光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光加工装置，其目的在于方便利用以光扫描装置来使得加工对象物的光扫描位置发生移动的光加工装置对较大的加工对象物实施加工处理。本实用新型专利技术的光加工装置具有光源(11)、设于光源(11)发射的光的行进方向且用于扫描该光源发射的光的光扫描装置(21)、以及设于受到所述光扫描部扫描的光的行进方向上且用于将受到光扫描部(21)扫描的光会聚到加工对象物(35)上的聚光部(22)，其特征在于，该聚光部(11)搭载于相对于加工对象物(35)移动的移动部(25)，而所述光源未搭载于该移动部(25)。

Finishing equipment

The utility model relates to a light processing device, its purpose is to facilitate the use of optical processing device with light scanning device to the optical scanning position of the processed objects move the implementation processing of large object object processing. Light processing device of the utility model has a light source (11), (11) are arranged on the light source direction of the emitted light and the optical scanning device for scanning the light emitted by the light source (21), and in the light of scanning by the scanning light traveling direction and will be used for optical scanning part (21 the optical scanning) converge to the machining object (35) of the condenser (22), which is characterized in that the condensing part (11) mounted on the relative to the machining object (35) of mobile mobile (25), and the light source is not equipped with in the moving part (25).

【技术实现步骤摘要】
光加工装置
本专利技术涉及光加工装置。
技术介绍
以往的光加工装置用光扫描装置扫描光源发射的激光(加工光)，将扫描激光会聚到加工对象物上实施加工。例如，专利文献1公开一种激光加工装置，该激光加工装置用Galvano反射镜(光扫描装置)进行二维扫描，照射加工对象物，对加工对象物上的ITO薄膜实施图案加工，或者对金属薄板形成的加工对象物本身进行切削加工。在该激光加工装置中，将卷成辊形状态保管在加工对象物供给部中的加工对象物从该加工供给部中取出，移动到激光加工装置的加工区域(加工对象物的激光扫描范围)，对该被加工对象物的被加工部分实施加工处理。加工处理之后，进一步取出加工对象物，使得下一个被加工部分移动到激光加工装置的加工区域，对该下一个被加工部分实施加工处理。根据专利文献1的描述，与以往的光加工装置相比，用光扫描装置使得加工对象物的光照射位置移动，能够高速移动，有利于提高生产效率。在此，以往的光加工装置是指，在照射到加工对象物的激光光轴固定的状态下，分别在垂直于该光轴(Z轴)的X轴方向和Y轴方向上移动载置台，使得加工对象物上的光照射位置发生移动，用以实施加工处理的装置。但是，利用光扫描装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光加工装置，其中具备：光源；光扫描部，设于所述光源发射的光的行进方向，用于扫描该光源发射的光；以及，聚光部，设于受到所述光扫描部扫描的光的行进方向上，用于将受到所述光扫描部扫描的光会聚到加工对象物上，其特征在于，所述聚光部搭载于相对于所述加工对象物移动的移动部，而所述光源未搭载于所述移动部。

【技术特征摘要】
2015.08.31 JP 2015-171211;2015.09.15 JP 2015-182071.一种光加工装置，其中具备：光源；光扫描部，设于所述光源发射的光的行进方向，用于扫描该光源发射的光；以及，聚光部，设于受到所述光扫描部扫描的光的行进方向上，用于将受到所述光扫描部扫描的光会聚到加工对象物上，其特征在于，所述聚光部搭载于相对于所述加工对象物移动的移动部，而所述光源未搭载于所述移动部。2.根据权利要求1所述的光加工装置，其特征在于，所述光扫描部也搭载于所述移动部。3.根据权利要求1或2所述的光加工装置，其特征在于，进一步具有输送部，该输送部用来输送所述加工对象物，使得该加工对象物相对于所述移动部相对移动。4.根据权利要求3所述的光加工装置，其特征在于，所述移动部在第一方向上移动，所述输送部使得所述加工对象物在与所述第一方向交叉的第二方向上相对移动。5.根据权利要求4所述的光加工装置，其特征在于，所述移动部仅在平行于第一轴的方向上移动，所述输送部使得所述加工对象物仅在平行于第二轴的方向上相对移动，该第二轴垂直于所述第一轴。6.根据权利要求4所述的光加工装置，其特征在于，进一步具有：光束平行化部，设于所述光源发射的光的行进方向上，用于对所述光源发射的光实施平行化处理，反射部，用于沿着所述移动部的移动方向，对经过光束平行化部的光束平行化处理后的所述光进行反射。7.根据权利要求1所述的光加工装置，其特征在于，所述移动部至少在两个以上停止位置上停止，在所述移动部处于停止状态下，所述光扫描部扫描所述光源发射的光。8.根据权利要求7所述的光加工装置，其特征在于，所述移动部来回移动，只有当在来回移动之中的一个方向上移动时，停止在所述停止位置上。9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村凉真，中岛智宏，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：新型
国别省市：日本,JP