The utility model discloses a single mirror and galvo scanning optical system based on adaptive 3D, including the first adaptive mirror and second mirror, the three adaptive adaptive lens, telephoto off-axis parabolic mirror and the reflecting mirror; the utility model has the advantages of novel structure design, using a single scanning galvo scheme, introduced the adaptive zoom enlarging mirror beam focusing module and the module, to ensure the lens installation fixed under the premise of not only can independently control the focusing spot size, and to ensure a focused beam focusing; in the same 3D a scan and optimization of mirror number, biaxial rotation around the axis of rotation of the incident laser reflectivity, improve the laser reflectivity change the beam deflection angle caused by the reflective metal; optical lens, can be directly cooled, with good thermal properties, a substantial increase in power under the lens The rate of.
【技术实现步骤摘要】
一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统
本技术涉及激光振镜扫描
,具体为一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统。
技术介绍
激光加工技术涵盖了激光切割、焊接、表面处理、打孔、微加工等多种激光加工工艺,利用了激光与物质相互作用的基本特性。由于激光束与加工材料的非接触性、加工速度与质量等优势,奠定了激光加工技术是一种无可替代的高新技术。当前激光切割占了整个激光加工行业的主要地位,而随着激光功率的提高,高功率激光焊接、熔覆、表面处理等加工工艺也将得到更广泛的扩展与提升,其中尤以高功率激光焊接能够更快普及,如在汽车、航空、船舶等多个行业的应用推广。在激光工业加工应用中,常规的激光技术方案不足以满足各类加工需求,各类复杂图形的处理应用多有限制,靠着庞大的机床设备运作也十分不便,且加工精度与速度也亟待提高,振镜扫描方案便应运而生。振镜扫描以高速著称,在mm量级乃至大范围的m量级内能够实现各类形状的快速扫描,且扫描精度与重复精度极高,主要用于激光打标、激光内雕、激光焊接、激光打孔行业等,随着激光功率的逐步提升,振镜扫描应用将得到更大程度的扩展,而作为振镜扫描的扫描镜片,虽镜片加工工艺更好,镀膜工业也越加成熟,因无法直接水冷仍将受到高功率特别是万瓦级以上功率激光应用的限制,再加上常规的双振镜扫描系统两片振镜都会因为镜片的光束偏转角而引起激光反射率的不小变化,另外传统的3D振镜扫描依靠位移调焦模组,增加了光路复杂度,同时聚焦光斑大小往往有异,一定程度上限制了激光加工幅面。在大功率激光加工问题上,能够直接水冷以及良好导热性的金属反射型镜片,在保证较小的通光孔径下,依 ...
【技术保护点】
一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:包括第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜与第二自适应镜有相同的光束偏转角且中心法线平行,组成连续变倍扩束模块;所述第三自适应镜置于长焦离轴抛物镜之前,光束依次经过第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜镜片中心与光束中心重合。
【技术特征摘要】
1.一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:包括第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜与第二自适应镜有相同的光束偏转角且中心法线平行,组成连续变倍扩束模块;所述第三自适应镜置于长焦离轴抛物镜之前,光束依次经过第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜镜片中心与光束中心重合。2.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜以及第三自适应镜均为椭圆柱状反射镜。3.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵华江,李思佳,李思泉,
申请(专利权)人:上海嘉强自动化技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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