用于针对汽相沉积法的层厚度测量的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的方法和测量系统，其具有：测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体方式耦合，其中所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于针对汽相沉积法的层厚度测量的装置和方法
本专利技术涉及一种用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的装置、尤其是测量系统，以及一种用于层厚度测量的相应方法。
技术介绍
对于借助于蒸发过程或借助于汽相沉积法来调节和控制衬底的覆层过程而言所需要的是，测量正在蒸发的并沉淀到所述衬底上的材料的量或体积流。借助于这类测量可以足够地监控或控制蒸发过程，因此整个覆层过程。针对一些材料和元素，例如针对硒，原理上已知的是，被蒸发的材料的一部分从汽体室、典型地从真空腔中脱耦并输入给振动板、典型地振动石英晶。沉积在振动板上的材料量造成振动板的谐振频率的改变，该改变可以电子地检测。就此而言，谐振频率的移动是针对积聚在振动板上的层的质量和厚度的量度。就此而言，利用这类振动板可以在覆层过程进行期间测量待测量的、被蒸发的材料的体积流。振动板布置得与真空腔间隔开。该振动板能够典型地通过一脱耦段以引导气体或引导汽体方式与真空腔耦合。在汽体束从真空腔脱耦时要保证使材料汽体对于稳定的测量信号而言足够的量脱耦。但是，越过脱耦段会出现脱耦的汽体束的冷凝温度下降。这点会在脱耦段的纵向延伸部上造成越过脱耦段传播本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的测量系统，所述测量系统具有：‑测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；‑脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于所述汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，其中，所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.14 DE 102014014970.61.用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的测量系统，所述测量系统具有：-测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；-脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于所述汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，其中，所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)。2.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)具有与它的第一端部(12a)邻接的加热区段(16)。3.根据权利要求1或2所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)具有与它的第二端部(12b)邻接的冷却区段(18)。4.根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)具有在所述真空腔(20)与所述测量头(30)之间延伸的至少一个引导气体或引导汽体的管(14)，所述至少一个引导气体或引导汽体的管在所述加热区段(16)的区域中由加热器(26)围住。5.根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)在所述冷却区段(18)的区域中具有冷阱(28)，所述冷阱具有至少一个能主动冷却的侧壁部区段(27)。6.根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，其中所述冷却区段(18)的能由气体或汽体穿流的内横截面(QK)大于所述加热区段(16)的能由气体或汽体穿流的内横截面(QH)。7.根据前述权...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·冈，M·皮施，M·沙弗尔，J·舒斯特，R·索根夫雷，G·乌尔温登，
申请(专利权)人：曼兹铜铟镓硒技术公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE