多晶硅铸锭炉尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，石墨底板支撑坩埚，进气管通过石墨盖板连通至石墨护罩内部空间，石墨侧板与石墨盖板上设置有排气孔，排气孔排出的尾气经设置的集气罩集气后通过排气管排出至炉体外部，并导入至吸收器对尾气进行处理。该实用新型专利技术通过排气孔排出保护气与一氧化碳混合气，然后经集气罩集气后将混合气经排气管排出至吸收器进行吸收一氧化碳，净化后的保护气经干燥后进入回收罐以重复使用，有效避免了一氧化碳气体进入大气而导致危害发生，且净化后的保护气可以重复回收使用而降低了使用成本。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅铸锭炉尾气处理装置
本技术涉及多晶硅电池片生产
，特别涉及一种多晶硅铸锭炉的升级改造，尤其是一种多晶硅铸锭炉的尾气处理装置。
技术介绍
多晶硅电池片的生产工序包括：坩埚喷涂→填料→铸锭→切割成块→线割成片→清洗干燥→检测→包装，其中，铸造多晶硅锭是一道重要的工艺，多晶硅铸锭的质量将直接影响太阳能电池的转换效率和质量。铸造多晶硅锭，是将填料后的坩埚放置在铸锭炉内，经过炉腔抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却后，完成硅锭的铸造。现有技术中多晶硅铸锭炉内设有顶部加热器和侧面加热器，顶部加热器和侧面加热器设为一体，通过顶部铜电极与炉体固定，顶部加热器和侧面加热器提供热量。在多晶硅锭铸造的整个过程中，为保证硅铸锭生产过程中适当的压力及周围的气氛一致，并及时带走从硅原料中挥发出的杂质，需要持续从石英坩埚上方通过石墨盖板中央的开孔通入保护气体，并流经硅料表面。常用的保护气体为惰性气体氩气。然而，当保护气体与石墨护罩接触时会带入热场挥发物杂质(主要为一氧化碳)，这些挥发物杂质中的一部分在气流分布不当的情况下将继续随气流进入到硅料(包括硅原料、硅原料熔化后形成的硅熔液，以及硅熔液凝固后形成的硅锭)中，最终导致硅锭的碳元素含量或其它杂质含量偏高，影响硅锭作为太阳能级硅原料使用的效能。此外，如果将氩气保护气及其含有的一氧化碳气体排放进入大气，不仅存在一氧化碳爆炸或导致工人煤气中毒的危害，且昂贵的保护气直接排放造成生产成本增高。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，其通过在多晶硅铸锭炉上设置尾气收集及导出装置并引导至吸收器，从而避免了一氧化碳气体进入大气并可回收经一氧化碳吸收后的保护气回用，以降低生产成本。为达到上述目的，本技术的技术方案如下：一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；所述石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，所述石墨底板支撑所述坩埚，所述进气管通过所述石墨盖板连通至所述石墨护罩内部空间，所述石墨侧板与石墨盖板上设置有排气孔，所述排气孔排出的尾气经设置的集气罩集气后通过排气管排出至所述炉体外部，并导入至吸收器对尾气进行处理。其中，所述石墨侧板的排气孔设置在高于所述坩埚上边缘的位置处；所述石墨盖板的排气孔对应开设在所述集气罩的下方。其中，所述排气管伸入所述吸收器内的吸收液内，通常采用铜洗液[[Cu(NH3)2]Ac+CO+NH3＝＝[Cu(NH3)3CO]Ac]或亚铜盐(CuCl)的氨水溶液或盐酸溶液吸收一氧化碳，且所述吸收器具有搅拌器用于搅拌吸收液；经吸收后的尾气导入至尾气回收罐，以确保昂贵的保护气经干燥后可以重复使用。通过上述技术方案，本技术提供的多晶硅铸锭炉尾气处理装置，其通过排气孔排出保护气与一氧化碳混合气，然后经集气罩集气后将混合气经排气管排出至吸收器进行吸收一氧化碳，净化后的保护气经干燥后进入回收罐以重复使用，有效避免了一氧化碳气体进入大气而导致危害发生，且净化后的保护气可以重复回收使用而降低了使用成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术实施例所公开的多晶硅铸锭炉尾气处理装置的结构示意图。图中数字表示：11.炉体12.保温护罩13.石墨支柱14.散热平台15.石墨护罩16.顶部加热器17.侧部加热器18.外部加热铜电极19.进气管20.坩埚21.排气孔22.集气罩23.排气管24.吸收器具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。参考图1，本技术提供的多晶硅铸锭炉尾气处理装置，铸锭炉包括：炉体11，炉体11上设置有进气管19，炉体11内设置有保温护罩12，保温护罩12内设置有坩埚20、对应坩埚20的石墨护罩15、对应石墨护罩15的顶部加热器16及侧部加热器17以及位于石墨护罩15底部的散热平台14，顶部加热器16与侧部加热器17由安装在炉体11顶部的外部加热铜电极18控制以实现对石墨护罩15顶部及侧部的外部加热，保温护罩12及散热平台14通过设置在炉体11底部的石墨支柱13来支撑，散热平台14支撑石墨护罩15；石墨护罩15包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，石墨底板支撑坩埚20，进气管19通过石墨盖板连通至石墨护罩15内部空间，石墨侧板与石墨盖板上设置有排气孔21，排气孔21排出的尾气经设置的集气罩22集气后通过排气管23排出至炉体11外部，并导入至吸收器24对尾气进行处理。其中，石墨侧板的排气孔21设置在高于坩埚20上边缘的位置处；石墨盖板的排气孔21对应开设在集气罩22的下方。其中，排气管23伸入吸收器24内的吸收液内，通常采用铜洗液[[Cu(NH3)2]Ac+CO+NH3＝＝[Cu(NH3)3CO]Ac]或亚铜盐(CuCl)的氨水溶液或盐酸溶液吸收一氧化碳，且吸收器24具有搅拌器用于搅拌吸收液；经吸收后的尾气导入至尾气回收罐，以确保昂贵的保护气经干燥后可以重复使用。本技术提供的多晶硅铸锭炉尾气处理装置，其通过排气孔21排出保护气与一氧化碳混合气，然后经集气罩22集气后将混合气经排气管23排出至吸收器24进行吸收一氧化碳，净化后的保护气经干燥后进入回收罐以重复使用，有效避免了一氧化碳气体进入大气而导致危害发生，且净化后的保护气可以重复回收使用而降低了使用成本。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；所述石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，所述石墨底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述进气管通过所述石墨盖板连通至所述石墨护罩内部空间，所述石墨侧板与石墨盖板上设置有排气孔，所述排气孔排出的尾气经设置的集气罩集气后通过排气管排出至所述炉体外部，并导入至吸收器对尾气进行处理。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；所述石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，所述石墨底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述进...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋兴贤，
申请(专利权)人：常州兆晶光能有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32