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本发明公开了一种膜厚检测装置及方法。其中，该装置包括：公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与...
该专利属于威海华菱光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威海华菱光电股份有限公司授权不得商用。

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