膜厚检测装置及方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
膜厚检测装置及方法
本专利技术涉及电学领域，具体而言，涉及一种膜厚检测装置及方法。
技术介绍
薄片状物品，如纸张、票据、塑料薄膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测、处理、回收等过程中处于越来越重要的地位。近年来，通过电极间的静电感应进行薄膜厚度的检测技术在不断研究探索之中，例如，公开号CN210302446Y的专利公开的了一种电容式纸厚传感器，其主要是将电容器的容量变化转化成振荡频率的变化，再通过频压转换模块将频率的变化转换成电压的变化，从而实现厚度的测量。再例如，公开号为CN103363887A的专利也公开了一种材料厚度的检测方法，利用平板电容的极板作为厚度检测的敏感器件，实测对象的厚度变化引起的电容活动极板产生位移，导致平板电容器的容量发生变化，从而实现厚度的测量。但这些静电检测方式，在温度、湿度等外界环境变化时，或者受到噪音干扰时，各检测电极检出信号易发生变化，影响检测精度，因此，在相关技术的膜厚检测方法受环境因素影响大的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种膜厚检测装置及方法，以至少解决相关技术的膜厚检测方法受环境因素影响大的技术问...
【技术保护点】
一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，其中，所述装置还包括：差分放大电路，包括两个输入端和一个输出端，其中一个输入端与参考素子输出端相连，另一个输入端与有效检测电极素子的输出端相连，输出端为膜厚检测装置的有效信号输出，其中，所述参考素子为所述N个检测电极芯片所包括的一个或多个素子，...
【技术特征摘要】
1.一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，其中，所述装置还包括：差分放大电路，包括两个输入端和一个输出端，其中一个输入端与参考素子输出端相连，另一个输入端与有效检测电极素子的输出端相连，输出端为膜厚检测装置的有效信号输出，其中，所述参考素子为所述N个检测电极芯片所包括的一个或多个素子，所述N个检测电极芯片所包括的素子中除所述参考素子外的其它素子为有效检测电极素子。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：平均采样回路，其中，所述平均采样回路在所述参考素子为多个的情况下，将多个素子的输出平均值作为参考素子的补正值。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述平均采样回路包括：元件可编程逻辑门阵列PFGA和存储器，或者，所述平均采样回路为积分电路。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述参考素子包括以下之一：所述产品主扫描方向上第1个检测电极芯片的第一个检测电极素子；所述产品主扫描方向上第1个检测电极芯片上的第1～a个检测电极素子；所述产品主扫描方向上第N个检测电极芯片的第M个检测电极素子；所述产品主扫描方向上第N个检测电极芯片上的第b～N个检测电极素子全部M个检测电极素子；其中，a,b均为自然数。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述M个检测电极素子按照预定的分辨率密度依次排列。6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一基板和第二基板，其中，所述公共电极设置在所述第一基板的第一表面上，所述第一基板的第一表面与所述第一方向垂直；所述第二基板与所述第一基板在所述第一方向上间隔设置，所述第二基板的...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜利，张凯，韩晓伟，丁青，
申请(专利权)人：威海华菱光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37
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