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多晶硅片的制绒工艺制造技术

技术编号:16030802 阅读:56 留言:0更新日期:2017-08-19 12:10
本发明专利技术涉及多晶硅片生产工艺技术领域,特别是一种多晶硅片的制绒工艺,包括以下步骤,(1)切片,将原料硅片切成片状;(2)酸制绒,在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒;(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒;(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗;(5)清洗并烘干;(6)分光光度计测量。采用上述工艺后,本发明专利技术在多晶硅片的制绒过程中加入了醋酸,可以在更广泛的范围内稀释溶液而保持硝酸的氧化能力,可使腐蚀液的氧化能力在反应过程中保持相对稳定;同时,减小了氢离子浓度使得阴极反应变慢,可使整个腐蚀反应速率随之变慢,更有利于形成腐蚀坑。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅片的制绒工艺
本专利技术涉及多晶硅片生产工艺
,特别是一种多晶硅片的制绒工艺。
技术介绍
近年来,多晶硅太阳能电池以其转换效率较高、性能稳定和成本适中的特点而得到越来越广泛的应用,其产量已超越单晶硅,占据了市场的主导地位。为了提高太阳能电池的电池转换效率,在制作时,需要先对硅片进行化学处理,使得硅表面做成一个具有一定形状的绒面,但是,依照现有技术,在对多晶硅太阳能电池片进行制绒后,所得硅片反射率偏高,且绒面的均匀性较差,多晶硅太阳能电池片的电池转换效率低。中国专利技术专利CN104009125A公开了一种多晶硅片的制绒工艺,包括以下步骤:(1)在硅片表面喷涂一层碳化硅颗粒;(2)在含有硝酸和氢氟酸的混合液中进行酸制绒;(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒;(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗;(5)清洗并烘干。
技术实现思路
本专利技术需要解决的技术问题是提供一种反射率低、电池转换效率高的多晶硅片的制绒工艺。为了解决上述技术问题,本专利技术的多晶硅片的制绒工艺,包括以下步骤,(1)切片,将原料硅片切成片状;(2)酸制绒,在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅片的制绒工艺,其特征在于,包括以下步骤,(1)切片,将原料硅片切成片状;(2)酸制绒,在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒;(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒;(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗;(5)清洗并烘干;(6)分光光度计测量。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片的制绒工艺,其特征在于,包括以下步骤,(1)切片,将原料硅片切成片状;(2)酸制绒,在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒;(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒;(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗;(5)清洗并烘干;(6)分光光度计测量。2.按照权利要求1所述的多晶硅片的制绒工艺,其特征在于:所述步骤(2)混合液中硝酸的质量分数为18-26%,氢氟酸的质量分...

【专利技术属性】
技术研发人员:张兆民
申请(专利权)人:张兆民
类型:发明
国别省市:江苏,32

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