多晶硅片的制绒工艺制造技术

本发明专利技术涉及多晶硅片生产工艺技术领域，特别是一种多晶硅片的制绒工艺，包括以下步骤，(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干；(6)分光光度计测量。采用上述工艺后，本发明专利技术在多晶硅片的制绒过程中加入了醋酸，可以在更广泛的范围内稀释溶液而保持硝酸的氧化能力，可使腐蚀液的氧化能力在反应过程中保持相对稳定；同时，减小了氢离子浓度使得阴极反应变慢，可使整个腐蚀反应速率随之变慢，更有利于形成腐蚀坑。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅片的制绒工艺
本专利技术涉及多晶硅片生产工艺
，特别是一种多晶硅片的制绒工艺。
技术介绍
近年来，多晶硅太阳能电池以其转换效率较高、性能稳定和成本适中的特点而得到越来越广泛的应用，其产量已超越单晶硅，占据了市场的主导地位。为了提高太阳能电池的电池转换效率，在制作时，需要先对硅片进行化学处理，使得硅表面做成一个具有一定形状的绒面，但是，依照现有技术，在对多晶硅太阳能电池片进行制绒后，所得硅片反射率偏高，且绒面的均匀性较差，多晶硅太阳能电池片的电池转换效率低。中国专利技术专利CN104009125A公开了一种多晶硅片的制绒工艺，包括以下步骤：(1)在硅片表面喷涂一层碳化硅颗粒；(2)在含有硝酸和氢氟酸的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干。
技术实现思路
本专利技术需要解决的技术问题是提供一种反射率低、电池转换效率高的多晶硅片的制绒工艺。为了解决上述技术问题，本专利技术的多晶硅片的制绒工艺，包括以下步骤，(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干；(6)分光光度计测量。进一步的，所述步骤(2)混合液中硝酸的质量分数为18-26％，氢氟酸的质量分数为12-16％，醋酸质量分数为8-13％，余量为去离子水，硅片在18-23℃下制绒3-8min。进一步的，所述步骤(3)中氢氧化钾的质量分数为10-14％，硅片在30-39℃下制绒3-5min。进一步的，所述步骤(4)混合液中盐酸的质量分数为13％，氢氟酸的质量分数为7％，硅片在25℃下酸洗2min。采用上述工艺后，本专利技术在多晶硅片的制绒过程中加入了醋酸，可以在更广泛的范围内稀释溶液而保持硝酸的氧化能力，可使腐蚀液的氧化能力在反应过程中保持相对稳定；同时，减小了氢离子浓度使得阴极反应变慢，可使整个腐蚀反应速率随之变慢，更有利于形成腐蚀坑。具体实施方式本专利技术多晶硅片的制绒工艺，包括以下步骤：(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干；(6)分光光度计测量。进一步的，所述步骤(2)混合液中硝酸的质量分数为18-26％，氢氟酸的质量分数为12-16％，醋酸质量分数为8-13％，余量为去离子水，硅片在18-23℃下制绒3-8min。进一步的，所述步骤(3)中氢氧化钾的质量分数为10％-14％，硅片在30-39℃下制绒3-5min。进一步的，所述步骤(4)混合液中盐酸的质量分数为13％，氢氟酸的质量分数为7％，硅片在25℃下酸洗2min。实施方式一：(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒。其中，混合液中硝酸的质量分数为18％，氢氟酸的质量分数为12％，醋酸质量分数为8％，余量为去离子水，硅片在18℃下制绒5min。(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒，其中，氢氧化钾的质量分数为10％，硅片在35℃下制绒3min。(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；其中，混合液中盐酸的质量分数为13％，氢氟酸的质量分数为7％，硅片在25℃下酸洗2min。(5)清洗并烘干；在30℃下烘干3min。(6)分光光度计测量。实施方式二：(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒。其中，混合液中硝酸的质量分数为26％，氢氟酸的质量分数为16％，醋酸质量分数为13％，余量为去离子水，硅片在23℃下制绒5min。(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒，其中，氢氧化钾的质量分数为14％，硅片在30℃下制绒5min。(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；其中，混合液中盐酸的质量分数为13％，氢氟酸的质量分数为7％，硅片在25℃下酸洗2min。(5)清洗并烘干；在30℃下烘干3min。(6)分光光度计测量。实施方式三：(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒。其中，混合液中硝酸的质量分数为21％，氢氟酸的质量分数为14％，醋酸质量分数为10％，余量为去离子水，硅片在20℃下制绒8min。(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒，其中，氢氧化钾的质量分数为13％，硅片在39℃下制绒4min。(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；其中，混合液中盐酸的质量分数为13％，氢氟酸的质量分数为7％，硅片在25℃下酸洗2min。(5)清洗并烘干；在30℃下烘干3min。(6)分光光度计测量。虽然以上描述了本专利技术的具体实施方式，但是本领域熟练技术人员应当理解，这些仅是举例说明，可以对本实施方式作出多种变更或修改，而不背离专利技术的原理和实质，本专利技术的保护范围仅由所附权利要求书限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅片的制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤，(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干；(6)分光光度计测量。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片的制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤，(1)切片，将原料硅片切成片状；(2)酸制绒，在含有硝酸、氢氟酸、醋酸和去离子水的混合液中进行酸制绒；(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒；(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗；(5)清洗并烘干；(6)分光光度计测量。2.按照权利要求1所述的多晶硅片的制绒工艺，其特征在于：所述步骤(2)混合液中硝酸的质量分数为18-26％，氢氟酸的质量分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兆民，
申请(专利权)人：张兆民，
类型：发明
国别省市：江苏,32