【技术实现步骤摘要】
顶针系统
本专利技术涉及芯片脱膜
,特别是涉及一种顶针系统。
技术介绍
顶针系统是芯片后道封装中不可缺少的机构,用来使晶圆上的芯片与膜脱离。传统的顶针结构是单针和四针结构,顶针靠旋转锁紧或者顶丝顶紧。单针结构,适用小芯片,需要旋转锁紧或者顶丝顶紧固定顶针,更换顶针时需要先将顶针冒取下,再取下顶针座,将顶针放入顶针座中心的孔中,再将顶针固定,然后将顶针座与顶针帽重新安装;四针结构,适用10mm以下3mm以上的芯片,需要旋转锁紧或者分别顶丝顶紧固定四个顶针,更换顶针时需要先将顶针冒取下,再取下顶针座,将顶针放入顶针座对应的四个孔中,再依靠顶针治具,将四个顶针针尖调整到同一平面,然后将顶针固定,然后将顶针座与顶针冒重新安装。现有顶针结构,更换顶针步骤繁琐,顶针座因反复固定顶针,容易损坏,四针结构调整四针同一平面困难,因需要反复拆卸安装,顶针与顶针冒的孔位置每次都需要确认对齐调整。还会因磨损等原因,影响顶针冒的密封,导致真空漏气,同时现有顶针结构,只能固定四针,对于大于10mm的芯片很难使其脱模。因此,提供一种顶针系统,以解决现有技术所存在的上述缺点,成为现在亟待解 ...
【技术保护点】
一种顶针系统,其特征在于:包括顶针帽和导向座,所述顶针帽的上端面设置有第一顶针孔,所述顶针帽的底部与所述导向座连接;所述导向座上端还连接有顶针固定装置,所述顶针固定装置位于所述顶针帽内,所述顶针固定装置的上表面设置有第二顶针孔,用于固定顶针;所述第一顶针孔和所述第二顶针孔均采用阵列分布。
【技术特征摘要】
1.一种顶针系统,其特征在于:包括顶针帽和导向座,所述顶针帽的上端面设置有第一顶针孔,所述顶针帽的底部与所述导向座连接;所述导向座上端还连接有顶针固定装置,所述顶针固定装置位于所述顶针帽内,所述顶针固定装置的上表面设置有第二顶针孔,用于固定顶针;所述第一顶针孔和所述第二顶针孔均采用阵列分布。2.根据权利要求1所述的顶针系统,其特征在于:所述顶针固定装置包括顶针座和磁吸座,所述磁吸座位于所述顶针座的底部。3.根据权利要求2所述的顶针系统,其特征在于:所述第二顶针孔设置在所述顶针座上。4.根据权利要求1所述的顶针系统,其特征在于:所述顶针帽与所述导向座的连接处设...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁吉来,王云峰,黄健,杜邵明,
申请(专利权)人:大连佳峰自动化股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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