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本实用新型涉及光加工装置，其目的在于方便利用以光扫描装置来使得加工对象物的光扫描位置发生移动的光加工装置对较大的加工对象物实施加工处理。本实用新型的光加工装置具有光源(11)、设于光源(11)发射的光的行进方向且用于扫描该光源发射的光的光扫...
该专利属于株式会社理光所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社理光授权不得商用。

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