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本发明涉及单晶硅制备设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本发明既能使实现副炉室单独升降保持松开状态，也能使副炉室与隔离...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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