多晶硅电池制绒工艺制造技术

技术编号:11857029 阅读:134 留言:0更新日期:2015-08-11 04:03
本发明专利技术公开了一种多晶硅电池制绒工艺,其具体步骤如下:(1).对多晶硅电池进行NaOH碱预处理;(2).将经过碱预处理的多晶硅电池进行水洗;(3).将经过步骤(2)水洗的多晶硅电池放入硝酸和氢氟酸的混合酸腐蚀液中进行制绒工艺;(4).将经过步骤(3)酸腐蚀工艺的多晶硅再次进行水洗;(5).对多晶硅电池进行低浓度碱洗,再进行水洗;(6).对经过步骤(5)的多晶硅电池进行盐酸、氢氟酸进行二次酸腐蚀工艺,并进行水洗;(7).将多晶硅进行吹干,完成整个工艺;以达到提高硅的表面制绒质量、延长酸腐蚀槽的使用寿命和利于生产的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅电池生产领域,具体涉及一种多晶硅电池制绒工艺
技术介绍
在电池生产工艺中往往涉及到多晶制绒工艺,即将多晶硅电池在一定比例的硝 酸、氢氟酸、水的混合液腐蚀硅表面形成的绒面。在现有技术中,企业一般都是只采用酸性 溶液中进行制绒工艺,但是酸腐蚀无法完成去除硅片表面的损伤层和油污,影响了硅表面 的均匀性;同时滞留的油污不仅对酸腐蚀槽造成影响,同时会影响后续工艺中化学反应的 平衡,不利于生产的连续性和稳定性。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术提出了多晶硅电池制绒工艺,以达到提高硅的表面 制绒质量、延长酸腐蚀槽的使用寿命和利于生产的目的。 为达到上述目的,本专利技术的技术方案如下: 一种多晶娃电池制域工艺,其具体步骤如下: (1).对多晶硅电池进行NaOH碱预处理; (2).将经过碱预处理的多晶硅电池进行水洗; (3).将经过步骤(2)水洗的多晶硅电池放入硝酸和氢氟酸的混合酸腐蚀液中进 行制绒工艺; (4).将经过步骤(3)酸腐蚀工艺的多晶硅再次进行水洗; (5).对多晶硅电池进行低浓度碱洗,再进行水洗; (6).对经过步骤(5)的多晶硅电池进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅电池制绒工艺,其特征在于,其具体步骤如下:(1).对多晶硅电池进行NaOH碱预处理;(2).将经过碱预处理的多晶硅电池进行水洗;(3).将经过步骤(2)水洗的多晶硅电池放入硝酸和氢氟酸的混合酸腐蚀液中进行制绒工艺;(4).将经过步骤(3)酸腐蚀工艺的多晶硅再次进行水洗;(5).对多晶硅电池进行低浓度碱洗,再进行水洗;(6).对经过步骤(5)的多晶硅电池进行盐酸、氢氟酸进行二次酸腐蚀工艺,并进行水洗;(7).将多晶硅进行吹干,完成整个工艺。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭建东樊选东钱明星关统州
申请(专利权)人:中建材浚鑫科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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