用于安装抛光垫的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于安装抛光垫的装置，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。根据本发明专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。

Device for mounting polishing pad

The invention discloses a device for mounting, polishing pad comprises a chassis; at least two adjusting positioning device, the side wall of the positioning device is arranged on the chassis and is positioned on the same circumference surface, the adjusting positioning device comprises a slide assembly, the sliding component relative to the chassis the radial direction can be moved through the installation position of the slide area adjusting assembly relative to the chassis to define the polishing pad, the mounting surface of the polishing pad is arranged in concentric to the chassis. According to the installation of the polishing pad for the embodiment of the invention, at least two adjustable positioning device is arranged on the chassis of the side wall, by adjusting the relative position of the slide assembly chassis to define the installation area of the polishing pad, the mounting surface of the polishing pad is arranged in concentric chassis, improve the effect of wafer polishing process.

【技术实现步骤摘要】
用于安装抛光垫的装置
本专利技术属于半导体
，特别涉及一种用于安装抛光垫的装置。
技术介绍
在对晶圆进行抛光之前，首先需要将抛光垫安装于底盘上，通常是手动将抛光垫水平放置在底盘上，再将抛光垫上的塑料保护层撕掉。由于底盘直径尺寸较大，且抛光垫尺寸不一，因此，无法保证抛光垫与底盘同心设置，且在安装过程中抛光垫与底盘的接触面容易产生气泡，影响工艺效果。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本专利技术提出一种用于安装抛光垫的装置，该用于安装抛光垫的装置可以准备定位抛光垫，使得抛光垫与底盘同心设置，提高抛光垫的工艺处理效果。根据本专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。根据本专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。另外，根据本专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置，还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，所述调节定位装置进一步包括：定位组件，所述定位组件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板贴合设置于所述底盘的侧壁且与所述底盘同心设置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑台组件垂直设置于所述水平定位板；上面板，所述上面板设置于所述滑台组件顶面，所述上面板具有朝向所述底盘方向敞开的定位孔，所述定位孔用于安装定位杆。根据本专利技术的一个实施例，所述底盘的侧壁上设有至少两个安装孔，两个所述安装孔位于同一圆周面上且两个所述安装孔与圆心的连线成直角，所述弧形定位板通过紧固件与所述安装孔配合固定于所述底盘的侧壁。根据本专利技术的一个实施例，所述底盘的上部具有倾斜面，所述倾斜面沿所述安装面的周缘向外向下倾斜延伸。根据本专利技术的一个实施例，定位杆的下端不高于所述底盘的安装面，所述定位杆的上端高于所述底盘的安装面。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术一个实施例的用于安装抛光垫的装置的俯视图；图2是图1中沿A-A线的剖视图；图3是图2中B处的放大图。附图标记：用于安装抛光垫的装置100；底盘10；安装面11；倾斜面12；调节定位装置20；滑台组件21；定位组件22；弧形定位板221；水平定位板222；上面板23；定位杆24。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参照图1-3描述根据本专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置100。具体地，用于安装抛光垫的装置100可以包括：底盘10和至少两个调节定位装置20。如图1结合图2所示，底盘10具有用于安装抛光垫的安装面11。至少两个调节定位装置20安装于底盘10的侧壁上且位于同一圆周面。也就是说，底盘10的侧壁可以设置两个或两个以上的调节定位装置20。该调节定位装置20包括滑台组件21，滑台组件21相对底盘10径向方向可移动，通过调节滑台组件21相对底盘10的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘10的安装面11上。在抛光垫与底盘10尺寸不一致时，同时调节两个调节定位装置20相对底盘10的位置，使得滑台组件21沿着底盘10的径向方向由内侧向外侧方向移动，或者使得滑台组件21沿着底盘10的径向方向由外侧向内侧方向移动，其中，两个调节定位装置20调节量相同，从而限定出适于抛光垫尺寸的安装区域，保证抛光垫与底盘10同心设置。由此，根据本专利技术实施例的用于安装抛光垫的装置100，在底盘10的侧壁上设置至少两个调节定位装置20，通过调节滑台组件21相对底盘10的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘10的安装面11上，提高对晶圆抛光的工艺效果。在本专利技术的一些实施例中，如图3结合图2所示，调节定位装置20进一步包括：定位组件22和上面板23。其中，定位组件22包括弧形定位板221和水平定位板222，弧形定位板221贴合设置于底盘10的侧壁且与底盘10同心设置，水平定位板222相切于弧形定位板221的下部，滑台组件21垂直设置于水平定位板222。上面板23设置于滑台组件21顶面，上面板23具有朝向底盘10方向敞开的定位孔，定位孔用于安装定位杆24。这样，在安装抛光垫时，操作人员可以将抛光垫其中一侧周缘顺着两个定位杆24周面向下滑动，从而保证抛光垫准确落入滑台组件21限定的安装区域内，接着平铺整个抛光垫使得抛光垫与底盘10之间的气泡被完全排出，最后将抛光垫上的保护膜撕掉，从而完成抛光垫的安装。一些可选实施例中，底盘10的侧壁上设有至少两个安装孔，两个安装孔位于同一圆周面上且两个安装孔与圆心的连线成直角，弧形定位板221通过紧固件与安装孔配合固定于底盘10的侧壁。其中，紧固件可以为螺钉或螺栓。当然，可以理解的是，上述实施例仅是示意性的，并不是对本专利技术保护范围的限制，两个安装孔与圆心的连线也可以为其他角度，例如30°、60°或120°等，只要保证两个安装孔所在圆的圆心与底盘10的圆心重合即可。进一步可选示例中，如图3结合图2所示，底盘10的上部具有倾斜面12，倾斜面12沿安装面11的周缘向外向下倾斜延伸。这样，可以使得定位杆24具有更大移动范围，从而进一步有效调节抛光垫与底盘10的相对位置，保证抛光垫与底盘10同心设置。此外，需要更换抛光垫时，可以从倾斜面12处移除抛光垫。从而便于抛光垫的更换和安装。其中，抛光垫的直径为D，底盘10的直径为d，调节量为L，L＝|D-d|/2，在放置抛光垫之前，可以先计算调节量，使得滑台组件21沿底盘10的径向方向移动预先计算的调节量，从而保证抛光垫与底盘10可以同心设置。进一步可选实施例中，如图3结合图2所示，定位杆24的下端不高于底盘10的安装面11，定位杆24的上端高于底盘10的安装面11。也就是说，定位杆24的下端低于底盘10的安装面11，或者定位杆24的下端与底盘10的安装面11平齐。这样，可以使得抛光垫被准确定位于滑台组件21限定的安装区域内，保证抛光垫与底盘10同心设置。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本专利技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，本领域的普通技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于安装抛光垫的装置，其特征在于，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。

【技术特征摘要】
1.一种用于安装抛光垫的装置，其特征在于，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。2.根据权利要求1所述的用于安装抛光垫的装置，其特征在于，所述调节定位装置进一步包括：定位组件，所述定位组件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板贴合设置于所述底盘的侧壁且与所述底盘同心设置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑台组件垂直设置于所述水平定位板；...

【专利技术属性】
技术研发人员：马海港，张敬业，李海涛，肖月朝，路新春，沈攀，
申请(专利权)人：天津华海清科机电科技有限公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：天津,12