电光学装置及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电光学装置及电子设备，该电光学装置具备：元件基板，其包括以矩阵状排列有多个发光元件的显示区域、和在上述显示区域的外侧配置有安装端子的端子区域；保护基板，其与上述元件基板的上述多个发光元件侧对置；以及接合基板，其与上述元件基板的端子区域接合，并具有连接端子。在上述元件基板，在上述端子区域也形成有密封上述多个发光元件的密封膜。上述安装端子与上述连接端子连接。在上述电光学装置存在除去上述密封膜并且与上述接合基板接合的部分。

Electrooptical device and electronic equipment

The present invention relates to an optical device and electronic device, the electric device includes optical element substrate, including matrix arranged with a plurality of light emitting elements, and the display area on the display area of a terminal area is arranged outside the installation terminal; the protection of the substrate, a plurality of light emitting elements and the element substrate side the opposite and bonding substrate; and the element substrate terminal region joint, and has connection terminals. A sealing film for sealing the plurality of light emitting elements is also formed in the terminal area above the component substrate. The mounting terminal is connected with the connecting terminal. In the electro-optical device, a portion of the sealing film is removed and joined with the bonding substrate.

【技术实现步骤摘要】
电光学装置及电子设备
本专利技术涉及电光学装置及电子设备。
技术介绍
作为电光学装置的一个例子，提出在元件基板的显示区域以矩阵状配置有使用了有机电致发光(EL：ElectroLuminescence)元件的像素的有机EL装置(例如，参照专利文献1)。具体而言，专利文献1公开了具有依次层叠有反射层、第一电极(像素电极)、发光层以及第二电极(对置电极)的有机EL元件的顶部发光结构的有机EL装置。然而，在专利文献1所记载的有机EL装置中，在显示区域的外侧的周边区域排列有包括用于安装数据线驱动电路、扫描线驱动电路等的安装端子、外部连接用端子等的多个端子。这些端子具有层叠有将利用与上述的反射层相同的工序成膜的铝(Al)等反射导电材料、和将利用与第一电极相同的工序成膜的氧化铟锡(ITO：IndiumTinOxide)等透明导电材料的结构。专利文献1：日本特开2014－089803号公报在专利文献1中，在通过密封膜密封发光元件，并在该密封膜的上表面形成彩色滤光片的所谓的顶部发光方式的OCCF(On-chipCollorFilter：片上彩色滤光片)结构中，使用彩色滤光片或者绝缘层作为掩膜，进行安装端子上的密封膜的蚀刻。该情况下，若对跨过多个安装端子的区域过度地蚀刻，则有安装端子的侧面等被蚀刻而使位于安装端子的下层的反射电极(Al膜)露出的可能性。另一方面，在对每个安装端子进行密封膜的蚀刻的情况下，有在密封膜与下层的绝缘膜的界面，在安装外部连接基板后产生剥离的情况。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述现有技术的问题点而完成的，目的之一在于提供能够防止在密封膜与下层的绝缘膜的界面产生分离，提高外部连接基板的接合强度的电光学装置及电子设备。本专利技术中的电光学装置的一方式具备：元件基板，其包括以矩阵状排列有多个发光元件的显示区域、和在上述显示区域的外侧配置有多个安装端子的端子区域；保护基板，其与上述元件基板的上述多个发光元件侧对置；以及外部连接基板，其与上述元件基板的端子区域接合，在上述元件基板，在上述端子区域也形成有密封上述多个发光元件的密封膜，各安装端子的至少一部分从上述密封膜露出，在上述端子区域中与上述外部连接基板对置的区域，在上述安装端子之上的以外存在没有上述密封膜的部分。据此，在端子区域中的没有密封膜的部分，能够提高外部连接基板的安装强度。由此，能够长期地维持外部连接基板对元件基板的接合。另外，在本专利技术中的电光学装置的一方式中，也可以构成为在上述多个安装端子之间存在没有上述密封膜的部分。据此，通过消除有助于外部连接基板的接合的部分(安装端子之间)的密封膜，能够提高外部连接基板的接合强度。另外，在本专利技术中的电光学装置的一方式中，也可以构成为在上述安装端子的上述显示区域侧存在没有上述密封膜的部分。据此，即使没有密封膜的部分在安装端子的显示区域侧，也能够提高外部连接基板的接合强度。另外，在本专利技术中的电光学装置的一方式中，也可以构成为在没有上述密封膜的部分，与该密封膜相比设置在下层侧的层间绝缘膜的至少一部分露出。据此，通过使层间绝缘膜的一部分露出，能够增加接合外部连接基板时的针对粘合剂的元件基板侧的表面积。本专利技术的电子设备的一方式具备上述的电光学装置。据此，通过具备元件基板与外部连接基板的接合强度较高的电光学装置，能够长期地维持电子设备的质量。本专利技术的电光学装置的制造方法的一方式具有：在元件基板的显示区域形成多个发光元件的工序；在上述元件基板的上述显示区域的外侧的端子区域形成多个安装端子的工序；以覆盖上述多个发光元件以及上述多个安装端子的方式形成密封膜的工序；除去上述安装端子之上的上述密封膜的工序；以及除去上述安装端子上的上述密封膜的工序，在除去上述密封膜的工序中，除去存在于上述端子区域的上述密封膜中上述安装端子之上的以外的部分的上述密封膜。另外，在本专利技术的电光学装置的制造方法的一方式中，具有在上述元件基板连接外部连接基板的工序，在除去上述密封膜的工序中，以在上述端子区域中与上述外部连接基板对置的区域形成不存在上述密封膜的部分的方式除去规定部分的上述密封膜。另外，在本专利技术的电光学装置的制造方法的一方式中，以在上述端子区域的与上述外部连接基板对置的区域中上述安装端子的上述显示区域侧形成不存在上述密封膜的部分的方式除去规定部分的上述密封膜。另外，在本专利技术的电光学装置的制造方法的一方式中，在除去上述密封膜的工序中，使与上述密封膜相比设置在下层侧的层间绝缘膜的至少一部分露出。另外，在本专利技术的电光学装置的制造方法的一方式中，具有在上述显示区域形成彩色滤光片的工序，使用与上述彩色滤光片相同的材料或者与划分上述彩色滤光片的绝缘层相同的材料，在上述端子区域形成抗蚀图案，并将该抗蚀图案作为掩膜而除去上述密封膜。附图说明图1是示意地表示有机EL装置100的构成的俯视图。图2是表示元件基板10的构成的电路图。图3是表示像素电路110的构成的电路图。图4是沿图1所示的有机EL装置的E－E线的剖视图。图5是沿图1所示的有机EL装置的F－F线的剖视图。图6是沿图1所示的有机EL装置的E－E线的元件基板的剖视图。图7是沿图1所示的有机EL装置的F－F线的元件基板的剖视图。图8是表示有机EL装置100的制造方法的流程图。图9是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图10是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图11是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图12是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图13是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图14是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图15是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图16是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图17是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图18是表示有机EL装置100的制造方法的工序图。图19是表示作为电子设备的头戴式显示器(HMD)的示意图。具体实施方式有机EL装置首先，作为本专利技术的一实施方式对图1所示的有机EL装置(电光学装置)100进行说明。有机EL装置100是作为本专利技术中的“电光学装置”的一个例子示出的自发光型的显示装置。此外，图1是示意地表示有机EL装置100的构成的俯视图。如图1所示，有机EL装置100具有元件基板10和密封用基板(保护基板)70。元件基板10与密封用基板70以相互对置的状态，通过省略图示的粘合剂接合。此外，粘合剂可以使用例如环氧树脂、丙烯酸树脂等。元件基板10具有配置有产生蓝色(B)光的有机EL元件(发光元件)30B的子像素20B、配置有产生绿色(G)的光的有机EL元件30G的子像素20G、以及配置有产生红色(R)的光的有机EL元件30R的子像素20R以矩阵状排列的显示区域E1，作为发光元件。在有机EL装置100中，子像素20B、子像素20G以及子像素20R成为显示单位而提供全彩色的显示。此外，在以下的说明中，有将子像素20B、子像素20G以及子像素20R合起来作为像素20的情况，有将有机EL元件30B、有机EL元件30G以及有机EL元件30R合起来作为有机EL元件30的情况。在显示区域E1设置有彩色滤光片50。彩色滤光片50中，在子像素20B的有机EL元件30B之上配置有蓝色的着色层50B，在子像素本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光学装置，其特征在于，所述电光学装置具备：元件基板，其包括以矩阵状排列有多个发光元件的显示区域、和在所述显示区域的外侧配置有多个安装端子的端子区域；保护基板，其与所述元件基板的所述多个发光元件侧对置；以及外部连接基板，其与所述元件基板的端子区域接合，在所述元件基板，在所述端子区域也形成有密封所述多个发光元件的密封膜，各安装端子的至少一部分从所述密封膜露出，在所述端子区域中与所述外部连接基板对置的区域，在所述安装端子之上的以外存在没有所述密封膜的部分。

【技术特征摘要】
2016.02.15 JP 2016-0260111.一种电光学装置，其特征在于，所述电光学装置具备：元件基板，其包括以矩阵状排列有多个发光元件的显示区域、和在所述显示区域的外侧配置有多个安装端子的端子区域；保护基板，其与所述元件基板的所述多个发光元件侧对置；以及外部连接基板，其与所述元件基板的端子区域接合，在所述元件基板，在所述端子区域也形成有密封所述多个发光元件的密封膜，各安装端子的至少一部分从所述密封膜露出，在所述端子区域中与所述外部连接基板对置的区域，在所述安装端子之上的以外存在没有所述密封膜的部分。2.根据权利要求1所述的电光学装置，其特征在于，在所述多个安装端子之间存在没有所述密封膜的部分。3.根据权利要求1或者2所述的电光学装置，其特征在于，在所述安装端子的所述显示区域侧存在没有所述密封膜的部分。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的电光学装置，其特征在于，在没有所述密封膜的部分，与该密封膜相比设置在下层侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：腰原健，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP