下内腔之间通过活塞间隔，活塞能够通过气压在腔内滑动，且上内腔和下内腔密封隔离，上内腔、下内腔还分别设有气管用于连接气泵；在下内腔一侧的活塞与连接杆的一端固定，连接杆的另一端穿出气动件的底部并安装有下端滑块；气动件的顶部安装有上端滑块；所述气动件外部套有传递套，并通过传递套固定在挂接板法兰上，即气动件能随着挂接板转动而周向运动，进而控制副炉室和隔离阀的锁紧与松开；所述锁紧块安装...

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开，其特征在于，所述用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件；所述气动件的内部从上而下设有两个内腔，即上内腔和下内腔，上内腔和下内腔之间通过活塞间隔，活塞能够通过气压在腔内滑动，且上内腔和下内腔密封隔离，上内腔、下内腔还分别设有气管用于连接气泵；在下内腔一侧的活塞与连接杆的一端固定，连接杆的另一端穿出气动件的底部并安装有下端滑块；气动件的顶部安装有上端滑块；所述气动件外部套有传递套，并通过传递套固定在挂接板法兰上，即气动件能随着挂接板转动而周向运动，进而控制副炉室和隔离阀的锁紧与松开；所述锁紧块安装在副炉室上，锁紧块上有封闭的弧形槽口，气动件的上端滑块能安装在弧形槽口中并在弧形槽口中滑动；所述锁紧钩安装在隔离阀上，锁紧钩上有一个开口的滑槽，当挂接板处于副炉室和隔离阀分离状态时，气动件下端滑块未滑入锁紧钩的滑槽中，气动件中的活塞处于放松状态；当挂接板处于副炉室和隔离阀连接状态时，气动件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，孙明，倪军夫，沈兴潮，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33