制造传感器装置制造方法及图纸

一种制造传感器装置。根据示例，第一反射镜层可以形成在基底上。第一组间隔层可以沉积在第一反射镜层上以定位在第一组感测元件上方，并且第二组间隔层可以沉积在第一反射镜层上以定位在第二组感测元件上方，其中第二组间隔层与第一组间隔层不同。此外，第二反射镜层可以形成在所沉积的第一组间隔层和所沉积的第二组间隔层上方。

Fabrication of sensor devices

Manufacturing sensor device. According to the example, the first mirror layer can be formed on the substrate. The first spacer layer can be deposited on the first mirror layer to locate in the first set of sensing elements above, and the second group of interlayer can be deposited on the first mirror layer to locate in the second groups above the sensing element, the second groups and the first group of different spacer layer. In addition, the second reflector layer can be formed over the deposited first spacer layer and the deposited second groups of spacer layers.

【技术实现步骤摘要】
制造传感器装置
本文所述的技术总体上涉及光学传感器，且更特别地，涉及制造传感器装置的方法。
技术介绍
光学传感器用于各种装置中，例如图像传感器、环境光传感器、接近度传感器、色调传感器和UV传感器，以将光信号转换为电信号，允许检测光信号或图像捕捉。光学传感器通常包含一个或多个传感器元件，以及位于一个或多个传感器元件之上的一个或多个光学滤波器。例如，彩色图像传感器包含滤色器的阵列，即，滤色器阵列(CF(A)，其包含具有不同的颜色通带的不同类型的滤色器，例如红色、绿色和蓝色(RG(B)滤色器。多光谱成像是许多产业和研究应用中的主要目标。实质上，可能需要这样的传感器，其可以同时捕捉来自光谱的许多部分(不仅限于可见光，而且包含近、中和长波红外和/或紫外)的波长的图像，而不需要进行扫描或暴露的序列，然后必须用适当的权重将它们彼此重新组合以产生有用的图像。在Sensors，14：21626-21659，(2014)，Lapray等的“MultispectralFilterArrays:RecentAdvancesandPracticalImplementation”中描述了多光谱成像，其通过引用并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法，包括：在基底上形成第一反射镜层；在所述第一反射镜层上沉积第一组间隔层，以定位在第一组感测元件上方；在所述第一反射镜层上沉积第二组间隔层，以定位在第二组感测元件上方，其中所述第二组间隔层与所述第一组间隔层不同；以及在所沉积的第一组间隔层和所沉积的第二组间隔层上方形成第二反射镜层。

【技术特征摘要】
2016.02.12 US 62/294,9821.一种方法，包括：在基底上形成第一反射镜层；在所述第一反射镜层上沉积第一组间隔层，以定位在第一组感测元件上方；在所述第一反射镜层上沉积第二组间隔层，以定位在第二组感测元件上方，其中所述第二组间隔层与所述第一组间隔层不同；以及在所沉积的第一组间隔层和所沉积的第二组间隔层上方形成第二反射镜层。2.如权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一反射镜层还包括将所述第一反射镜层形成为具有渐缩边缘，所述方法还包括：沉积多个第一组间隔层，以覆盖所述第一反射镜层的所述渐缩边缘。3.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一反射镜层由金属形成。4.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一反射镜层由选自由银、铝、铜、金和介电材料构成的组中的材料形成。5.如权利要求1所述的方法，还包括：对于所述第一组感测元件中的每个感测元件，接入待被滤波的第一中心波长的光；确定对应于所接入的待被滤波的第一中心波长的光的所述第一组间隔层；并且其中，沉积所述第一组间隔层还包括沉积所确定的对应于所接入的待被滤波的第一中心波长的光的第一组间隔层。6.如权利要求5所述的方法，还包括：对于所述第二组感测元件中的每个感测元件，接入待被滤波的第二中心波长的光；确定对应于所接入的待被滤波的第二中心波长的光的所述第二组间隔层；并且其中，沉积所述第二组间隔层还包括沉积所确定的对应于所接入的待被滤波的第二中心波长的光的第二组间隔层。7.如权利要求6所述的方法，还包括：沉积基部间隔层，并且其中，沉积所述第一组间隔层和沉积所述第二组间隔层还包括在所沉积的基部间隔层上沉积所述第一组间隔层和沉积所述第二组间隔层。8.如权利要求1所述的方法，其中，沉积所述第一组间隔层和沉积所述第二组间隔层还包括沉积所述第一组间隔层和所述第二组间隔层两者共用的至少一个间隔层。9.如权利要求8所述的方法，其中，沉积所述第一组间隔层和沉积所述第二组间隔层还包括：沉积共用的间隔层；在所述共用的间隔层的处于所述第一组感测元件上方的部分之上施加掩模；以及沉积另一间隔层，其中，所述掩模防止所述另一间隔层沉积在所述第一组感测元件之上，而使得所述另一间隔层能够沉积在所述第二组感测元件之上。10.如权利要求1所述的方法，还包括：在所述第一反射镜层上沉积所述第一组间隔层和所述第二组间隔层之前，在所述第一反射镜层上沉积防氧化材料。11.如权利要求10所述的方法，其中，所述第一反射镜层由银形成，并且其中，所述防氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：GJ奥肯菲斯，
申请(专利权)人：唯亚威解决方案股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US