一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，包括基准探头和感应探头，其中，基座探头包括基准探头支撑套管、电涡流基准座、基准探头激光测距传感器、以及基准探头缓冲弹簧；感应探头包括感应探头支撑套管、电涡流传感器、感应探头激光测距传感器以及感应探头缓冲弹簧，两传感器分别检测到对应的基准探头缓冲弹簧和感应探头缓冲弹簧发生压缩形变导致的间距变化，实现厚度测量。本发明专利技术还公开了相应的测量系统及测量方法和应用。本发明专利技术通过多种传感器实现的自动化测量装置，能够在玻璃减薄和二次强化工艺进行中避免腐蚀性的溶液的影响，以及实时在线获取准确的测量信息。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用
本专利技术属于厚度测量
，具体涉及一种超薄玻璃厚度测量装置和方法，尤其适用于超薄玻璃二次强化和减薄工艺中自动实时测量玻璃厚度。
技术介绍
在手机、平板电脑、液晶电视等设备中使用的玻璃往往需要对原料玻璃进行减薄和二次强化的工艺，从而获得厚度更薄(厚度薄至例如0.11mm)、强度更高的玻璃，这种减薄后的玻璃才会被作为电子设备屏幕玻璃使用。在当前的玻璃减薄工艺中，通常是将大片玻璃浸泡在某种电解质溶液中，然后利用电解质溶液与玻璃产生化学反应来不断腐蚀掉玻璃的外层，进而实现原料玻璃的减薄和二次强化的功能。在该工艺进行过程中，必须实时监测玻璃的厚度，对加工过程进行控制，以避免加工后的成品玻璃过薄或者过厚。目前对于玻璃厚度的实时测量，通常有接触式测量和非接触式测量两类。对于接触式测量，由于玻璃被浸泡在腐蚀性溶液中，溶液的腐蚀性使得大多数的接触式测量方法往往会导致传感器表面受损，甚至带来测量误差。而且玻璃厚度非常薄，往往在0.12～0.33mm，即使采用千分尺等工具进行人工测量，也容易造成夹碎玻璃的现象方式，因此接触式的在线测量方式无法准确获得玻璃厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其包括分别设置在待测玻璃相对的两表面外侧并可相对对应表面移动的基准探头(1)和感应探头(2)，其中，所述基座探头(1)包括基准探头支撑套管(103)、设置在基准探头支撑套管(103)的靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流基准座(114)、设置在基准探头支撑套管(103)另一端端部管口上的基准探头激光测距传感器(115)、以及同轴容置在所述基准探头支撑套管(103)中且两端分别与所述基准探头激光测距传感器(115)和电涡流基准座(114)接触的基准探头缓冲弹簧(104)；所述感应探头(2)包括感应探头支撑套管(108)、设置在感应探头支撑套管(108...

【技术特征摘要】
1.一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其包括分别设置在待测玻璃相对的两表面外侧并可相对对应表面移动的基准探头(1)和感应探头(2)，其中，所述基座探头(1)包括基准探头支撑套管(103)、设置在基准探头支撑套管(103)的靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流基准座(114)、设置在基准探头支撑套管(103)另一端端部管口上的基准探头激光测距传感器(115)、以及同轴容置在所述基准探头支撑套管(103)中且两端分别与所述基准探头激光测距传感器(115)和电涡流基准座(114)接触的基准探头缓冲弹簧(104)；所述感应探头(2)包括感应探头支撑套管(108)、设置在感应探头支撑套管(108)靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流传感器(113)、设置在感应探头支撑套管(108)另一端端部管口上的感应探头激光测距传感器(112)、以及同轴容置在所述感应探头支撑套管(108)内且两端分别与所述电涡流传感器(113)和感应探头激光测距传感器(112)接触的感应探头缓冲弹簧(107)；在作用力驱动下所述基准探头和感应探头相向向待测玻璃表面移动中，所述基准探头激光测距传感器(115)和感应探头激光测距传感器(112)可检测到对应的基准探头缓冲弹簧(104)和感应探头缓冲弹簧(107)由于电涡流基准座(114)和电涡流传感器(113)因接触到待测玻璃表面而发生压缩形变导致间距发生变化，此时刻利用上述电涡流传感器(113)可获取其与对应的电涡流基准座(114)之间的间距，即可获得玻璃厚度的精确值。2.根据权利要求1所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述电涡流基准座(114)或电涡流传感器(113)可相对所述基准探头支撑套管(103)或感应探头支撑套管(108)端部管口在轴向上移动，从而可实现驱动基准探头缓冲弹簧(104)或感应探头缓冲弹簧(107)而产生形变。3.根据权利要求1或2所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述电涡流基准座(114)或电涡流传感器(113)为中心具有凸起的圆台，所述凸起对应套装在基准探头支撑套管(103)或感应探头支撑套管(108)管口内，圆台外沿与基准探头支撑套管(103)或感应探头支撑套管(108)端面之间设有间隙，以保证电涡流基准座(114)或电涡流传感器(113)在套管内能够轴向移动。4.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述基准探头支撑套管(103)的外周套接有基准探头波纹管(105)，基准探头波纹管(105)一端与电涡流基准座(114)连接，以匹配电涡流基准座(114)在相对基准探头支撑套管(103)端部的轴向移动，并保护基准探头(1)不受腐蚀溶液的影响。5.根据权利要求4所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，其中，基准探头支撑套管(103)外部还设置有基准探头电缆支撑套管(101)，用于容纳和支撑与基准探头激光测距传感器(115)连接的基准探头激光测距传感器电缆(102)。6.根据权利要求1-5中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，感应探头支撑套管(108)外周套接有感应探头波纹管(106)，感应探头波纹管(106)一端与电涡流传感器(113)连接，以匹配电涡流传感器(113)在相对感应探头支撑套管(108)端部的轴向移动，并保护感应探头(2)不受腐蚀溶液的影响。7.根据权利要求6所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，感应探头支撑套管(108)外部还设置有感应探头电缆支撑套管(110)，用于容纳和支撑与感应探头激光测距传感器(112)连接的电涡流传感器电缆(111)。8.根据权利要求1-7中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，分别在电涡流基准座(114)和电涡流传感器(113)各自与待测玻璃表面接触的端面上喷涂防腐涂层，玻璃厚度通过获得电涡流基准座(114)和电涡流传感器(113)之间距离以及涂层的厚度而得到。9.根据权利要求1-8中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，设定两探头的激光测距传感器与对应的电涡流基准座(114)或电涡...

【专利技术属性】
技术研发人员：李战胜，秦岭，周龙，胡淑均，
申请(专利权)人：武汉轻工大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42