下载一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用的技术资料

文档序号:16099281

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本发明公开了一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置,包括基准探头和感应探头,其中,基座探头包括基准探头支撑套管、电涡流基准座、基准探头激光测距传感器、以及基准探头缓冲弹簧;感应探头包括感应探头支撑套管、电涡流传感器、感应探头激光测距传...
该专利属于武汉轻工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉轻工大学授权不得商用。

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