一种限制管状工件温度过高的新型结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种限制管状工件温度过高的新型结构，包括：管状工件(6)，工件托架(8)，齿轮(9)，轴承(10)和旋转大盘(11)组成的卡具结构。导热球(7)位于管状工件(6)内部，且填充至管状工件(8)顶部。管状工件(6)置于工件托架(8)上方，通过旋转大盘(11)，齿轮(9)，轴承(10)和工件托架(8)实现管状工件(6)的公自转运动。本实用新型专利技术提供的新型结构，采用导热球将管状工件的热量传递到工件托架上，与传统卡具相比，新型卡具结构可确保热传递，有效的限制了管状工件温度的升高。

A new structure that limits the temperature of tubular workpieces too high

Including the new structure, the utility model discloses a high temperature limit of tubular workpiece: tubular workpiece (6), (8), a work piece carrier gear (9), (10) and the rotary bearing (11) fixture structure. The heat conducting ball (7) is located inside the tubular workpiece (6) and is filled to the top of the tubular workpiece (8). The tubular workpiece (6) is placed above the workpiece bracket (8), and the male rotation motion of the tubular workpiece (6) is achieved by rotating the large plate (11), gear (9), bearing (10) and workpiece bracket (8). The new structure provided by the utility model, by adopting the ball tubular workpiece heat transfer to the workpiece carrier, compared with the traditional fixture, new structure can ensure the heat transfer, effectively limiting the increase of tubular workpiece temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种限制管状工件温度过高的新型结构
本技术涉及一种限制管状工件温度过高的新型结构，更具体地本技术为一种增加管状工件散热能力的新型结构。
技术介绍
在真空镀膜技术中经常需要在管状工件外表面沉积涂层。为了增加产能，一次镀膜的管状工件数量通常很多。目前通常采用公自传装卡方式来提高管状工件的装炉量。管状工件的种类繁多，有些管状工件因为基体材质或涂层材质等原因，要求在镀膜过程中工件温度不能过高。这就要求管状工件具有一定的散热能力。通常采用水冷的方式进行散热，但是对于采用公自传装炉方式，无法使用水冷方式进行散热。这时采用提高管状工件与卡具的有效接触面积是提高散热能力的主要方法。传统管状工件卡具的旋转大盘5上可以装卡多个管状工件，其中一组结构如图1所示，包括管状工件1，工件托架2，齿轮3，轴承4，旋转大盘5。该结构是希望通过管状工件1与工件托架2接触将工件上的热量传递出去，达到降温的目的。但是在实际使用过程中，由于管状工件1的温度远高于工件托架2，热膨胀导致管状工件1与工件托架2的间隙增大，大大降低导热能力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种限制管状工件温度过高的新型结构。与传统管状工件卡具结构相比，新型结构采用导热球填充在管状工件与工件托架之间，确保有效散热面积，能够有效的限制管状工件温度的上升。本技术的设计方案包括：管状工件，导热球，工件托架，齿轮，轴承，大盘等组成的限制管状工件温度过高的新型结构。所述的电化学氧化装置，其特征在于，使用导热球增加与管状工件的有效接触，可以增加管状工件的散热能力。所述的电化学氧化装置，其特征在于，导热球的材质可以根据使用温度范围选择，包括但不限于铝球、铜球、石墨球等，球的直径在0.1毫米至10毫米。本技术提供的一种限制管状工件温度过高的新型结构，能够通过导热球将管状工件的热量有效的传递出去，达到限制工件温度过高的目的。附图说明图1是传统管状工件卡具结构；图2是依据本技术的实施例1的限制管状工件温度过高的新型结构。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步描述：实施例1：在真空化学气相沉积金刚石技术中，采用钛管作为基底，在钛管表面沉积金刚石涂层。由于金刚石的沉积温度通常在700℃至1000℃，而纯钛α相与β相的相变温度是912℃。如果沉积温度高于相变温度，当沉积结束后冷却过程中，会出现因相变导致较大的体积变化，这严重影响金刚石与基体的结合力。为了有效控制钛管的温度，我们采用了新型装卡结构，如图2所示，新型结构包括钛管6，石墨球7，工件托架8，齿轮9，轴承10，旋转大盘11。本实施例中使用的石墨球7直径为1毫米。在金刚石沉积过程中，随着温度上升，钛管6内径尺寸增大，而石墨球7因自重和旋转过程中的振动，自然填充满钛管6内部，确保了钛管6上的热量向工件托架8的传递，有效限制了钛管6的温度不超过相变温度。本技术采用了石墨球用于钛管和工件托架间的热量传递，有效的克服了传统卡具结构因热膨胀导致钛管内径增大产生的有效接触面积下降的问题，确保了钛管的有效散热，避免钛管温度过高超过相变温度导致的金刚石膜层脱膜问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种限制管状工件温度过高的新型结构，包括：管状工件(6)，导热球(7)，工件托架(8)，齿轮(9)，轴承(10)和旋转大盘(11)组成的卡具结构。

【技术特征摘要】
1.一种限制管状工件温度过高的新型结构，包括：管状工件(6)，导热球(7)，工件托架(8)，齿轮(9)，轴承(10)和旋转大盘(11)组成的卡具结构。2.权利要求1所述的一种限制管状工件温度过高的新型结构，其特征在于，导热球(7)位于管状工件(6)内部，且填充至管状工...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐健，唐伟忠，张云龙，
申请(专利权)人：北京沅瀚环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11