光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机制造方法及图纸

本发明专利技术提供的光学元件六自由度定位调节装置，包括镜筒、三组用于进行双自由度调节的调节支链及用于承载光学元件的支撑镜框，所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连接,在每个调节支链的带动下，所述镜框可产生两个自由度的位移，所述镜框带动所述光学元件实现六自由度精密位移调节，通过控制六个驱动器的进给量，实现光学元件六个自由度的移动和转动位移量调节，具有实时位移调节能力，可以满足光刻物镜装调和维护时的六自由度位移精密调节需求，本发明专利技术还提供了具有上述光学元件六自由度定位调节装置的投影物镜和光刻机。

【技术实现步骤摘要】
光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机
本专利技术涉及光刻投影物镜
，具体涉及一种光学元件六自由度纳米定位调节装置、投影物镜和光刻机。
技术介绍
随着集成电路特征线宽的不断减小，极大规模集成电路制造所需的光刻物镜的精度要求越来越高。光刻物镜中用于补偿光学系统倍率、像散、畸变、场曲和球差等指标的光学元件多自由度调节机构的精度要求也越来越高。机构的调节量一般为微米级，而其定位精度往往需达到纳米级。传统的齿轮齿条、丝杠螺母、凸轮和蜗轮蜗杆等调节机构远不能满足多个自由度纳米定位的使用要求。为了达到近乎苛刻的成像效果，迫切需要高精度的光学元件多自由度纳米定位机构。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种光学元件六自由度纳米定位调节装置、投影物镜和光刻机，可实现光学元件六个自由度纳米级精度调节，特别适用于六个自由度定位精度要求极高的光学系统应用场合。第一方面，本专利技术实施例中提供一种光学元件六自由度定位调节装置，包括镜筒，三组用于进行双自由度调节的调节支链，用于承载光学元件的支撑镜框，所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，包括：镜筒；三组用于进行双自由度调节的调节支链；用于承载光学元件的支撑镜框；所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连接,在每个调节支链的带动下，所述镜框可产生两个自由度的位移，所述镜框带动所述光学元件实现六自由度精密位移调节。

【技术特征摘要】
1.一种光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，包括：镜筒；三组用于进行双自由度调节的调节支链；用于承载光学元件的支撑镜框；所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连接,在每个调节支链的带动下，所述镜框可产生两个自由度的位移，所述镜框带动所述光学元件实现六自由度精密位移调节。2.根据权利要求1所述的光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，所述镜筒为回转对称形结构，所述镜筒的上表面为安装基准面，通过三组安装螺钉孔连接三个调节支链，所述镜筒以其外圆柱面作为集成到投影物镜的同轴安装基准面。3.根据权利要求1或2所述的光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，所述调节支链包括：一个调节支链本体、两个驱动器、两个传感器被测面、两个驱动杆和两个传感器，建立所述调节支链的局部坐标系，将平行于投影物镜光轴的方向作为Z轴方向，将垂直于Z轴且平行于投影物镜径向的方向作为X轴方向，将垂直X轴和Z轴的方向作为Y轴方向，构成右手直角坐标系作为调节支链和调节支链本体的局部坐标系。4.根据权利要求3所述的光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，所述调节支链本体的固定端具有一组安装螺钉孔且所述螺钉的数量和尺寸与所述镜筒上表面的安装螺钉孔的数量和尺寸匹配，以将所述调节支链固定在所述镜筒的上表面上。5.根据权利要求3所述的光学元件六自由度定位调节装置，其特征在于，所述两个驱动器基于局部坐标系X轴对称地安装在所述驱动器的安装面处，所述驱动器的输出端连接一个驱动杆，所述驱动杆的另一端连接杠杆臂，所述驱动器推拉所述驱动杆运动实现沿Y轴和沿Z轴的平移运动，并带动所述支撑镜框和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张德福，李显凌，倪明阳，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22