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本发明涉及一种用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的方法和测量系统，其具有：测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于汽相沉积法的真空腔(20)通过...
该专利属于曼兹铜铟镓硒技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过曼兹铜铟镓硒技术公司授权不得商用。

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