一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺制造技术

本发明专利技术涉及电池片刻蚀技术领域，具体为一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，包括以下步骤：步骤1：在待刻蚀硅片的上表面均匀附着去离子水，形成水膜；步骤2：调整刻蚀槽内滚轮的平整度，使刻蚀槽内所有滚轮保持绝对水平；步骤3：向刻蚀槽内加入优化刻蚀液；步骤4：将待刻蚀硅片放入刻蚀槽内进行刻蚀。本发明专利技术通过在硅片上表面形成有一层去离子水膜，可以很好的减轻对硅片的外观以及效率造成的负面影响；而且当刻蚀酸液无法扩散到硅片上表面后，减少了刻蚀液的浪费，能够很好的减少硝酸的用量,从而大大降低NOx的排放量，在保证电池片效率和刻蚀效果的前提下，可以实现保护环境以及减小NOx处理成本的效果。

Etching process of solar cell slice capable of reducing NOx emission

The present invention relates to the technical field of solar cell etching, in particular to a solar cell etching process can reduce the emission of NOx, which comprises the following steps: Step 1: in the etching of silicon on the surface evenly attached with deionized water, the water film is formed; step 2: flatness adjusting the etching groove roller, the etching groove of all the roller to maintain absolute level; step 3: to optimize the etching liquid into the etching groove; step 4: to be placed in the groove etching of silicon etching etching. The present invention through in silico surface to form a layer of water film can well reduce the appearance of silicon and the negative effects caused by the efficiency; and when the acid etching can not spread to silicon surface, reduce etching liquid waste, can be good to reduce the amount of nitrate, thereby greatly reducing emissions the amount of NOx, under the premise of ensuring the efficiency of solar cells and the etching effect, can protect the environment and reduce the processing cost of the NOx effect.

【技术实现步骤摘要】
一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺
本专利技术涉及电池片刻蚀
，具体涉及一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺。
技术介绍
电池片扩散工艺采取的是两片电池片背靠背单面扩散技术，扩散后的硅片上表面以及边缘均会扩散上磷原子，形成PN结，在光照作用下即可形成光伏效应。但其产生的电子会沿着边缘PN结传导至电池片下表面造成电池片短路。因此，太阳能电池片生产的另一个重要工序--刻蚀，其主要目的是去除电池片边缘PN结，避免电池片漏电失效。湿法刻蚀工艺的原理是，硅片通过滚轮支撑和传导，漂浮在刻蚀槽液上前进，电池片有PN结一面朝上，仅下表面及边缘沾附含有硝酸、氢氟酸的药液，边缘的PN会随着酸液腐蚀而被剥离去除，达到刻蚀的目的。现有技术中，刻蚀工艺存在以下两点较为明显的缺陷：1、由于扩散后的硅片表面亲水，边缘接触酸液的同时由于张力作用，酸液会被吸附扩散至硅片上表面，电池片上表面周边会形成一圈刻蚀线，对硅片的外观以及效率造成负面影响；2、为了达到良好的刻蚀效果，优化刻蚀线，传统的刻蚀配方会增大硝酸比例，一般体积比HF:HNO3＝1：5，而且刻蚀硝酸产物NOx污染环境，且产物NOx的处理成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在待刻蚀硅片的上表面均匀附着去离子水，形成水膜；步骤2：调整刻蚀槽内滚轮的平整度，使刻蚀槽内所有滚轮保持绝对水平；步骤3：向刻蚀槽内加入优化刻蚀液；步骤4：将待刻蚀硅片放入刻蚀槽内进行刻蚀。

【技术特征摘要】
1.一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在待刻蚀硅片的上表面均匀附着去离子水，形成水膜；步骤2：调整刻蚀槽内滚轮的平整度，使刻蚀槽内所有滚轮保持绝对水平；步骤3：向刻蚀槽内加入优化刻蚀液；步骤4：将待刻蚀硅片放入刻蚀槽内进行刻蚀。2.根据权利要求1所述的一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，其特征在于：步骤3中的优化刻蚀液由硝酸与氢氟酸按照体积比2.8：1～3.2：1进行配比制成。3.根据权利要求1所述的一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，其特征在于：步骤1中...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈霞，李龙庭，林旭，王杰，
申请(专利权)人：通威太阳能合肥有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34